기본 정보
| 부스 | K2386 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.semilab.com |
회사 소개
Semilab Taiwan Co. Ltd.는 Semilab group의 일원이며 이 그룹은 반도체 및 태양광 소재의 특성 분석을 위한 계측 장비를 설계, 생산 및 판매합니다. 장비는 반도체 소자, 평판 디스플레이 및 태양전지 제조 공정 모니터링에도 사용되고 같은 분야의 연구개발을 지원합니다. Semilab은 다양한 측정 기술을 제공하며 그중 대부분은 비접촉 및 비파괴 방식으로 설명됩니다. 기술은 간단한 휴대형 장치와 고해상도 mapping 기능을 갖춘 탁상형 시스템에서 중급 및 고급 fabline용 완전 자동 독립형 생산 제어 도구까지 다양한 플랫폼에 유연하게 통합될 수 있습니다. Semilab은 헝가리 부다페스트에 기반을 두고 미국 Tampa, FL와 Billerica, MA, 그리고 독일과 덴마크에 연구개발 및 제품 센터를 운영합니다. 미국, 일본, 한국, 중국, 대만, 싱가포르 등 주요 시장에는 직접 판매 및 서비스 사무소를 두고 전 세계 대리점 네트워크로 지원합니다.
전시 제품
Semilab의 반도체 계측 포트폴리오에는 3D 구조 characterization과 compound material characterization이 포함되어 첨단 구조 및 화합물 소재 시스템 평가에 대응합니다. Contamination analysis와 contamination monitoring은 별도의 응용 분야로 나열되고 defect inspection과 함께 제조 관련 소재 또는 소자 문제를 확인합니다. 유전체 구조에는 dielectric porosity measurement와 dielectrics and interfaces의 electrical characterization이 포함되어 유전체의 물리적 및 전기적 측면을 평가합니다. 에피 공정 제어에는 epi resistivity measurement와 epi thickness measurement가 포함되며 ion implant monitoring과 metallization control은 추가 공정 제어 단계를 담당합니다. Nano surface characterization, thin-film optical characterization 및 thin-film thickness measurement는 광학 및 나노 수준 정보가 필요한 표면과 박막으로 측정 범위를 확장합니다. Semilab은 starting material에서 back-end processing까지 서로 다른 반도체 측정 및 응용 요구를 위한 솔루션을 제공하여 단일 공정 단계에 한정되지 않습니다. 장비는 Silicon 벌크 오염물에 대한 가능한 최고 감도의 검사, epi resistivity measurement, 제품 웨이퍼 유전체의 광학 및 전기적 특성 제어를 지원합니다. 이러한 응용은 휴대형 및 탁상형 도구, 고해상도 mapping 시스템, 완전 자동 독립형 생산 제어 장비에 이르는 플랫폼 범위와 결합될 수 있습니다.
역량 및 제품
- 반도체 및 태양광 소재 계측 장비
- 3D 구조 특성 분석
- 화합물 소재 특성 분석
- 오염 분석
- 오염 모니터링
- 결함 검사
- 유전체 기공률 측정
- 유전체 및 계면 전기 특성 분석
- 에피 저항률 측정
- 에피 두께 측정
- 이온 주입 모니터링
- 금속화 공정 제어
- 나노 표면 특성 분석
- 박막 광학 특성 분석
- 박막 두께 측정
- 실리콘 벌크 오염 고감도 검사