기본 정보
| 부스 | S8341 |
| 국가 | CN |
| 웹사이트 | www.gnd-etech.com/products.asp?pone=130 |
회사 소개
Shanghai GND eTech는 범반도체 산업용 고급 센서 및 계측 시스템을 개발·제조하며, 형광 광섬유 온도 센서와 여러 물리량을 측정하는 인시추 웨이퍼 센서를 포함합니다.
전시 제품
현재 웨이퍼 공정 계측 제품에는 무선 웨이퍼 온도 센서, 진동 센서 및 다기능 센서, 척 위치 및 웨이퍼 간극 측정 장비, 포커스 링 간극 측정, 광섬유 온도 센싱 제품이 포함됩니다.
역량 및 제품
- 형광식 광섬유 온도 센서
- In-situ 웨이퍼 다중 물리량 센서
- 무선 웨이퍼 온도 센서
- 수평 진동 및 다기능 센서
- 척 위치 및 웨이퍼 간극 측정
- 포커스 링 간극 측정