基本情報
| ブース | I2225 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.servomex.com |
会社概要
Servomex, Inc. は、顧客の工程効率、製品品質、安全性、環境コンプライアンスの向上を支援する、信頼性と精度を重視したガス分析計測ソリューションを提供しています。70年を超える専門経験を持ち、産業ガス、半導体、製薬、発電、エネルギー、燃焼工程を支援します。製品ポートフォリオには精密ガス分析計、ガス分析センサー、ガス分析システム設計が含まれ、世界の重要な計測用途に対応します。ガスセンシング技術と産業専門知識を組み合わせ、計測ハードウェアを単体機器として供給するだけでなく、アプリケーション知識で支援します。グローバルなサービスネットワークが現場の分析計とシステムを支え、顧客設備での計測性能と信頼性を維持する体制の一部となっています。Servomex, Inc. は、正確な計測を通じて顧客の運転性能を最適化し、設定された工程・運用目標の達成を支援します。
展示製品
Servomex, Inc. のエンジニアリングセンターは顧客と協力し、各工程に必要な精度と性能に合わせたカスタムガス分析ソリューションを構築します。Purity & Specialty チームは、産業ガス、医療ガス、超高純度ガス、半導体、および数百のその他ガス分析工程に対して、システム、アプリケーション知識、サービス支援を提供します。超高純度ガスは半導体製造や LED、LCD ディスプレイなどの電子製品生産に不可欠であり、Servomex, Inc. はこれらの用途に単一サプライヤー型の UHP 測定ソリューションを提供します。シリコンウェハ製造では汚染回避のため超純ガスが必要であり、複数のガス精製手順に加え、UHP ガスが製造工程へ供給される前に極低濃度での正確な監視が必要です。ごく微量の不純物でもウェハ欠陥、スクラップ、廃棄につながるため、品質管理測定は酸素だけを測って trace moisture を見逃すのではなく、複数の汚染物をカバーする必要があります。包括的な UHP システムでは、SERVOPRO DF500 と 700 NanoTrace ULTRA の酸素・水分分析計を multi-gas SERVOPRO NanoChrome ULTRA と組み合わせ、既存システムへの統合または顧客要件に合わせた turnkey Continuous Quality Control system として供給できます。国際的な地域サービス担当者ネットワークが導入後の分析計とシステムを支援し、UHP 計測設備の性能と信頼性維持を支えます。UHP 半導体向け製品は argon、carbon dioxide、carbon monoxide、hydrogen、methane、nitrogen、non-methane hydrocarbons、oxygen、water vapour を対象とし、trace ppm、ultra-trace ppb、ultra-trace ppt を Coulometric、Gas Chromatography、Laser Moisture、Plasma、Tunable Diode Laser 技術で測定します。SERVOPRO DF-745 は LED・LCD 製造工程の UHP 電子ガス検査で trace および ultra-trace moisture を測定し、DF-745 SGMax は specialty-gas blending における多様なガス混合物の測定向けです。SERVOPRO DF-749 は複数の背景ガス中で trace と ultra-trace の水分汚染を測定し、LCD・LED 製造に使用する UHP ガスの品質確認に対応します。SERVOPRO DF-750 は 300mm semiconductor fabs で使われる UHP ガス向けの trace / ultra-trace moisture analyzer で、DF-750 ULTRA は同じ 300mm fab 環境での品質監視向けに最適化されています。コンパクトな SERVOPRO DF-760E は UHP bulk gases の品質管理で trace / ultra-trace moisture を二重測定し、DF-760E ULTRA は moisture と oxygen の trace / ultra-trace 二成分分析を行います。SERVOPRO NanoChrome はガスセンシングと信号処理を用いて ultra-trace purity measurement を行い、NanoChrome ULTRA は実証済みの ultra-trace sensing で半導体産業の純度要求に対応します。SERVOPRO NanoTrace DF-550E は UHP 電子ガス品質測定向けの ultra-trace Coulometric oxygen analyzer で、DF-560E ULTRA は UHP electronic-grade gas 品質管理向けに oxygen detection 45 parts per trillion を示します。SERVOPRO ULTRA Series は半導体向け UHP ガス分析の厳しい要求に対応し、実証済み技術により測定性能、信頼性、使いやすさ、競合技術より低い ownership cost を重視します。高感度の non-depleting Coulometric sensor は O₂ を 45ppt まで測定し、定期的なセンサー交換を必要とせず、fuel-cell sensor に伴う false low readings を避けます。水分測定では Tunable Diode Laser spectroscopy により H₂O を 55ppt まで測定し、non-contact optical design で堅牢、シンプル、低メンテナンスな運用を支えます。Plasma Emission Detector technology は 100-500ppt の多ガス測定と安定した高感度の trace parts-per-billion measurement を可能にし、UHP ガス要件に対応します。ULTRA Series の non-depleting sensing technologies は高感度、安定応答、濃度変化への迅速な反応を持つ精密で信頼性の高い監視を提供し、APIMS などより低いコストを目指します。メンテナンス低減と calibration interval の延長が運用コストを支え、操作の簡素化によって研修ニーズとオペレーターエラーの低減を図ります。DF-560E ULTRA の oxygen Lower Detection Limit は 45 parts-per-trillion で、1 ppb 未満になると表示単位が自動的に ppt へ変わり、複数の背景ガス中の O₂ を監視し、多様な形式でデータを記録できます。DF-750 ULTRA は 300mm semiconductor fabs 向けで、electronics-grade nitrogen、hydrogen、helium、argon、oxygen 中の moisture contamination を測定し、Tunable Diode Laser sensing により 55 parts-per-trillion Lower Detection Limit を実現します。DF-760E ULTRA は non-depleting Coulometric sensor と Tunable Diode Laser technology を一つのコンパクトユニットに統合し、nitrogen、hydrogen、helium、oxygen、argon の背景混合ガス中で ultra-low H₂O と O₂ を測定し、H₂O in O₂ only となります。NanoChrome ULTRA は Plasma Emission Detector sensing と ProPeak software を用い、一般的な背景ガス中で argon、methane、carbon monoxide、carbon dioxide、hydrogen、nitrogen、non-methane hydrocarbons を監視します。より広い SERVOPRO safe-area シリーズは Paramagnetic、Zirconia、Flame Ionization Detection、Plasma、Gas Chromatography などのセンシング技術を産業ガス・半導体計測に使用します。SERVOPRO 分析計は syngas、hydrocarbons、trace gas mixtures など特定要件向け、または continuous-emissions-monitoring systems や air-separation-unit plants の multi-gas monitoring 向けに構成できます。safe-area シリーズは percentage level から trace、ultra-trace ppb、ultra-trace ppt までをカバーし、産業ガスと半導体用途の多様なガス・測定レンジに対応します。SERVOPRO 分析計は benchtop 使用または 19-inch rack 搭載が可能で、onboard software による直接操作と analog / digital communications による遠隔操作・システム統合に対応します。追加モデルには、multi-gas CEMS measurement 向け 4900 Multigas、特定背景ガス向けに最適化された Chroma、ASU の安全・品質管理で trace analysis を行う FID、MonoExact DF150E と DF310E oxygen analyzers、最大4本の gas stream を同時測定する MultiExact 4100 があります。SERVOPRO Plasma は 0-1ppm 範囲で高感度かつ安定したガス測定を行い、SERVOPRO PureGas は Gas Chromatography などの分析用途で使う carrier gases を精製する getter-based purification unit です。
対応領域・製品
- カスタムガス分析ソリューション
- UHP 全不純物純度モニタリング
- ターンキー UHP Continuous Quality Control システム
- ガス分析システムの既存設備統合
- UHP ガスの 45ppt 超微量酸素測定
- UHP ガスの 55ppt 超微量水分測定
- UHP ガスの水分・酸素二成分分析
- 100-500ppt 多ガスプラズマ測定
- 特殊ガス混合物測定
- CEMS 向け多ガス分析
- ガス分析計の遠隔通信統合
- Gas Chromatography (GC) 用キャリアガス精製
- 精密ガス分析計・センサー