基本資料
| 攤位 | K2386 |
| 國別 | TW |
| 產品分類 | Acoustic Spectroscopy; Electron Spectroscopy for Chemical Analysis (ESCA); Ultrasonic; Acoustical Mi · CV (capacitance-to-voltage) Probe systems · Defect; Particle; Bump; Contamination Detection, Review or Inspection · Film Thickness; Thickness; Uniformity Measurement; Ellipsometer · Line Width; Critical Dimension (CD) Measurement · Microscopes: Atomic Force Microscopes (AFM) · Microscopes: Confocal Scanning Microscope; 3-D Video Microscopes · Resistivity Measurement; 4 point probe; Sheet resistance · Spectrometers; Fourier Transform Infrared (FTIR); Attenuated Total Reflectance FTIR (ATR-FTIR); Auge · Stress; Refractive Index; Reflectivity & Conductivity Measurement · Wafer; Substrate Metrology; Topology; Nanotopography; Flatness Measurement; Crystalline Orientation |
| 網站 | www.semilab.com |
公司簡介
Semilab 集團設計、製造並銷售用於半導體與光伏材料特性分析的量測設備，用於監控半導體元件、平面顯示器及太陽能電池的製造製程，亦供這些領域的研發之用。我們提供多種量測技術，其中大多數為非接觸式與非破壞性。我們的許多技術可彈性整合至不同平台，從簡單的手持裝置、具高解析度映射能力的桌上型系統，到適用於中階與高階晶圓廠產線的全自動獨立式生產控制工具皆有。Semilab 總部位於匈牙利布達佩斯，並在美國（佛羅里達州坦帕市與麻州比爾里卡）、德國及丹麥設有研發與產品中心。其在所有主要市場皆設有直接銷售與服務據點，包括美國、日本、韓國、中國、台灣、新加坡，並在全球擁有代理商網絡。
能力與產品項目
- CV capacitance-to-voltage 探針系統
- ESCA 化學分析電子能譜
- 光伏材料特性分析用量測設備
- 全自動獨立式生產控制工具
- 半導體元件製造製程監控
- 半導體材料特性分析用量測設備
- 聲學與超音波光譜量測
- 非接觸式量測技術
- 非破壞式量測技術
- 高解析度 mapping 桌上型系統