基本資料
| 攤位 | I2225 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.servomex.com |
公司簡介
Servomex, Inc. 提供可靠且精確的氣體分析量測解決方案，協助客戶提升製程效率、產品品質、安全性與環保合規。憑藉超過 70 年的專業經驗，Servomex, Inc. 服務工業氣體、半導體、製藥、發電、能源與燃燒製程。產品組合包括精密氣體分析儀、氣體分析感測器與氣體分析系統設計，用於全球關鍵量測應用。公司把氣體感測技術與產業專業結合，使量測硬體同時具備應用知識支援，而非僅作為單一儀器供應。全球服務網路支援現場分析儀與系統，也是公司維持客戶量測效能與可靠性的服務架構之一。Servomex, Inc. 將精確量測定位為協助客戶最佳化營運效能並達成製程與操作目標的方法。
展出產品
Servomex, Inc. 的工程中心與客戶合作開發客製化氣體分析解決方案，依各製程所需的精度與效能進行設計。Purity & Specialty 團隊為工業與醫療氣體、超高純度氣體、半導體及數百種其他氣體分析製程提供系統、應用知識與服務支援。超高純度氣體是半導體製造及 LED、LCD 顯示器等電子產品生產的重要基礎，Servomex, Inc. 為這些應用提供單一供應商的 UHP 量測方案。矽晶圓製造需要使用超純氣體避免污染，因此各種氣體純化程序還必須搭配極低濃度的精確監測，確認送入製程的 UHP 氣體品質。即使極少量的雜質也可能造成晶圓缺陷、報廢與浪費，因此品質控制量測必須涵蓋多種污染物，不能只監測氧氣卻忽略 trace moisture。完整的 UHP 系統可把 SERVOPRO DF500 與 700 NanoTrace ULTRA 氧氣及水分分析儀與多氣體 SERVOPRO NanoChrome ULTRA 組合，可整合進既有系統，或作為依客戶需求設計的 turnkey Continuous Quality Control system。區域服務人員構成國際服務網路，在設備導入後持續支援分析儀與系統的效能及可靠性。UHP 半導體產品範圍可量測 argon、carbon dioxide、carbon monoxide、hydrogen、methane、nitrogen、non-methane hydrocarbons、oxygen 與 water vapour，量測層級涵蓋 trace ppm、ultra-trace ppb 與 ultra-trace ppt，並使用 Coulometric、Gas Chromatography、Laser Moisture、Plasma 與 Tunable Diode Laser 技術。SERVOPRO DF-745 用於 LED 與 LCD 製造流程中的 UHP 電子氣體檢查，可量測 trace 與 ultra-trace moisture；DF-745 SGMax 則用於 specialty-gas blending 中多種氣體混合物的量測。SERVOPRO DF-749 在多種背景氣體中量測 trace 與 ultra-trace 水分污染，用於 LCD 與 LED 製造所需 UHP 氣體的品質檢查。SERVOPRO DF-750 是針對 300mm semiconductor fabs 所使用 UHP 氣體最佳化的 trace / ultra-trace moisture analyzer，DF-750 ULTRA 則針對相同 300mm fab 環境的品質監測最佳化。緊湊型 SERVOPRO DF-760E 用於 UHP bulk gases 的品質控制，可進行 trace 與 ultra-trace moisture 的雙重量測；DF-760E ULTRA 則提供 moisture 與 oxygen 的 trace / ultra-trace 雙項分析。SERVOPRO NanoChrome 採用氣體感測與訊號處理方法進行 ultra-trace purity measurement，NanoChrome ULTRA 則以已驗證的 ultra-trace sensing 對應半導體產業的高純度需求。SERVOPRO NanoTrace DF-550E 是 ultra-trace Coulometric oxygen analyzer，針對 UHP 電子氣體品質量測最佳化；DF-560E ULTRA 用於 UHP electronic-grade gas 品質控制，oxygen detection 規格為 45 parts per trillion。SERVOPRO ULTRA Series 用於要求嚴格的半導體 UHP 氣體分析，以已驗證技術兼顧量測效能、可靠運作、易用性，以及相較競爭技術更低的 ownership cost。其高靈敏度、non-depleting Coulometric sensor 可將 O₂ 量測至 45ppt，不需要定期更換感測器，也避免 fuel-cell sensor 可能產生的 false low readings。水分量測使用 Tunable Diode Laser spectroscopy，可把 H₂O 量測至 55ppt，並以 non-contact optical design 支援堅固、簡單且低維護的操作。Plasma Emission Detector technology 可支援多氣體 100-500ppt 量測，並以穩定且高靈敏度的方式進行 trace parts-per-billion measurement，以符合 UHP 氣體需求。ULTRA Series 的 non-depleting sensing technologies 提供高靈敏度、穩定反應與對氣體濃度變化的快速反應，並以低於 APIMS 等技術的成本進行精確可靠監測。較低的維護需求與較長的 calibration interval 支援 ULTRA Series 的使用成本模式，而簡易操作則用來降低培訓需求並減少操作錯誤。DF-560E ULTRA 的 oxygen Lower Detection Limit 為 45 parts-per-trillion，當量測低於 1 ppb 時顯示單位會自動轉為 ppt，可在多種背景氣體中監測 O₂，並以多種格式記錄資料。DF-750 ULTRA 針對 300mm semiconductor fabs 最佳化，可量測 electronics-grade nitrogen、hydrogen、helium、argon 與 oxygen 中的 moisture contamination，並利用 Tunable Diode Laser sensing 達到 55 parts-per-trillion Lower Detection Limit。DF-760E ULTRA 把 non-depleting Coulometric sensor 與 Tunable Diode Laser technology 整合在單一緊湊機體中，可量測 nitrogen、hydrogen、helium、oxygen 與 argon 背景混合氣中的 ultra-low H₂O 與 O₂，其中 H₂O in O₂ only。NanoChrome ULTRA 使用 Plasma Emission Detector sensing 與 ProPeak software，可在常見背景氣體中監測 argon、methane、carbon monoxide、carbon dioxide、hydrogen、nitrogen 與 non-methane hydrocarbons。更廣泛的 SERVOPRO safe-area 系列使用 Paramagnetic、Zirconia、Flame Ionization Detection、Plasma 與 Gas Chromatography 等感測技術，對應工業氣體與半導體量測。SERVOPRO 分析儀可針對 syngas、hydrocarbons、trace gas mixtures 等特定需求配置，也可用於 continuous-emissions-monitoring systems 與 air-separation-unit plants 的 multi-gas monitoring。Safe-area 系列的量測範圍從 percentage level 延伸到 trace、ultra-trace ppb 與 ultra-trace ppt，涵蓋工業氣體與半導體應用中的多種氣體與量測區間。SERVOPRO 分析儀可作為 benchtop 設備或安裝於 19-inch rack，並具 onboard software 供直接操作，也可透過 analog 與 digital communications 遠端操作與系統整合。其他 safe-area 型號包括用於 multi-gas CEMS measurement 的 4900 Multigas、依特定背景氣體最佳化的 Chroma、用於 ASU 安全與品質控制 trace analysis 的 FID、MonoExact DF150E 與 DF310E oxygen analyzers，以及可同時量測最多四路 gas stream 的 MultiExact 4100。SERVOPRO Plasma 提供 0-1ppm 範圍的高靈敏度穩定氣體量測，SERVOPRO PureGas 則是 getter-based purification unit，用於純化 Gas Chromatography 與其他分析應用所需的 carrier gases。
能力與產品項目
- 客製氣體分析解決方案
- UHP 全雜質純度監測
- UHP 連續品質控制系統
- 氣體分析系統既有設備整合
- 45ppt UHP 氧氣超微量量測
- 55ppt UHP 水分超微量量測
- UHP 水分與氧氣雙項分析
- 100-500ppt 多氣體電漿量測
- 特殊氣體混合物量測
- CEMS 多氣體分析
- 氣體分析儀遠端通訊整合
- GC 載氣純化
- 精密氣體分析儀與感測器