基本情報
| ブース | M0556 |
| 国 | KR |
| ウェブサイト | www.esealink.com |
会社概要
Sealink Corp.は、動作するインターフェース間で密封された伝送を必要とする装置向けに、rotary feedthrough、linear feedthrough、rotary unionの製造と設計を専門としています。feedthroughにはSealink独自のシール技術が用いられ、高圧と高真空の双方の条件で動作するよう設計されています。シールはgas、liquidなど複数の媒体に対応できます。Sealinkは、同社のシール技術がferrofluidsやmagneticsに基づかず、magnetic ferrofluid sealsとは異なると説明しています。比較では、magnetic sealsがvacuum onlyでgasを対象とする一方、Sealink sealsはvacuumとpressureの両方に対応し、gas、liquidなどを扱うとしています。半導体産業の用途としてCVD、MOCVD、LPCVD、PECVD、PCD、ALD、CMP装置を挙げています。同じ用途範囲にはOLED、LCD、FPD、wafer handling、vacuum deposition装置も含まれます。さらにion implanter、etcher、asher、edge grinder、scrubber、RTP、sputter systemsも半導体用途として記載されています。lamp equipment、autoclave、wafer robotもシール製品を適用できる装置環境に含まれます。Sealinkの設計・製造は、半導体装置で求められるpressure、vacuum、speed、temperature、stroke、shaft、port条件に合わせてfeedthroughとunionの構成を調整することを中心としています。
展示製品
直線運動向けには、pressure、vacuum、stroke、speed、temperatureの要件に合わせて標準linear feedthroughをカスタマイズします。同社は、このカスタマイズによって追加装置なしで既存feedthroughをSealink製品に置き換えられるとしています。回転運動向けにはsolid shaftまたはhollow shaftを備える標準rotary feedthroughを提供します。カスタムrotary feedthroughはpressure、vacuum、speed、temperatureなど装置の運転条件に合わせて最適化できます。Rotary unionはsingle portまたはmultiple portsを用意し、異なる材料を同時に移送できます。Rotary unionが扱う媒体にはliquidとgaseous materialsの双方が含まれます。構成はpressure、vacuum、speed、port数、temperatureに合わせて最適化できます。SealinkのDiffusion Furnace R AxisはElectrohydrodynamic Lubrication、すなわちEHLの原理を適用し、non-ferrofluid methodで動作します。同社はこのR Axisを半導体プロセスのdiffusion-furnace equipmentに適した製品としています。High Pressure Hydrogen Annealing Device for R AxisもEHL原理を適用し、半導体製造のhigh-pressure hydrogen annealing processesを対象とします。製品群全体では、non-ferrofluid sealing、custom linear feedthrough、solid-またはhollow-shaft rotary feedthrough、single-またはmulti-port rotary union、EHL-based R-axis productsを半導体装置向けに組み合わせています。
対応領域・製品
- リニア真空フィードスルーのカスタム対応
- 回転真空フィードスルーのカスタム対応
- 液体・気体用ロータリーユニオン
- 非磁性・非磁性流体方式の回転シール
- 拡散炉用非磁性流体方式 R 軸
- 高圧水素アニール用 R 軸装置