基本資料
| 攤位 | S8341 |
| 國別 | CN |
| 網站 | www.gnd-etech.com |
公司簡介
Shanghai GND eTech Co., Ltd.，中文名上海集迦電子科技有限公司，是位於上海、服務泛半導體產業的感測器與量測系統公司。官方網站表示，公司研發製造高端感測器與量測系統，包括螢光式光纖溫度感測器、用於振動、水平度、位置、濕度、溫度等多物理量的 in-situ 晶圓量測感測器，以及其他物理量測試方案。網站說明，晶圓原位感測器用於集成電路設備與晶片製造中的設備調試與工藝驗證，應用涵蓋光刻、乾刻、薄膜沉積、離子注入、清洗與封測等製程。SEMICON China 簡介另列產品包括 CORELight 螢光光纖溫度感測器、EPD 蝕刻終點檢測感測器、FIDIE 晶圓感測器、高精度資料採集系統與客製化高精度探針。
能力與產品項目
- CORELight 螢光光纖溫度感測器
- EPD 蝕刻終點偵測感測器
- FIDIE 晶圓感測器
- 客製化高精度探針
- 用於光纖溫度探棒的單通道與多通道數位傳送器
- 用於振動、液位、位置、濕度與溫度的 in-situ 晶圓量測感測器
- 用於泛半導體產業的高階感測器與量測系統
- 高精度資料擷取系統