기본 정보
| 부스 | M0556 |
| 국가 | KR |
| 웹사이트 | www.esealink.com |
회사 소개
Sealink Vacuum Rotary Sealing Units는 자성 페로플루이드 씰이 아닙니다. ‘Semicon Taiwan 2024’에서 만나 뵙기를 기대합니다. 방문 후에는 파운드리 기업에 공급한 경험을 바탕으로 귀사의 프로젝트에 최적의 씰링 솔루션을 제공할 수 있다고 확신합니다. 당사는 로터리/리니어 피드스루와 로터리 유니온의 제조 및 설계를 전문으로 합니다. Sealink의 피드스루에는 독자적인 씰링 기술이 적용됩니다. 몇 가지 차별화된 특징이 있습니다. 고압 및 고진공 조건에서 작동합니다. 가스, 액체 등 다양한 매체를 씰링할 수 있습니다. 당사의 씰링 기술은 페로플루이드나 자성을 기반으로 하지 않습니다. 경쟁 우위 유형 / 조건 / 매체 / 가격 자성 씰 / 진공 전용 / 가스 / 높음 Sealink Seals / 진공 및 압력 / 가스, 액체 등 / 합리적 적용 분야: 반도체 산업 CVD, MOCVD, LPCVD, PECVD, PCD, ALD, CMP, OLED, LCD, FPD, 웨이퍼 핸들링, 진공 증착, 이온 주입기 에처, 애셔, 에지 그라인더, 스크러버, RTP, 스퍼터, 램프, 오토클레이브, 웨이퍼 로봇 등.
전시 제품
리니어 피드스루: 압력, 진공, 스트로크, 속도 및 온도 요구사항 등 다양한 옵션으로 표준 리니어 피드스루를 맞춤 제작합니다. 따라서 추가 장비 없이 기존 피드스루를 Sealink 제품으로 교체할 수 있습니다. 로터리 피드스루: 솔리드 또는 중공 샤프트가 적용된 표준 로터리 피드스루 제품과 압력, 진공, 속도 및 온도 등 장비 운전 환경에 최적화된 맞춤형 피드스루 제품을 제공합니다. 로터리 유니온: 액체 및 기체를 포함한 다양한 유형의 매체를 동시에 전달할 수 있도록 싱글 포트 또는 멀티 포트를 제공합니다. 또한 압력, 진공, 속도, 포트 수 및 온도 등 다양한 운전 환경에 최적화된 제품을 공급합니다. 확산로 R축: Electrohydrodynamic Lubrication (EHL) 원리를 적용한 당사의 R축은 비페로플루이드 방식으로 작동하는 새로운 기술의 회전축입니다. 반도체 공정의 확산로 장비에 매우 적합합니다. R축용 고압 수소 어닐링 장치: Electrohydrodynamic Lubrication (EHL) 원리를 적용한 당사의 R축용 고압 수소 어닐링 장치는 반도체 공정의 고압 수소 어닐링 공정에 매우 적합합니다.
역량 및 제품
- 회전 피드스루 설계 및 제조
- 선형 피드스루 설계·제조
- 로터리 유니온 설계 및 제조
- 고압／고진공 밀봉
- 가스/액체 매체 씰링
- 비자성 유체 씰링
- 맞춤형 리니어 피드스루
- 솔리드/중공축 회전 피드스루
- 단일 포트／다중 포트 로터리 조인트
- EHL R 축
- R축 고압 수소 어닐링 장치