기본 정보
| 부스 | N0876 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.sanwa-eng.com.tw |
회사 소개
Sanwa Engineering Corp.는 대만 기업으로 반도체와 FPD를 포함한 첨단 클린룸 공정 자동화 솔루션에 집중하며 사양 수립, 모션 제어, 메카트로닉스 통합 및 소프트웨어 개발을 결합합니다. LCD 및 IC 클린룸용 Robot, EFEM 및 Sorter 자동화 시스템을 설계하고 제조하며 LCD 및 IC Robot 오버홀 서비스도 제공합니다. 클린룸 자동화 제공 범위에는 semiconductor and FPD solutions, agent technology 및 첨단 공정용 고유 개발 사례가 포함됩니다.
전시 제품
반도체 제품 범위에는 ROBOT, ALIGNER, EFEM, SORTER, STOCKER (WAFER & CASSETTE HANDLING SYSTEM), SMIF OPENER, ROBOTIC PARTS 및 LOAD PORT가 포함됩니다. SAS Series는 3축 원통 좌표형 관절식 단일 암 클린 로봇으로 편심 숄더 조인트 설계가 회전 반경을 줄이고 픽앤플레이스 거리를 늘리며, 전 축에 폐루프 AC 서보와 고해상도 절대형 엔코더를 적용하고 고강도 고강성 암이 플리핑 엔드 이펙터와 같은 큰 하중을 처리하며 고성능 컨트롤러가 원호 운동 궤적을 구현합니다. SAD Series는 4축 원통 좌표형 관절식 듀얼 암 클린 로봇으로 동일한 숄더 조인트와 폐루프 AC 서보 구성을 사용하고 웨이퍼 교환과 듀얼 암 동기 픽앤플레이스를 지원하며 더블 플립 이송, 부드러운 고속 가감속, 첨단 AC 서보, ±180° 회전 및 선택형 웨이퍼 Mapping도 제공합니다. SSS Series는 3축 원통 좌표형 단일 암 고하중 클린 로봇으로 전 축 폐루프 AC 서보와 고해상도 절대형 엔코더, 선형 궤적 정확도를 위한 2축 보간 제어, 장거리 및 고하중 이송용 고강성 구조, 360°를 넘는 사각 없는 회전, 맞춤형 방수 성능을 제공합니다. SSD Series는 4축 원통 좌표형 듀얼 암 고하중 클린 로봇으로 폐루프 AC 서보, 고해상도 절대형 엔코더, 2축 보간 제어, 장거리 및 고하중 이송용 고강성 구조, 360°를 넘는 사각 없는 회전, 맞춤형 방수 성능을 제공합니다. SIS Series는 3축 원통 좌표형 관절식 단일 암 클린 로봇으로 고효율 스테핑 모터 구동, 각 축의 증분형 엔코더, 경량 소형 설계를 사용하고, SID Series는 4축 원통 좌표형 관절식 듀얼 암 클린 로봇으로 고효율 스테핑 모터 구동과 경량 소형 설계를 사용합니다. SK Series는 5축 수평 다관절 단일 암 듀얼 엔드 이펙터 클린 로봇으로 전 축 폐루프 AC 서보와 고해상도 절대형 엔코더, 고속 운전의 정밀도와 안정성을 위한 고전달강성 직접 출력 조인트를 갖추고 SEMI 표준 응용에 맞는 300 mm 웨이퍼 이송을 지원합니다. SV Series는 진공 챔버용으로 고강성 조인트, 매우 빠르고 조용한 작동, 안전하고 안정적인 핸들링을 제공하며, ST Series는 5축 원통 좌표형 관절식 클린 로봇으로 링크형 듀얼 암, 최소 회전 반경, 최대 W730 x D920 mm 이송 크기를 지원합니다. FR Series는 FOUP 이송용 3축 직교 좌표형 관절식 단일 암 클린 로봇으로 장비 내 점유 공간을 줄이는 얇은 Z축, 300 mm 웨이퍼 FOUP 이송, FOUP 잠금 클램프, 빠르고 정밀한 픽앤플레이스 동작을 제공합니다. FV Series는 FOUP 이송용 3축 직교 좌표형 수직 관절 단일 암 클린 로봇으로 얇은 Z축, 하부 FOUP 클램핑, FOUP 보관 슬롯 사이의 수직 간격을 줄이는 특허 수직 신축 암, 정지 상태의 우수한 하중 강성을 제공하며 높은 스트로크로 3열 FOUP 배열에 도달해 수직 배열 FOUP를 고속 이송합니다. VIP Series는 5축 원통 좌표형 장거리 듀얼 리니어 암 클린 로봇으로 AC 서보와 스테핑 모터 복합 구동, 고해상도 절대형 엔코더, 4.5~15mm 간격을 연속 제어하는 특허 소형 가변 피치 메커니즘을 갖춥니다. VIP Series는 단일 웨이퍼와 5장 웨이퍼 이송을 선택할 수 있고 200 mm STOCKER 및 수직 퍼니스 공정과 연결해 서로 다른 Pitch의 카세트를 처리하며, 단일 암과 듀얼 암 동시 이송, 부드러운 이동을 위한 직선 구조, 고청정 및 협소 공간 응용을 지원합니다. SNE Series는 벽걸이형 장거리 스트로크 클린 로봇으로 전 축에 AC 서보 모터, 리니어 모터 및 고해상도 절대형 엔코더를 적용하고 최대 5장의 웨이퍼를 동시에 픽업해 이송 처리량과 동작 구성을 높이며 작은 회전 반경과 긴 웨이퍼 픽업 스트로크로 공간 활용도를 높입니다. SNP Series는 4암 고수직 스트로크 클린 로봇으로 AC 서보와 스테핑 모터 복합 구동 및 고해상도 절대형 엔코더를 사용하며 각 암은 독립적으로 또는 동기 이송 방식으로 움직일 수 있습니다. SSS201 Series 배치 웨이퍼 이송 로봇은 높은 강성과 고하중으로 25장의 웨이퍼를 일괄 이송하고 독특한 클램핑 장치와 최적화 속도로 안정적으로 이송하며 전단과 후단 웨이퍼의 접촉 영역을 분리해 오염 배치와 청정 배치를 격리하고 고청정 응용에 대응합니다. SSD Wet Arms Robot은 초고기밀 구조와 신축형 Z축 씰 설계를 사용하고 절대형 엔코더를 갖춘 회전축을 유연하게 구성할 수 있으며 고방수 응용에 적합하고 선택형 벽걸이 주행축을 제공합니다. 폐루프 모델에서는 전 축 AC 서보 구동과 고해상도 절대형 엔코더를 함께 사용할 수 있고 고전달강성 직접 출력 조인트가 고속 작동의 정밀도와 안정성을 지원하며, 가변 피치와 다중 암 시스템에는 AC 서보와 스테핑 모터의 복합 제어 및 고해상도 절대형 엔코더도 사용됩니다.
역량 및 제품
- LCD/IC 클린룸 로봇
- EFEM 자동화 시스템
- 웨이퍼 Sorter 자동화 시스템
- 웨이퍼/Cassette Stocker 이송 시스템
- SMIF Opener
- Load Port
- LCD/IC Robot 오버홀 서비스
- 웨이퍼 Aligner
- 클린룸 로봇 부품
- 싱글암/듀얼암 클린 로봇