기본 정보
| 부스 | M0556 |
| 국가 | KR |
| 웹사이트 | www.esealink.com |
회사 소개
Sealink Corp.는 움직이는 인터페이스 사이에서 밀봉된 전달이 필요한 장비를 위해 rotary feedthrough, linear feedthrough 및 rotary union을 제조하고 설계하는 데 전문성을 두고 있습니다. feedthrough에는 Sealink의 고유 밀봉 기술이 적용되며 고압과 고진공 조건 모두에서 작동하도록 설계됩니다. 밀봉 방식은 gas, liquid 등 여러 종류의 매체를 처리할 수 있습니다. Sealink는 자사의 밀봉 기술이 ferrofluids나 magnetics에 기반하지 않아 magnetic ferrofluid seals와 다르다고 설명합니다. 비교 자료에서는 magnetic seals가 vacuum only 조건에서 gas를 다루는 반면 Sealink seals는 vacuum과 pressure 모두에 대응하고 gas, liquid 등 다양한 매체를 다룬다고 제시합니다. 반도체 산업 응용 목록에는 CVD, MOCVD, LPCVD, PECVD, PCD, ALD 및 CMP 장비가 포함됩니다. 같은 응용 범위에는 OLED, LCD, FPD, wafer handling 및 vacuum deposition 장비도 포함됩니다. Sealink는 ion implanter, etcher, asher, edge grinder, scrubber, RTP 및 sputter systems도 반도체 응용으로 제시합니다. lamp equipment, autoclave 및 wafer robot도 밀봉 제품을 적용할 수 있는 장비 환경으로 기재됩니다. Sealink의 설계와 제조는 반도체 장비의 pressure, vacuum, speed, temperature, stroke, shaft 및 port 요구에 맞춰 feedthrough와 union 구성을 조정하는 데 초점을 둡니다.
전시 제품
직선 운동용으로 Sealink Corp.는 pressure, vacuum, stroke, speed 및 temperature 요구에 맞춰 표준 linear feedthrough를 맞춤화합니다. 회사는 이 맞춤화를 통해 추가 장비 없이 기존 feedthrough를 Sealink 제품으로 교체할 수 있다고 설명합니다. 회전 운동용으로는 solid shaft 또는 hollow shaft를 사용하는 표준 rotary feedthrough를 제공합니다. 맞춤형 rotary feedthrough는 pressure, vacuum, speed 및 temperature 등의 장비 운전 조건에 맞게 최적화할 수 있습니다. Rotary union은 single port 또는 multiple ports로 제공되며 서로 다른 재료를 동시에 전달할 수 있습니다. Rotary union이 취급하는 매체에는 liquid와 gaseous materials가 모두 포함됩니다. 구성은 pressure, vacuum, speed, port 수 및 temperature에 따라 최적화할 수 있습니다. Sealink의 Diffusion Furnace R Axis는 Electrohydrodynamic Lubrication, 즉 EHL 원리를 적용하고 non-ferrofluid method로 작동합니다. 회사는 이 R Axis가 반도체 공정의 diffusion-furnace equipment에 적합하다고 설명합니다. High Pressure Hydrogen Annealing Device for R Axis도 EHL 원리를 적용하며 반도체 제조의 high-pressure hydrogen annealing processes를 대상으로 합니다. 전체 제품군은 non-ferrofluid sealing, custom linear feedthrough, solid- 또는 hollow-shaft rotary feedthrough, single- 또는 multi-port rotary union 및 EHL-based R-axis products를 반도체 장비용으로 결합합니다.
역량 및 제품
- 선형 진공 피드스루 맞춤 제작
- 회전 진공 피드스루 맞춤 제작
- 액체 및 기체 이송용 로터리 유니온
- 비자성·비페로플루이드 회전 씰
- 확산로용 비페로플루이드 R축
- 고압 수소 어닐링용 R축 장치