基本情報
| ブース | M0556 |
| 国 | KR |
| 製品カテゴリ | Seal Patterning Equipment · Sealing; Bagging; Packing Equipment · Chemical Mechanical Polishing (CMP); Electro Polishing, Mechanical Polishing Equipment · Deposition; Chemical Vapor (CVD); MOCVD; PECVD; LPCVD; ALD; REALD; MVD · Deposition; Physical Vapor (PVD); Sputtering; Evaporation Equipment · Etching; Stripping; Ashing - Dry and Wet Equipment · Ion Implantation Equipment · Bearings; Shaft Collars · Gaskets; Seals; O rings; Elastomers; Resins · Magnetic Components; Heads · Hydraulic Systems |
| ウェブサイト | www.esealink.com |
会社概要
Sealink の真空ロータリーシールユニットは、磁性流体（フェロフルイド）シールではありません。「Semicon Taiwan 2024」でお会いできることを楽しみにしています。ご来場後には、ファウンドリへの供給経験に基づき、お客様のプロジェクトに最適なシールソリューションをご提供できると確信しています。当社はロータリー／リニアフィードスルーおよびロータリーユニオンの製造・設計を専門としています。Sealink のフィードスルーには独自のシール技術が採用されており、いくつかの際立った特長があります。高圧・高真空条件下での動作が可能。気体、液体などさまざまな媒体をシール可能。当社のシール技術は磁性流体や磁気に依存しません。競争上の優位性 種類／条件／媒体／価格 磁性シール：真空のみ／気体／高い Sealink シール：真空および圧力／気体・液体など／妥当。用途：半導体産業 CVD、MOCVD、LPCVD、PECVD、PCD、ALD、CMP、OLED、LCD、FPD、ウェハハンドリング、真空蒸着、イオン注入装置、エッチング装置、アッシャー、エッジグラインダー、スクラバー、RTP、スパッタ、ランプ、オートクレーブ、ウェハロボットなど。
対応領域・製品
- CVD、MOCVD、LPCVD、PECVD、PCD、ALD 装置向けシール
- Ion Implanter、Etcher、Asher、Edge Grinder、RTP、Sputter 装置向けシール
- ウェハ搬送およびウェハロボット用途向けシール
- ガスおよび液体媒体のシール
- ロータリーユニオン
- 回転および直線 feedthroughs
- 真空ロータリーシールユニット
- 非フェロ流体、非磁性シール技術
- 高圧および高真空シール