基本資料
| 攤位 | S8341 |
| 國別 | CN |
| 網站 | www.gnd-etech.com/products.asp?pone=130 |
公司簡介
上海集迦電子科技有限公司研發與製造泛半導體產業用高端感測器與量測系統，產品包括螢光式光纖溫度感測器與 In-situ 晶圓量測感測器。其感測與量測範圍涵蓋晶圓振動、水平度、位置、濕度、溫度及其他物理量，並提供用於集成電路設備與晶片製造的其他物理量測試方案。In-situ 晶圓感測器用於設備調試與製程驗證，涵蓋光刻、乾刻、薄膜沉積、離子注入、清洗與封裝製程。公司的光纖溫度感測器用於強電磁干擾環境，包括半導體、電力、微波能、石油與醫療等應用，可進行準確且可靠的溫度量測。光纖溫度探頭可在強電磁與射頻干擾、化學腐蝕、高溫及高微波場環境中工作；探頭採用耐溫與其他非金屬材料，結構緊湊的數位變送器則有單通道與多通道設計，安裝方式可選，常用 DIN 軌安裝。
展出產品
M9105 TC WAFER 用於 PVD、CVD、STRIP、DIFF 與 ALD 製程的即時溫度量測。M9107 RTD WAFER（or MASK）用於 TRACK、PEB 與 Etch 的熱盤或卡盤有線溫度量測。WTS-ETCH 是無線晶圓溫度感測器，用於 ETCH、WET 與 CMP 的熱盤或卡盤無線溫度量測；WTS-LITHO 則用於 Lithography 與 scanner 的卡盤無線溫度量測。WLVS 是 PVD、CVD 與 DIFF 用無線晶圓水平振動感測器，WMS 則是同一製程群使用的無線晶圓多功能感測器。WCS 是 TRACK 與 ETCH 用無線晶圓卡盤定位儀，WGS 是 CVD 與 PVD 用無線晶圓間隙感測器。WFI--NEW 是 ETCH、PVD、CVD 與 ALD 用無線晶圓聚焦環間隙量測儀，直接涵蓋多種半導體製程的 focus-ring gap measurement。F86 為螢光式光纖溫度感測器，列為 ETCH ESC 測溫探頭；HR 則是 TRACK HEATER 用高精度探頭。產品組合另包括 CORELight 螢光式光纖溫度感測器、EPD 蝕刻終點檢測感測器、FIDIE 晶圓感測器、高精度資料採集系統與客製化高精度探針。溫度探頭與變送器可互換，無須重新標定精度與量測範圍，支援既有感測架構中的替換。整體而言，上海集迦電子科技有限公司將有線與無線晶圓溫度感測、振動與多功能感測、卡盤定位、晶圓間隙與聚焦環間隙量測、光纖溫度感測與高精度探頭整合於半導體設備量測與製程驗證產品組合。
能力與產品項目
- 半導體製程即時測溫晶圓
- 熱盤與卡盤有線測溫
- 無線晶圓溫度感測器
- 無線晶圓水平振動感測器
- 無線晶圓卡盤定位儀
- 無線晶圓間隙感測器
- 無線晶圓聚焦環間隙量測儀
- 螢光式光纖溫度感測器
- 無線晶圓多功能感測器
- TRACK HEATER 高精度探頭