基本情報
| ブース | J3240 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | semtekcorp.com/en/home |
会社概要
Semtek Corporation は2004年7月に設立され、自動化装置の設計・製造を専門としています。研究開発チームは半導体工程の経験を持ち、製造工程改善のための装置に向けて研究開発と革新を継続しています。工程改善用の専用機を設計・製造し、特定の半導体生産課題を解決する手段としてカスタム装置開発を位置付けています。顧客志向の運営モデルは顧客問題の解決を出発点とし、装置は固定仕様だけでなく個別要件に応じてカスタマイズ・計画できます。Semtek Corporation は、競争力のあるコストと短い期間で、顧客が求める品質の装置とサービスを提供することを目標としています。社内にはクリーンルームと各種試験機を整備し、顧客要件への対応と装置開発・検証時の試験を支援します。自動化装置の専門性、半導体工程経験、カスタマイズ能力、社内試験環境、工程改善専用機の設計を組み合わせたエンジニアリング・サービスモデルです。
展示製品
製品として Metal Lift Off、Flux Cleaner (Wafer Form)、Wet Etcher が挙げられ、半導体およびウェットプロセス用途に対応します。Foup Cleaner は複数の carrier タイプの洗浄に使用でき、全工程で deionized water（DIW）を使用します。高圧ノズルとソフトウェア制御を備え、ノズルの角度と方向を調整して方向性のある洗浄を行い、特定箇所を集中的に洗浄できます。この洗浄は残留 photoresist と adhesive contaminants の除去を目的とし、製品情報では Particle の除去と工程汚染の低減も強調されています。Foup Cleaner には空間を30%節約する特徴と、安全性向上も示されています。対応 carrier は FOUP、FOSB、Frame Cassette、Boat Jig で、単一形式に限定されません。標準構成には lid opening function、electrostatic fan、safety detection、E84 communication、RFID reading、SECS/GEM protocol、DIW heating system、DIW cleaning / drying、N₂ purge function、wafer mapping が含まれます。標準装置以外の要件には、Semtek Corporation が顧客要件に応じて専用機をカスタム計画し、クリーンルームと各種試験機を使って顧客試験や工程改善開発を支援します。 したがって、安全検知、静電制御、識別、ホスト通信、DIW 温度制御、purge、wafer mapping が Foup Cleaner の標準機能に含まれます。
対応領域・製品
- 自動化装置の設計・製造
- Metal Lift Off装置
- ウェハ形態Flux洗浄装置
- ウェットエッチャー
- FOUP・多種キャリア洗浄装置