기본 정보
| 부스 | H0001 |
| 웹사이트 | s-team.sk |
회사 소개
S-TEAM Lab, spol. s.r.o.의 기원은 S-TEAM에 있으며 S-TEAM은 Slovak University of Technology at Bratislava의 과학자들이 1990년에 설립했고 Bratislava에 본사를 두며 초기에는 첨단 마이크로파 측정 기술, 소프트웨어 및 자동화 시스템의 연구개발에 집중했습니다. S-TEAM은 이후 슬로바키아의 마이크로파 컨설팅 연구소, 전문 소프트웨어 개발사, 마이크로컴퓨터 제어 마이크로파 측정 장비 및 다양한 마이크로파 부품 제조사로 발전했으며 중심 영역도 통신에서 고출력 산업용 마이크로파 응용으로 이동했습니다. 조직은 이후 공식적으로 독립된 두 회사로 나뉘어 S-TEAM Export는 신제품 판매를 담당하고 S-TEAM Lab은 설계, 개발, 생산과 수리, 리퍼비시, 유지보수, 재교정 및 컨설팅을 포함한 고객 지원을 담당합니다. S-TEAM Lab은 CVD와 plasma etching 같은 반도체 공정의 플라즈마 발생용 고출력 마이크로파 시스템을 개발하며 가열, 건조, 경화 및 가황에도 응용합니다. HOMER autotuners는 900 MHz, 2.45 GHz, 5.8 GHz ISM 대역의 동적 플라즈마 부하에서 빠른 자동 임피던스 정합을 수행하고 최대 100 kW 피크 출력의 연속 및 펄스 동작을 지원합니다. 제품 범위는 WR975, WR340, WR430, WR284, WR159 도파관을 포함하며 HOMER Analyzers, 양방향 전력계, 방향성 및 양방향 커플러, detectors, tuners, magnetron launchers, transitions, adapters 및 맞춤형 마이크로파 부품을 제공합니다. S-TEAM Lab은 설계, 개발, 생산, 제조, 시험 및 교정을 사내에서 수행하며 맞춤형 부품 작업은 과학 연구부터 최종 시험까지 포함합니다. 엔지니어링 도구에는 CST Microwave Studio 전자기 시뮬레이션, SolidWorks CAD 3D modelling 및 프로그래밍이 있으며 passive waveguide, coaxial, microstrip components, industrial applicators 및 plasma systems에 적용합니다. EU, US, Japan, Korea, China, Taiwan 및 기타 시장의 OEM, fabs, R&D laboratories에 서비스를 제공하고 까다로운 마이크로파 및 플라즈마 환경을 위한 제품을 공급합니다. 주요 기술군은 고출력 자동 임피던스 정합, six-port vector reflectometry, 방향성 전력 샘플링, 마이크로파 전력 측정 및 산업·반도체 응용용 맞춤 부품 엔지니어링입니다.
전시 제품
HOMER (HOt MEasuRement) Autotuner는 HOMER Analyzer와 motorized three-stub tuner인 HOMER Mototuner를 하나의 소형 고출력 자동 임피던스 분석 및 정합 장치에 통합합니다. Analyzer 부분은 반사계수의 크기와 위상, 입사·반사·흡수 전력 및 주파수를 측정합니다. Mototuner는 직사각형 도파관의 넓은 벽 중앙에서 삽입되는 세 개의 스테퍼 모터 구동 metallic tuning stubs를 사용하며 stub 간격은 공칭 도파 파장의 4분의 1입니다. Analyzer 측정 데이터를 이용해 시간 변화 부하에 빠른 예측식 자동 임피던스 정합을 수행하며 마이크로파 가열, 반도체 또는 FDP 제조, plasma 및 기타 산업 응용에 사용됩니다. HOMER는 CW, high-ripple Rectified 및 pulsed generator waveforms를 지원하고 독립적으로 동작하거나 RS232 또는 CAN Bus로 제어할 수 있으며 HomSoft 제어, 시각화, data logging과 LabVIEW 통합용 virtual instruments도 제공합니다. HOMER 운용 및 응용을 위한 실습 교육 과정이 제공되며 Autotuner 모델에는 WR975 (R9)의 STHT 900, WR340 (R26)의 STHT 2450, WR159 (R58)의 STHT 5800이 있습니다. 고출력 플라즈마 시스템용 WR340 HOMER Autotuner ISM 2450 MHz는 동적 플라즈마 부하에서 빠르게 임피던스를 정합해 반사 전력을 줄이고 2,45 GHz의 공정 안정성을 개선하며 WR975 915 MHz 버전은 915 MHz에서 같은 기능을 제공합니다. HOMER Analyzer는 high-power six-port vector reflectometer 기반 임피던스 및 전력 분석기로 반사계수의 크기와 위상, 입사·반사·흡수 전력 및 주파수를 측정합니다. Analyzer는 CW, Rectified, pulsed waveforms, RS232 또는 CAN Bus 외부 제어, Windows의 HomSoft 제어와 기록, LabVIEW 통합용 virtual instruments를 지원합니다. 마이크로파 가열, 반도체 제조 및 plasma 응용에서 공정 파라미터를 모니터링하며 제조 비용 절감과 제조 공정 품질 개선에 도움이 된다고 설명합니다. 모델에는 2450 MHz WR340 (R26)의 STH 2450, 900 MHz WR975 (R9)의 STH 900, obsolete 70.7-ohm 8-26 coaxial transmission line 2450 MHz용 STH-C8-26이 있습니다. Microwave detectors는 900 MHz, 2450 MHz, 5800 MHz용 Schottky-diode와 tunnel-diode coaxial detectors를 포함하며 DM211, DM212, DM213, DM214, DM311, DM313, DM314가 제시됩니다. Power sensors에는 10 MHz to 3 GHz microchip-controlled linear temperature-stable coaxial sensor PS112와 900MHz WR975 waveguide power-meter probe PMP112가 포함됩니다. Bidirectional power meters는 linearization 및 temperature correction용 microcontrollers를 추가하고 analog 0 to 10 V 또는 4 to 20 mA 출력과 RS232, RS422 또는 CAN Bus digital I/O를 제공하며 입사 및 반사 전력을 측정해 부하에 전달되는 순전력을 구합니다. BPM112는 2450 MHz WR340에서 Pmax up to 30 kW, BPM132는 2450 MHz WR430에서 Pmax up to 30 kW, BPM214는 900 MHz WR975에서 Pmax up to 100 kW를 지원합니다. 전시 설명에서 BPM112는 고출력 2.45 GHz WR340 시스템의 최대 30 kW 진단, 모니터링 및 공정 제어를 지원하고 BPM214는 고출력 915 MHz WR975 시스템에서 최대 100 kW를 지원합니다. Bidirectional detector는 dual directional coupler와 각 커플러 출력 포트의 detector를 결합하고 각 출력 포트에 DC amplifier를 선택적으로 추가할 수 있습니다. 두 DC 출력 전압은 이상적으로 forward incident power와 reverse reflected power에 각각 대응하지만 voltage-power transfer curves는 비선형이며 온도에 따라 달라질 수 있습니다. 입사 및 반사 전력을 동시에 샘플링해 그 차이로 부하에 전달되고 소모되는 순전력을 구하며 precision parent waveguide를 선택적으로 함께 공급할 수 있습니다. 2450 MHz WR340 모델에는 tunnel diodes 기반 BD111, BD111B와 Schottky diodes 기반 BD112, BD112B가 있고 WR430 모델에는 BD131, BD131B, BD132, BD132B가 있으며 Pmax up to 30 kW입니다. BD142는 2450 MHz 2 kW Schottky-diode 7-16 coaxial detector이고 WR975의 BD211, BD211B, BD214, BD214B는 900 MHz에서 10 kW/100 kW 등급으로 동작합니다. Bidirectional Detector Selection Guide는 895-925 MHz와 Coax 7-16, WR975, Coax 7/8" EIA, WR430, WR340 line types를 다루며 Schottky, tunnel-diode 및 amplified detector options를 구분합니다. Manual, motorized 및 computerized tuners는 impedance matching에 사용되며 STMT manual tuners는 three-stub structures와 wheel-and-crank adjustment를 사용하고 computerized tuners는 internal computers, 분리 가능한 color-LCD touch panel, RS232, RS422, CAN Bus 제어를 제공합니다. STMT WR975는 900 MHz manual three-stub WR975 (R9) tuner이며 STIT WR340은 2450 MHz computer-controlled three-stub WR340 (R26) tuner입니다. Coaxial Magnetron Launchers는 표준 2.45-GHz Panasonic 또는 equivalent magnetrons를 7/8'' EIA coaxial line에 직접 결합하여 큰 waveguide launcher와 waveguide-to-coax adapter 조합을 제거하고 noncontact coupling으로 불완전한 galvanic contact에서 생길 수 있는 sparking과 over-heating 문제를 다룹니다. CMLD는 integrated bidirectional detector가 있는 2450 MHz coaxial magnetron launcher이고 CML은 detector가 없는 2450 MHz 버전입니다. 2450 MHz waveguide transitions에는 WR340 to WR430 WTS141과 WTS142, WR340 to WR284 WTS151, obsolete tapered WR340-to-WR430 WTT141이 있으며 모두 30 kW로 제시됩니다. Adapters에는 2450 MHz 500 W WR340 to 7-16f coaxial WTA161, 2450 MHz 3 kW WR340 to 7/8" EIA coaxial WTB171과 WTL171, 그리고 900 MHz WR975용 WTA261, WTB281, WTB291이 있으며 전력 범위는 1500 W에서 20 kW입니다. 맞춤형 마이크로파 부품 개발 과정은 과학 연구, 개발, 설계, 제조 및 시험을 포함하며 passive waveguide, coaxial, microstrip components, industrial applicators 및 plasma applications를 대상으로 합니다. 개발 사례에는 waveguide power splitters, 7/8'' EIA, 1 5/8'' EIA, 3 1/8" EIA compact coaxial power splitters와 output arms의 defined phase shift, waveguide matched windows, microwave heating 및 plasma applicators가 포함됩니다.
역량 및 제품
- 반도체 플라즈마용 고출력 마이크로파 시스템
- 900 MHz/2.45 GHz/5.8 GHz 자동 임피던스 매칭
- 최대 100 kW 피크 펄스 마이크로파 임피던스 매칭
- six-port 벡터 반사계 임피던스 및 전력 분석
- 최대 100 kW 양방향 마이크로파 전력계
- 고출력 방향성/양방향 마이크로파 커플러
- 900 MHz/2.45 GHz/5.8 GHz 마이크로파 검출기
- 수동/전동/컴퓨터 제어 3-stub 임피던스 Tuner
- 2.45 GHz 동축 Magnetron Launcher
- 맞춤형 고출력 마이크로파 부품