基本情報
| ブース | K2386 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.semilab.com |
会社概要
Semilab Taiwan Co. Ltd. は Semilab group の一員で、同グループは半導体および太陽光発電材料の特性評価に使用する計測装置を設計、製造、販売しています。装置は半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造工程監視にも使われ、同じ分野の研究開発にも対応します。Semilab は多様な測定技術を提供し、その大半は非接触・非破壊方式と説明されています。技術は柔軟に各種プラットフォームへ統合でき、簡易なハンドヘルド装置、高解像度 mapping 機能を持つ卓上システム、中級・上級 fabline 向けの全自動スタンドアロン生産管理ツールまで対応します。Semilab はハンガリーのブダペストに本拠を置き、米国の Tampa, FL と Billerica, MA、ドイツ、デンマークに研究開発・製品センターを持ちます。また、米国、日本、韓国、中国、台湾、シンガポールなど主要市場に直販・サービス拠点を設け、世界各地の代理店ネットワークが支援しています。
展示製品
Semilab の半導体計測ポートフォリオには、3D 構造の characterization と compound material characterization が含まれ、先端構造や化合物材料系の評価に対応します。Contamination analysis と contamination monitoring は別個の用途として掲げられ、defect inspection と組み合わせて製造に関わる材料・デバイス上の問題を確認します。誘電体構造向けには dielectric porosity measurement と、dielectrics and interfaces の electrical characterization があり、誘電体の物理面と電気面を評価します。エピタキシャル工程では epi resistivity measurement と epi thickness measurement を提供し、ion implant monitoring と metallization control はさらに別の工程管理を対象とします。Nano surface characterization、thin-film optical characterization、thin-film thickness measurement により、光学情報やナノスケール情報が必要な表面・薄膜まで計測範囲を広げています。Semilab は starting material から back-end processing まで、半導体産業の異なる測定・用途ニーズに対応するソリューションを提供し、単一工程に限定しません。装置には Silicon 中のバルク汚染物を可能な限り高い感度で試験する機能、epi resistivity measurement、製品ウェハ上の誘電体の光学・電気特性管理が含まれます。これらの用途は、ハンドヘルド・卓上型ツール、高解像度 mapping システム、全自動スタンドアロン生産管理装置までのプラットフォームと組み合わせられます。
対応領域・製品
- 半導体・太陽光材料用計測装置
- 3D構造評価
- 化合物材料評価
- 汚染分析
- 汚染モニタリング
- 欠陥検査
- 誘電体多孔率測定
- 誘電体・界面の電気特性評価
- エピ抵抗率測定
- エピ膜厚測定
- イオン注入モニタリング
- メタライゼーション制御
- ナノ表面評価
- 薄膜光学特性評価
- 薄膜厚さ測定
- シリコン中バルク汚染の高感度検査