기본 정보
| 부스 | S8341 |
| 국가 | CN |
| 웹사이트 | www.gnd-etech.com/products.asp?pone=130 |
회사 소개
Shanghai GND eTech Co.,Ltd는 범반도체 산업용 첨단 센서 및 계측 시스템을 연구개발하고 제조하며 형광식 광섬유 온도 센서와 인시투 웨이퍼 계측 센서를 공급합니다. 인시투 웨이퍼 센서는 진동, 수평도, 위치, 습도, 온도 및 기타 물리량을 측정하며 집적회로 장비와 칩 제조의 장비 시운전 및 공정 검증에 사용됩니다. 관련 계측 응용은 포토리소그래피, 건식 식각, 박막 증착, 이온 주입, 세정 및 패키징 공정에 걸쳐 있습니다. 광섬유 온도 측정 기술은 강한 전자기 간섭 환경에 대응하며 반도체, 전력, 마이크로파 에너지, 석유 및 의료 분야에 적용됩니다. 광섬유 온도 프로브는 내열 소재와 기타 비금속 소재로 만들어지며 소형 디지털 트랜스미터는 단일 채널 및 다중 채널 구조와 여러 설치 방식을 제공합니다.
전시 제품
M9105 TC WAFER는 PVD, CVD, STRIP, DIFF 및 ALD 공정에서 웨이퍼 온도를 실시간으로 측정합니다. M9107 RTD WAFER(or MASK)는 TRACK, PEB 및 Etch 공정의 핫플레이트나 척 온도를 유선으로 측정합니다. WTS-ETCH는 무선 웨이퍼 온도 센서로 ETCH, WET 및 CMP 공정에서 핫플레이트나 척의 온도를 측정합니다. WTS-LITHO는 리소그래피 및 스캐너 공정에서 척 온도를 무선으로 측정합니다. WLVS는 PVD, CVD, DIFF용 무선 웨이퍼 수평 진동 센서이고 WMS는 동일한 세 공정용 무선 웨이퍼 다기능 센서입니다. WCS는 TRACK 및 ETCH용 무선 웨이퍼 척 위치 측정기이며 WGS는 CVD와 PVD용 무선 웨이퍼 간격 센서입니다. WFI(WFI--NEW) 무선 웨이퍼 포커스 링 간격 측정기는 ETCH, PVD, CVD 및 ALD 공정에 사용됩니다. F86은 ETCH 공정의 ESC 온도 측정용 형광식 광섬유 온도 센서이며 HR은 TRACK HEATER용 고정밀 프로브입니다. 광섬유 프로브는 강한 전자기 및 무선 주파수 간섭, 화학적 부식, 고온과 강한 마이크로파장의 영향을 측정 결과가 받지 않도록 설계되었습니다. 소형 디지털 트랜스미터는 단일 채널 또는 다중 채널 구성을 선택할 수 있고 설치 방식도 선택 가능하며 DIN 레일 장착이 일반적입니다. 온도 프로브와 트랜스미터는 측정 정확도 및 측정 범위를 다시 교정하지 않고도 교체할 수 있습니다. 기타 제품으로는 CORELight 형광식 광섬유 온도 센서, EPD 식각 종점 검출 센서, FIDIE 웨이퍼 센서, 고정밀 데이터 수집 시스템 및 맞춤형 고정밀 프로브가 있습니다.
역량 및 제품
- TC WAFER 실시간 온도 측정 웨이퍼
- RTD WAFER（or MASK） 유선 온도 측정
- 무선 웨이퍼 온도 센서
- 무선 웨이퍼 수평 진동 센서
- 무선 웨이퍼 다기능 센서
- 무선 웨이퍼 척 위치 측정기
- 무선 웨이퍼 갭 센서
- 무선 웨이퍼 포커스 링 갭 측정기
- 형광식 광섬유 온도 센서
- 고정밀 프로브