基本資料
| 攤位 | K2386 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.semilab.com |
公司簡介
Semilab Taiwan Co. Ltd. 隸屬 Semilab group，集團設計、生產並銷售用於半導體與光伏材料特性分析的量測設備。其設備也用於監控半導體元件、平面顯示器與太陽能電池的製造流程，並支援這些領域的研究與開發。Semilab 提供多種量測技術，其中大多數被描述為非接觸且非破壞式。相關技術可彈性整合到不同平台，從簡單手持裝置、具高解析 mapping 能力的桌上型系統，到供中階與高階 fabline 使用的全自動獨立式生產控制工具。Semilab 總部位於匈牙利布達佩斯，在美國 Tampa, FL、Billerica, MA，以及德國與丹麥設有研發與產品中心。集團在美國、日本、韓國、中國、台灣與新加坡等主要市場設有直營銷售與服務據點，並由全球代表網路支援。
展出產品
Semilab 的半導體量測產品組合包括 3D 結構特性分析與 compound material characterization，可用於評估先進結構以及化合物材料系統。Contamination analysis 與 contamination monitoring 被分列為不同應用領域，並搭配 defect inspection 以辨識製造相關的材料或元件問題。針對介電結構，產品組合包括 dielectric porosity measurement，以及 dielectrics and interfaces 的 electrical characterization，同時涵蓋介電材料的物理與電氣評估。外延製程控制包含 epi resistivity measurement 與 epi thickness measurement，而 ion implant monitoring 與 metallization control 則對應其他製程控制階段。Nano surface characterization、thin-film optical characterization 與 thin-film thickness measurement 將量測能力延伸至需要光學與奈米尺度資訊的表面與薄膜。從 starting material 到 back-end processing，Semilab 提供對應不同半導體量測與應用需求的方案，而不是只服務單一製程階段。設備可進行 Silicon 體材料污染物的最高靈敏度測試、epi resistivity measurement，以及產品晶圓上介電層光學與電氣性質的控制。這些應用也能與集團的平台範圍結合，從手持與桌上型量測工具、高解析 mapping 系統，到全自動獨立式生產控制設備。
能力與產品項目
- 半導體與光伏材料量測設備
- 3D 結構表徵
- 化合物材料表徵
- 污染分析
- 污染監測
- 缺陷檢測
- 介電層孔隙率量測
- 介電層與介面電性表徵
- 磊晶電阻率量測
- 磊晶厚度量測
- 離子植入監測
- 金屬化製程控制
- 奈米表面表徵
- 薄膜光學表徵
- 薄膜厚度量測
- 矽材料體污染高靈敏度檢測