기본 정보
| 부스 | I2225 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.servomex.com |
회사 소개
Servomex, Inc.는 고객이 공정 효율, 제품 품질, 안전 및 환경 규정 준수를 개선하도록 돕는 신뢰성 높고 정확한 가스 분석 측정 솔루션을 제공합니다. 70년이 넘는 전문 경험을 바탕으로 산업용 가스, 반도체, 제약, 발전, 에너지 및 연소 공정을 지원합니다. 포트폴리오에는 정밀 가스 분석기, 가스 분석 센서 및 가스 분석 시스템 설계가 포함되어 전 세계의 핵심 측정 응용에 사용됩니다. 가스 센싱 기술과 산업 전문지식을 결합하여 측정 하드웨어를 단독 기기로 공급하는 데 그치지 않고 응용 지식으로 지원합니다. 글로벌 서비스 네트워크가 현장의 분석기와 시스템을 지원하며 고객 운영에서 측정 성능과 신뢰성을 유지하는 서비스 체계의 일부를 구성합니다. Servomex, Inc.는 정확한 측정을 통해 고객의 운영 성능을 최적화하고 정의된 공정 및 운영 목표 달성을 지원합니다.
전시 제품
Servomex, Inc.의 엔지니어링 센터는 고객과 협력해 각 공정에 필요한 정밀도와 성능에 맞춘 맞춤형 가스 분석 솔루션을 구축합니다. Purity & Specialty 팀은 산업용 및 의료용 가스, 초고순도 가스, 반도체, 그리고 수백 가지 기타 가스 분석 공정에 시스템, 응용 지식 및 서비스 지원을 제공합니다. 초고순도 가스는 반도체 제조와 LED 및 LCD 디스플레이 같은 전자제품 생산에 필수적이며 Servomex, Inc.는 이러한 응용을 위한 단일 공급업체 방식의 UHP 측정 솔루션을 제공합니다. 실리콘 웨이퍼 제조에서는 오염을 피하기 위해 초순도 가스가 필요하므로 여러 가스 정제 절차와 함께 UHP 가스가 제조 공정에 투입되기 전에 매우 낮은 농도 수준에서 정확한 모니터링이 필요합니다. 아주 작은 불순물도 웨이퍼 결함, 스크랩 및 낭비를 일으킬 수 있으므로 품질관리 측정은 산소 한 가지를 측정하면서 trace moisture를 놓치는 방식이 아니라 여러 오염물질을 모두 다뤄야 합니다. 종합 UHP 시스템에서는 SERVOPRO DF500 및 700 NanoTrace ULTRA 산소·수분 분석기를 multi-gas SERVOPRO NanoChrome ULTRA와 결합해 기존 시스템에 통합하거나 고객 요구에 맞춘 turnkey Continuous Quality Control system으로 공급할 수 있습니다. 국제적인 지역 서비스 인력 네트워크가 설치 후 분석기와 시스템을 지원하여 UHP 측정 설비의 성능과 신뢰성을 유지하도록 돕습니다. UHP 반도체 제품군은 argon, carbon dioxide, carbon monoxide, hydrogen, methane, nitrogen, non-methane hydrocarbons, oxygen 및 water vapour를 대상으로 하며 trace ppm, ultra-trace ppb, ultra-trace ppt 범위를 Coulometric, Gas Chromatography, Laser Moisture, Plasma 및 Tunable Diode Laser 기술로 측정합니다. SERVOPRO DF-745는 LED와 LCD 제조 공정의 UHP 전자 가스 검사에서 trace 및 ultra-trace moisture를 측정하고 DF-745 SGMax는 specialty-gas blending 응용의 다양한 혼합 가스를 측정하도록 설계되었습니다. SERVOPRO DF-749는 여러 배경 가스에서 trace 및 ultra-trace 수분 오염을 측정하여 LCD 및 LED 제조용 UHP 가스 품질 검사를 지원합니다. SERVOPRO DF-750은 300mm semiconductor fabs에서 사용하는 UHP 가스를 위한 trace / ultra-trace moisture analyzer이며 DF-750 ULTRA는 동일한 300mm fab 환경의 품질 모니터링에 최적화되어 있습니다. 컴팩트한 SERVOPRO DF-760E는 UHP bulk gases 품질관리에서 trace 및 ultra-trace moisture를 이중 측정하고 DF-760E ULTRA는 moisture와 oxygen의 trace / ultra-trace 이중 분석을 제공합니다. SERVOPRO NanoChrome은 가스 센싱과 신호처리 방법을 이용해 ultra-trace purity measurement를 수행하고 NanoChrome ULTRA는 검증된 ultra-trace sensing으로 반도체 산업의 순도 요구에 대응합니다. SERVOPRO NanoTrace DF-550E는 UHP 전자 가스 품질 측정에 최적화된 ultra-trace Coulometric oxygen analyzer이며 DF-560E ULTRA는 UHP electronic-grade gas 품질관리를 위해 oxygen detection 45 parts per trillion을 제공합니다. SERVOPRO ULTRA Series는 반도체 UHP 가스 분석의 엄격한 요구를 위해 설계되며 검증된 기술로 측정 성능, 안정적인 운전, 사용 편의성과 경쟁 기술보다 낮은 ownership cost를 강조합니다. 고감도 non-depleting Coulometric sensor는 O₂를 45ppt까지 측정하며 주기적인 센서 교체가 필요하지 않고 fuel-cell sensor와 연관된 false low readings를 피합니다. 수분 측정에는 Tunable Diode Laser spectroscopy를 사용해 H₂O를 55ppt까지 측정하며 non-contact optical design으로 견고하고 단순하며 유지보수가 적은 운전을 지원합니다. Plasma Emission Detector technology는 100-500ppt 다중 가스 측정과 안정적인 고감도 trace parts-per-billion measurement를 지원하여 UHP 가스 요구에 대응합니다. ULTRA Series의 non-depleting sensing technologies는 높은 감도, 안정적인 응답 및 가스 농도 변화에 대한 빠른 반응으로 정확하고 신뢰성 높은 모니터링을 제공하며 APIMS 같은 기술보다 낮은 비용을 목표로 합니다. 낮은 유지보수 요구와 연장된 calibration interval이 사용 비용을 줄이고 단순한 운전은 교육 필요와 조작 오류를 줄이는 데 사용됩니다. DF-560E ULTRA의 oxygen Lower Detection Limit는 45 parts-per-trillion이며 측정이 1 ppb 아래로 내려가면 표시 단위가 자동으로 ppt로 전환되고 여러 배경 가스에서 O₂를 모니터링하며 여러 형식으로 데이터를 기록할 수 있습니다. DF-750 ULTRA는 300mm semiconductor fabs용으로 최적화되어 electronics-grade nitrogen, hydrogen, helium, argon 및 oxygen의 moisture contamination을 측정하고 Tunable Diode Laser sensing으로 55 parts-per-trillion Lower Detection Limit를 제공합니다. DF-760E ULTRA는 non-depleting Coulometric sensor와 Tunable Diode Laser technology를 하나의 컴팩트한 장치에 결합해 nitrogen, hydrogen, helium, oxygen 및 argon 배경 혼합가스에서 ultra-low H₂O와 O₂를 측정하며 H₂O in O₂ only 조건을 갖습니다. NanoChrome ULTRA는 Plasma Emission Detector sensing과 ProPeak software를 이용해 일반적인 배경 가스에서 argon, methane, carbon monoxide, carbon dioxide, hydrogen, nitrogen 및 non-methane hydrocarbons를 모니터링합니다. 더 넓은 SERVOPRO safe-area 제품군은 Paramagnetic, Zirconia, Flame Ionization Detection, Plasma 및 Gas Chromatography 같은 센싱 기술을 산업용 가스와 반도체 측정에 사용합니다. SERVOPRO 분석기는 syngas, hydrocarbons, trace gas mixtures 같은 특정 요구나 continuous-emissions-monitoring systems 및 air-separation-unit plants의 multi-gas monitoring에 맞춰 구성할 수 있습니다. safe-area 제품군은 percentage level에서 trace, ultra-trace ppb 및 ultra-trace ppt까지 다루며 산업용 가스와 반도체 응용의 다양한 가스 및 측정 범위를 지원합니다. SERVOPRO 분석기는 benchtop 사용 또는 19-inch rack 장착이 가능하고 onboard software로 직접 조작하거나 analog 및 digital communications를 통해 원격 운전과 시스템 통합을 할 수 있습니다. 추가 safe-area 모델에는 multi-gas CEMS measurement용 4900 Multigas, 특정 배경 가스에 최적화된 Chroma, ASU 안전 및 품질관리 trace analysis용 FID, MonoExact DF150E 및 DF310E oxygen analyzers, 최대 네 개 gas stream을 동시에 측정하는 MultiExact 4100이 포함됩니다. SERVOPRO Plasma는 0-1ppm 범위에서 고감도 안정 가스 측정을 제공하고 SERVOPRO PureGas는 Gas Chromatography 및 기타 분석 응용의 carrier gases를 정제하는 getter-based purification unit입니다.
역량 및 제품
- 맞춤형 가스 분석 솔루션
- UHP 전체 불순물 순도 모니터링
- 턴키 UHP Continuous Quality Control 시스템
- 가스 분석 시스템의 기존 설비 통합
- UHP 가스 45ppt 초미량 산소 측정
- UHP 가스 55ppt 초미량 수분 측정
- UHP 가스 수분·산소 이중 분석
- 100-500ppt 다중 가스 플라즈마 측정
- 특수가스 혼합물 측정
- CEMS 다중 가스 분석
- 가스 분석기 원격 통신 통합
- Gas Chromatography (GC)용 캐리어 가스 정제
- 정밀 가스 분석기 및 센서