基本情報
| ブース | K2386 |
| 国 | TW |
| 製品カテゴリ | Acoustic Spectroscopy; Electron Spectroscopy for Chemical Analysis (ESCA); Ultrasonic; Acoustical Mi · CV (capacitance-to-voltage) Probe systems · Defect; Particle; Bump; Contamination Detection, Review or Inspection · Film Thickness; Thickness; Uniformity Measurement; Ellipsometer · Line Width; Critical Dimension (CD) Measurement · Microscopes: Atomic Force Microscopes (AFM) · Microscopes: Confocal Scanning Microscope; 3-D Video Microscopes · Resistivity Measurement; 4 point probe; Sheet resistance · Spectrometers; Fourier Transform Infrared (FTIR); Attenuated Total Reflectance FTIR (ATR-FTIR); Auge · Stress; Refractive Index; Reflectivity & Conductivity Measurement · Wafer; Substrate Metrology; Topology; Nanotopography; Flatness Measurement; Crystalline Orientation |
| ウェブサイト | www.semilab.com |
会社概要
Semilab グループは、半導体および太陽光発電材料の特性評価のため、また半導体デバイス・フラットパネルディスプレイ・太陽電池の製造プロセスのモニタリングのため、さらにこれらの分野の研究開発のための計測装置を設計・製造・販売しています。私たちはさまざまな測定技術を提供しており、その多くは非接触かつ非破壊です。当社の技術の多くはさまざまなプラットフォームに柔軟に統合でき、シンプルなハンドヘルド機器や高解像度マッピング機能を備えた卓上型システムから、中位・高位のファブライン向けの完全自動スタンドアロン型生産管理ツールまで幅広く対応します。Semilab はハンガリーのブダペストに本拠を置き、米国（フロリダ州タンパおよびマサチューセッツ州ビレリカ）、ドイツ、デンマークに研究開発・製品センターを有しています。米国、日本、韓国、中国、台湾、シンガポールを含むすべての主要市場に直接の販売・サービス拠点を持ち、世界中に代理店ネットワークを展開しています。
対応領域・製品
- CV capacitance-to-voltage プローブシステム
- ESCA 化学分析用電子分光
- 全自動スタンドアロン生産制御ツール
- 半導体デバイス製造プロセスモニタリング
- 半導体材料評価向けメトロロジー装置
- 太陽電池材料評価向けメトロロジー装置
- 非接触測定技術
- 非破壊測定技術
- 音響および超音波分光メトロロジー
- 高解像度 mapping 卓上システム