기본 정보
| 부스 | H0001 |
| 웹사이트 | s-team.sk |
회사 소개
S-TEAM은 1990년에 Slovak University of Technology의 과학자들이 설립했으며, CVD 및 플라즈마 식각과 같은 반도체 공정에서 플라즈마 생성을 위한 고출력 마이크로파 시스템을 개발합니다. 기타 산업 응용에는 가열, 건조, 경화 및 가황이 포함됩니다. 당사의 HOMER autotuners는 ISM 대역(900 MHz, 2.45 GHz, 5.8 GHz)의 동적 플라즈마 부하에서 빠른 자동 임피던스 매칭을 지원하며, 최대 100 kW의 피크 출력으로 연속 및 펄스 동작을 지원합니다. 시스템은 WR975, WR340, WR430, WR284, WR159 도파관용으로 제공됩니다. 당사는 HOMER Analyzers, 양방향 전력계, 방향성 결합기 검출기 및 맞춤형 마이크로파 부품을 제공합니다. 아날로그/디지털 I/O 및 Ethernet을 통한 통합을 지원합니다. 모든 R&D, 제조 및 교정은 사내에서 수행되며, 가혹한 플라즈마 환경에서 입증된 신뢰성을 갖추고 있습니다. 당사는 EU, US, Japan, Korea, China, Taiwan 및 그 밖의 지역에서 글로벌 OEMs, 팹 및 R&D 연구소를 지원합니다.
전시 제품
HOMER Autotuner ISM 2450 MHz, WR340 Waveguide: 고출력 마이크로파 플라즈마 시스템용 자동 튜닝 모듈입니다. 동적 플라즈마 부하에서 빠른 임피던스 매칭을 제공하여 2,45 GHz에서 반사 전력을 줄이고 공정 안정성을 향상하는 데 도움이 됩니다. HOMER Autotuner ISM 915 MHz, WR975 Waveguide: 고출력 마이크로파 플라즈마 시스템용 자동 튜닝 모듈입니다. 동적 플라즈마 부하에서 빠른 임피던스 매칭을 제공하여 915 MHz에서 반사 전력을 줄이고 공정 안정성을 향상하는 데 도움이 됩니다. BPM112: Bidirectional Power Meter, WR340 Waveguide: 고출력 2.45 GHz 마이크로파 시스템용 양방향 전력계입니다. BPM112는 WR340 도파관에서 입사 전력과 반사 전력을 측정하며, 최대 30 kW까지 진단, 모니터링 및 공정 제어를 지원합니다. BPM214: Bidirectional Power Meter, WR975 Waveguide: 고출력 915 MHz 마이크로파 시스템용 양방향 전력계입니다. BPM214는 WR975 도파관에서 입사 전력과 반사 전력을 측정하며, 최대 100 kW까지 진단, 모니터링 및 공정 제어를 지원합니다.
역량 및 제품
- 반도체 플라즈마 생성용 고출력 마이크로파 시스템
- 산업용 마이크로파 가열/건조/경화/가황
- HOMER 자동 임피던스 매칭 튜너
- 최대 100 kW 연속／펄스 마이크로파 운전
- HOMER 분석기
- 양방향 마이크로파 파워 미터
- 맞춤형 마이크로파 부품