基本情報
| ブース | S8341 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.gnd-etech.com/products.asp?pone=130 |
会社概要
Shanghai GND eTech Co.,Ltd は、汎半導体産業向けの高機能センサーと計測システムを開発・製造し、蛍光式光ファイバー温度センサーと In-situ ウェハ計測センサーを提供しています。計測範囲はウェハの振動、水平度、位置、湿度、温度、その他の物理量に及び、集積回路装置やチップ製造向けの各種物理量試験ソリューションも含まれます。In-situ ウェハセンサーは、リソグラフィ、ドライエッチ、薄膜成膜、イオン注入、洗浄、パッケージング工程における装置立ち上げとプロセス検証に使用されます。光ファイバー温度センサーは、半導体、電力、マイクロ波エネルギー、石油、医療など強い電磁干渉がある環境で、正確かつ信頼性の高い温度計測を行います。光ファイバー温度プローブは強い電磁・無線周波数干渉、化学腐食、高温、高マイクロ波場で動作でき、耐熱材料やその他の非金属材料を使用し、コンパクトなデジタルトランスミッターは単一チャネルと多チャネル設計、選択可能な設置方式、一般的な DIN レール取付に対応します。
展示製品
M9105 TC WAFER は PVD、CVD、STRIP、DIFF、ALD 工程のリアルタイム温度計測に使用されます。M9107 RTD WAFER（or MASK）は TRACK、PEB、Etch のホットプレートまたはチャックの有線温度計測向けです。WTS-ETCH は ETCH、WET、CMP のホットプレートまたはチャックを無線で計測するウェハ温度センサーで、WTS-LITHO は Lithography と scanner のチャック無線温度計測に使用されます。WLVS は PVD、CVD、DIFF 用の無線ウェハ水平振動センサー、WMS は同じ工程群向けの無線ウェハ多機能センサーです。WCS は TRACK と ETCH 用の無線ウェハチャック位置決め計、WGS は CVD と PVD 用の無線ウェハ隙間センサーです。WFI--NEW は ETCH、PVD、CVD、ALD 向けの無線ウェハフォーカスリング隙間測定器で、複数の半導体工程における focus-ring gap measurement をカバーします。F86 は ETCH ESC 温度計測プローブとして示される蛍光式光ファイバー温度センサーで、HR は TRACK HEATER 用の高精度プローブです。製品群には CORELight 蛍光式光ファイバー温度センサー、EPD エッチング終点検出センサー、FIDIE ウェハセンサー、高精度データ収集システム、カスタム高精度プローブも含まれます。温度プローブとトランスミッターは互換性があり、精度と測定範囲を再校正せずに交換できます。全体として Shanghai GND eTech Co.,Ltd は、有線・無線ウェハ温度計測、振動・多機能センシング、チャック位置、ウェハ隙間、フォーカスリング隙間、光ファイバー温度、高精度プローブを半導体装置計測とプロセス検証向けに組み合わせています。
対応領域・製品
- 半導体プロセス用リアルタイム温度測定ウェーハ
- ホットプレート・チャックの有線温度測定
- ワイヤレスウェーハ温度センサー
- ワイヤレスウェーハ水平振動センサー
- ワイヤレスウェーハチャック位置合わせ装置
- ワイヤレスウェーハギャップセンサー
- ワイヤレスウェーハフォーカスリングギャップ測定器
- 蛍光式光ファイバー温度センサー
- ワイヤレス多機能ウェーハセンサー
- TRACK HEATER用高精度プローブ