基本資料
| 攤位 | N0876 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.sanwa-eng.com.tw |
公司簡介
三和技研股份有限公司是台灣公司，聚焦先進無塵室製程的自動化解決方案，包括半導體與 FPD 應用，並整合規格制定、運動控制、機電整合與軟體開發。公司為 LCD 與 IC 無塵室設計並製造 Robot、EFEM 與 Sorter 自動化系統，並提供 LCD 與 IC Robot 大修服務。其無塵室自動化服務包含 semiconductor and FPD solutions、agent technology，以及應用於先進製程的特殊開發案例。
展出產品
半導體產品範圍包括 ROBOT、ALIGNER、EFEM、SORTER、STOCKER (WAFER & CASSETTE HANDLING SYSTEM)、SMIF OPENER、ROBOTIC PARTS 與 LOAD PORT。SAS Series 為 3 軸圓柱座標型關節式單臂潔淨機器人，採偏心肩關節設計以抑制迴旋半徑並增加取放距離，全軸使用閉迴路 AC 伺服馬達與高解析絕對值編碼器，高強度與高剛性手臂可承載末端翻轉軸等較大負荷，高機能控制器可實現弧形運動軌跡。SAD Series 為 4 軸圓柱座標型關節式雙臂潔淨機器人，採相同的肩關節與閉迴路 AC 伺服架構，可執行交換片與雙臂同步取放，並支援雙翻轉傳送、平穩高速的加減速控制、先進 AC 伺服驅動、±180° 旋轉軸與選配晶圓 Mapping。SSS Series 為 3 軸圓柱座標型單臂高荷重潔淨機器人，全軸採閉迴路 AC 伺服與高解析絕對值編碼器，雙軸補間控制可提高線性軌跡精度，高剛性結構適用長行程與高負載搬送，旋轉範圍超過 360° 無死角，並可客製防水性能。SSD Series 為 4 軸圓柱座標雙臂高荷重潔淨機器人，採閉迴路 AC 伺服、高解析絕對值編碼器與雙軸補間控制，高剛性結構適用長行程與高負載搬送，旋轉範圍超過 360° 無死角，並可客製防水性能。SIS Series 為 3 軸圓柱座標型關節式單臂潔淨機器人，採高效步進馬達驅動、各軸增量型編碼器與輕量化小體積設計；SID Series 為 4 軸圓柱座標型關節式雙臂潔淨機器人，同樣採高效步進馬達驅動與輕量化小體積設計。SK Series 為 5 軸水平多關節式單臂雙腕潔淨機器人，全軸採閉迴路 AC 伺服與高解析絕對值編碼器，各關節以高傳動剛性元件直接輸出以確保高速運行的精度與穩定性，並支援符合 SEMI 標準應用的 300 mm 晶圓搬送。SV Series 適用於真空腔體，採高剛性關節設計，可極高速且安靜地安全穩定運行；ST Series 為 5 軸圓柱座標型關節式潔淨機器人，採連桿式雙臂並縮小旋迴半徑，最大搬送物尺寸為 W730 x D920 mm。FR Series 為 3 軸直角座標型關節式單臂 FOUP 取放潔淨機器人，採薄型化 Z 軸本體以減少設備內佔據體積，可傳送 300 mm 晶圓 FOUP，具 FOUP 鎖定夾緊機構並可快速精準取放。FV Series 為 3 軸直角座標型垂直關節式單臂 FOUP 取放潔淨機器人，採薄型化 Z 軸、底部夾持 FOUP 與獨家專利垂直向伸縮臂以減小 FOUP 儲位垂直間隔，靜態時具有良好負荷剛性，並以高 Z 軸行程支援水平前後 3 列 FOUP 陣列的高速搬送。VIP Series 為 5 軸圓柱座標型雙線性臂高行程潔淨機器人，採 AC 伺服與步進馬達並存的驅動系統及高解析絕對值編碼器，並搭載獨家專利小體積可變間距機構，可於 4.5~15mm 的間距範圍內無段控制。VIP Series 可選擇執行單片及五片晶圓取放，可連結 200 mm STOCKER 與立式爐製程並對應不同 Pitch 的片盒，也支援單臂與雙臂同動傳送，以直進性結構提供平穩移動，適用高潔淨度與緊湊空間。SNE Series 為壁掛式長行程潔淨機器人，全軸採 AC 伺服馬達、線性馬達與高解析絕對型編碼器，可同時取放高達五片晶圓以提高搬送吞吐量並提供靈活動作配置，且以小迴旋半徑與長取片行程提升空間利用率。SNP Series 為四臂高行程潔淨機器人，採 AC 伺服與步進馬達並存的驅動系統及高解析絕對值編碼器，手臂可獨立運動或同步運動搬運。SSS201 Series 批次晶圓傳送機器人可一次傳送 25 片晶圓，具高剛性與高負載能力，以獨特夾持裝置與最佳化速度進行穩定傳送，並以不同接觸區域隔離前段與後段的髒污與潔淨晶圓，適用高潔度環境。SSD Wet Arms Robot 採超高密閉結構與伸縮管式 Z 軸密封設計，可彈性配置旋轉軸並搭配絕對值編碼器，適用高防水性環境，並可選配壁掛走型軸。在閉迴路機型中，全軸可採 AC 伺服馬達驅動並搭配高解析絕對值編碼器，高傳動剛性元件直接輸出的關節可支援高速運行時的精度與穩定性；可變間距與多臂系統也採 AC 伺服與步進馬達並存控制並搭配高解析絕對值編碼器。
能力與產品項目
- LCD／IC 無塵室潔淨機器人
- EFEM 自動化系統
- 晶圓 Sorter 自動化系統
- 晶圓／Cassette Stocker 搬送系統
- SMIF Opener
- Load Port
- LCD／IC Robot 大修服務
- 晶圓 Aligner
- 潔淨機器人零組件
- 單臂／雙臂潔淨機器人