基本情報
| ブース | S8341 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.gnd-etech.com |
会社概要
Shanghai GND eTech Co., Ltd.、中国語名 上海集迦电子科技有限公司は、上海を拠点とし、汎半導体産業向けのセンサーおよび測定システムを開発製造する会社です。公式サイトによると、同社は蛍光式光ファイバー温度センサー、振動、水平度、位置、湿度、温度など複数の物理量を測定する in-situ ウェハ測定センサー、その他の物理量測定ソリューションを提供します。同サイトでは、in-situ ウェハセンサーが集積回路装置およびチップ製造における装置調整とプロセス検証に使われ、リソグラフィ、ドライエッチング、薄膜堆積、イオン注入、洗浄、パッケージング工程をカバーすると説明されています。SEMICON China のプロフィールでは、CORELight 蛍光光ファイバー温度センサー、EPD エッチング終点検出センサー、FIDIE ウェハセンサー、高精度データ収集システム、カスタム高精度プローブも挙げられています。
対応領域・製品
- CORELight蛍光光ファイバー温度センサー
- EPDエッチングエンドポイント検出センサー
- FIDIEウェハセンサー
- カスタム高精度プローブ
- 光ファイバー温度プローブ向け単一および多チャネルデジタルトランスミッター
- 振動、レベル、位置、湿度、温度向けin-situウェハ測定センサー
- 汎半導体産業向けハイエンドセンサーおよび測定システム
- 高精度データ収集システム