基本情報
| ブース | N0876 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.sanwa-eng.com.tw |
会社概要
Sanwa Engineering Corp. は台湾企業で、半導体と FPD を含む先進クリーンルームプロセスの自動化ソリューションに注力し、仕様策定、モーション制御、メカトロニクス統合、ソフトウェア開発を統合しています。LCD・IC クリーンルーム向けに Robot、EFEM、Sorter の自動化システムを設計・製造し、LCD・IC Robot のオーバーホールサービスも提供します。クリーンルーム自動化では semiconductor and FPD solutions、agent technology、先進プロセス向けの独自開発事例を提供しています。
展示製品
半導体向け製品には、ROBOT、ALIGNER、EFEM、SORTER、STOCKER (WAFER & CASSETTE HANDLING SYSTEM)、SMIF OPENER、ROBOTIC PARTS、LOAD PORT があります。SAS Series は3軸円筒座標型関節式単腕クリーンロボットで、偏心ショルダージョイントにより旋回半径を抑えてピック・プレース距離を伸ばし、全軸にクローズドループ AC サーボと高分解能アブソリュートエンコーダを採用し、高強度・高剛性アームでフリップ式エンドエフェクタなどの大きな負荷に対応し、高機能コントローラで円弧軌道を実現します。SAD Series は4軸円筒座標型関節式双腕クリーンロボットで、同じショルダージョイントとクローズドループ AC サーボ構成を採用し、ウェハ交換と双腕同期ピック・プレースに対応し、ダブルフリップ搬送、滑らかな高速加減速、先進 AC サーボ、±180°回転、オプションのウェハ Mapping も提供します。SSS Series は3軸円筒座標型単腕高荷重クリーンロボットで、全軸クローズドループ AC サーボと高分解能アブソリュートエンコーダ、直線軌道精度を高める2軸補間制御、長ストローク・高荷重搬送向け高剛性構造、360°を超える死角のない回転、カスタム防水性能を備えます。SSD Series は4軸円筒座標型双腕高荷重クリーンロボットで、クローズドループ AC サーボ、高分解能アブソリュートエンコーダ、2軸補間制御、長ストローク・高荷重搬送向け高剛性構造、360°を超える死角のない回転、カスタム防水性能を備えます。SIS Series は3軸円筒座標型関節式単腕クリーンロボットで、高効率ステッピングモータ、各軸のインクリメンタルエンコーダ、軽量・小型設計を採用し、SID Series は4軸円筒座標型関節式双腕クリーンロボットで、高効率ステッピングモータと軽量・小型設計を採用します。SK Series は5軸水平多関節式単腕デュアルエンドエフェクタのクリーンロボットで、全軸クローズドループ AC サーボと高分解能アブソリュートエンコーダ、高速時の精度と安定性を確保する高伝達剛性のダイレクト出力ジョイントを備え、SEMI 標準用途に対応した300 mmウェハ搬送を行います。SV Series は真空チャンバー向けで、高剛性ジョイント、超高速かつ静音、安全で安定した動作を提供し、ST Series は5軸円筒座標型関節式クリーンロボットで、リンク式双腕、最小化した旋回半径、最大 W730 x D920 mm の搬送サイズに対応します。FR Series は FOUP 搬送用3軸直交座標型関節式単腕クリーンロボットで、装置内占有スペースを減らす薄型 Z 軸、300 mmウェハ FOUP 搬送、FOUP ロック用クランプ、高速・高精度ピック・プレースを備えます。FV Series は FOUP 搬送用3軸直交座標型垂直関節式単腕クリーンロボットで、薄型 Z 軸、底面 FOUP クランプ、FOUP 保管スロット間の垂直間隔を小さくする特許取得済み垂直伸縮アーム、静止時の高い荷重剛性を備え、高ストロークで3列の FOUP 配列に対応して垂直配列 FOUP を高速搬送します。VIP Series は5軸円筒座標型長ストローク双リニアアームクリーンロボットで、AC サーボとステッピングモータの複合駆動、高分解能アブソリュートエンコーダ、4.5~15mm のピッチ範囲を無段制御する特許取得済み小型可変ピッチ機構を備えます。VIP Series は単枚および5枚ウェハ搬送を選択でき、200 mm STOCKER と縦型炉プロセスに接続して異なる Pitch のカセットに対応し、単腕・双腕の同時搬送、滑らかな移動のための直進構造、高クリーン度・省スペース用途に対応します。SNE Series は壁掛け長ストローククリーンロボットで、全軸に AC サーボモータ、リニアモータ、高分解能アブソリュートエンコーダを採用し、最大5枚のウェハを同時にピックして搬送スループットと動作自由度を高め、小旋回半径と長いウェハピックストロークで空間利用率を高めます。SNP Series は4アーム高ストローククリーンロボットで、AC サーボとステッピングモータの複合駆動、高分解能アブソリュートエンコーダを採用し、各アームは独立動作または同期搬送が可能です。SSS201 Series バッチウェハ搬送ロボットは高剛性・高荷重で25枚のウェハを一括搬送し、独自クランプと最適化速度で安定搬送し、前工程・後工程ウェハを別の接触領域で分離して汚染側とクリーン側を隔離し、高クリーン度用途に対応します。SSD Wet Arms Robot は超高気密構造と伸縮式 Z 軸シールを採用し、アブソリュートエンコーダ付き回転軸を柔軟に構成でき、高防水用途に対応し、壁掛け走行軸をオプションで提供します。クローズドループ機種では全軸 AC サーボ駆動と高分解能アブソリュートエンコーダを組み合わせ、高伝達剛性のダイレクト出力ジョイントが高速動作時の精度と安定性を支え、可変ピッチ・多アームシステムでは AC サーボとステッピングモータの複合制御と高分解能アブソリュートエンコーダも使用します。
対応領域・製品
- LCD／ICクリーンルーム用クリーンロボット
- EFEM自動化システム
- ウェハSorter自動化システム
- ウェハ／Cassette Stocker搬送システム
- SMIF Opener
- Load Port
- LCD／IC Robotオーバーホールサービス
- ウェハAligner
- クリーンロボット部品
- 単腕／双腕クリーンロボット