基本資料
| 攤位 | M0556 |
| 國別 | KR |
| 網站 | www.esealink.com |
公司簡介
Sealink Corp. 專精於 rotary feedthrough、linear feedthrough 與 rotary union 的製造與設計，面向需要在運動介面之間進行密封傳輸的設備。其 feedthrough 採用 Sealink 自有密封技術，並設計為可在高壓與高真空條件下運作。密封方式可處理 gas、liquid 等不同介質。Sealink 表示，其密封技術不以 ferrofluids 或 magnetics 為基礎，因此與 magnetic ferrofluid seals 不同。公司比較指出，magnetic seals 僅用於 vacuum 與 gas，而 Sealink seals 則面向 vacuum 與 pressure，並可處理 gas、liquid 與其他介質。半導體產業的應用清單包括 CVD、MOCVD、LPCVD、PECVD、PCD、ALD 與 CMP 設備。同一應用範圍也涵蓋 OLED、LCD、FPD、wafer handling 與 vacuum deposition 設備。Sealink 另外列出 ion implanter、etcher、asher、edge grinder、scrubber、RTP 與 sputter systems 等半導體應用。公司還將 lamp equipment、autoclave 與 wafer robot 列為可使用其密封產品的設備環境。Sealink 的設計與製造工作可依半導體設備中的 pressure、vacuum、speed、temperature、stroke、shaft 與 port 等條件調整 feedthrough 與 union 配置。
展出產品
在線性運動方面，Sealink Corp. 可依 pressure、vacuum、stroke、speed 與 temperature 需求客製標準 linear feedthrough。公司表示，這種客製方式可讓既有 feedthrough 直接以 Sealink 產品替換，不需要增加額外設備。旋轉運動方面，Sealink 提供具 solid shaft 或 hollow shaft 的標準 rotary feedthrough。客製 rotary feedthrough 可依設備的 pressure、vacuum、speed 與 temperature 等運轉條件最佳化。Rotary union 提供 single port 或 multiple ports，可同時傳輸不同材料。Rotary union 可處理的介質包含 liquid 與 gaseous materials。Rotary-union 配置可依 pressure、vacuum、speed、port 數量與 temperature 最佳化。Sealink 的 Diffusion Furnace R Axis 採用 Electrohydrodynamic Lubrication，也就是 EHL 原理，並以 non-ferrofluid method 運作。公司將此 R Axis 定位為適合半導體製程中的 diffusion-furnace equipment。High Pressure Hydrogen Annealing Device for R Axis 同樣採用 EHL 原理，面向半導體製造中的 high-pressure hydrogen annealing processes。整體產品線把 non-ferrofluid sealing 與 custom linear feedthrough、solid- 或 hollow-shaft rotary feedthrough、single- 或 multi-port rotary union，以及 EHL-based R-axis products 結合，服務半導體設備。
能力與產品項目
- 線性真空穿通件客製
- 旋轉真空穿通件客製
- 液氣體旋轉接頭
- 非磁性鐵磁流體旋轉密封
- 擴散爐非鐵磁流體 R 軸
- 高壓氫退火 R 軸裝置