基本情報
| ブース | H0031, S8343 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.sekisui.co.jp |
会社概要
積水化学工業株式会社は LCD、半導体などの IT 分野に製品を供給し、継続的な製品改良が技術の蓄積と新製品の創出につながるとして、SOL、DAF、DAP を例に挙げています。同社は Electronics、Mobility、Industrial の戦略 3 分野を中心にグローバルに事業を展開しています。積水化学工業株式会社は過去に日本とシンガポールの展示会へ参加したともしています。積水化学工業株式会社は、これらの製品が IT 産業の進歩に貢献してきたと考えているとしています。
展示製品
Electronics 分野では、積水化学工業株式会社は各種ディスプレイ、電機・通信機器、基板、半導体向け関連材料を提供し、Mobility 分野では合わせガラス用中間膜を含む自動車向け関連材料と航空機向け部材を提供し、Industrial 分野では各種産業向けに粘着テープ、接着剤、プラスチックコンテナを提供しています。SELFA は高い接着性を持ちながら容易な剥離を可能にする半導体プロセス用テープで、UV 照射によりテープと被着体の間にガスを発生させて密着力をゼロにし、薄く研磨されたウェハでもダメージなく加工できるとされています。SELFA は主に半導体ウェハ・チップ製造に使用され、パッケージ製造、wafer support、めっき工程向けに 3 種類の製品をラインアップし、片面・両面など用途に応じた提案が可能です。コア機能には 260°C の耐熱仕様、ガス発生剥離によるダメージレス剥離、Pre UV 技術による低残渣と幅広い process window が含まれます。二段階 UV 工程では、Pre UV によって粘着層を硬化させ、粘着力を大幅に下げ、熱処理時の粘着力上昇を抑え、残渣を減らし、その後の UV 処理で SELFA とガラスキャリアの間に窒素ガスを発生させて界面全体へ広げ、最終的にキャリアガラスをほとんど力を使わずに取り外せます。両面耐熱 SELFA HW Series は back-grinding から dicing 工程向けで、耐熱性、耐薬品性、ガス発生によるダメージレス剥離、handling 改善のための tape-style glass support を備え、片面耐熱 SELFA HS Series は熱・薬品工程でのデバイス保護、熱工程時の反り抑制、強粘着と低残渣の両立を掲げ、片面自己剥離 SELFA MP Series はめっき工程時のデバイス保護と UV 自己剥離によるめっき後の容易な剥離に対応します。用途例には CMOS image sensor での両面耐熱 SELFA HW、stacked memory での SELFA HW と片面耐熱 SELFA HS、communication module (SiP) での SELFA HS、application processor (FOWLP) での SELFA HW と HS、embedded-component substrate での SELFA HW、HS、MP、power semiconductor での SELFA MP が挙げられています。プロセス自動化では、装置メーカーとの提携によって生産性向上と環境負荷低減のための完全自動化ラインを構築できるとし、Takatori WSM-200B wafer bonding equipment と Takatori WSR-200 wafer debonding equipment を挙げています。リユースでは、SELFA はキャリアガラスにへこみを生じさせず 20 回以上の再利用が可能で、液体材料の 10 回以上と比較され、stripping method は UV lamp、リユースは主に溶剤洗浄を使用し、UV 剥離によるダメージ軽減を liquid material の laser release によるダメージと比較しています。SELFA 性能比較表の耐熱条件は順に 260°C / Reflow、250°C / Reflow、80°C / 30min.、220°C / 2hr、220°C / 2hr とされ、ウェハ側接着強度の初期から Pre UV は順に SUS: 10.5 → 0.01、SUS: 3.83 → 0.08、SUS: 17.5 → 0、Si: 0.08 → 0.02、Si: 0.06 → 0.02、Si: 16.1 → 0、-、Cu: 4.51 → 0.10、Au: 13.5 → 0、キャリア側は順に Glass: 0.06 → <0.01、-、- と記載されています。
対応領域・製品
- 半導体工程用UV剥離テープ
- 260°C耐熱プロセステープ
- UVガス剥離によるガラスキャリア除去
- めっき工程用自己剥離保護テープ