基本情報
| ブース | H0001 |
| ウェブサイト | s-team.sk |
会社概要
S-TEAM Lab, spol. s.r.o. の起源は S-TEAM にあり、S-TEAM は Slovak University of Technology at Bratislava の科学者によって1990年に設立され、Bratislava に本社を置き、当初は先進マイクロ波測定技術、ソフトウェア、自動化システムを研究開発していました。S-TEAM はその後、スロバキアのマイクロ波コンサルティング研究所、専門ソフトウェア開発者、マイクロコンピュータ制御のマイクロ波測定機器と多様なマイクロ波部品のメーカーへ発展し、重点も通信から高出力産業用マイクロ波用途へ移行しました。組織は後に正式に独立した2社となり、S-TEAM Export は新製品の販売、S-TEAM Lab は設計、開発、生産と、修理、改修、保守、再校正、コンサルティングを含む顧客支援を担当します。S-TEAM Lab は CVD や plasma etching などの半導体プロセスでプラズマを生成する高出力マイクロ波システムを開発し、加熱、乾燥、硬化、加硫にも応用しています。HOMER autotuners は 900 MHz、2.45 GHz、5.8 GHz の ISM バンドで動的プラズマ負荷に高速自動インピーダンス整合を行い、ピーク出力最大100 kWの連続・パルス動作を支援します。製品範囲は WR975、WR340、WR430、WR284、WR159 導波管に及び、HOMER Analyzers、双方向パワーメーター、方向性・双方向カプラ、detectors、tuners、magnetron launchers、transitions、adapters、カスタムマイクロ波部品を含みます。S-TEAM Lab は設計、開発、生産、製造、試験、校正を社内で行い、カスタム部品では科学研究から最終試験までを扱います。エンジニアリングツールには CST Microwave Studio の電磁シミュレーション、SolidWorks CAD 3D modelling、プログラミングがあり、passive waveguide、coaxial、microstrip components、industrial applicators、plasma systems に適用します。EU、US、Japan、Korea、China、Taiwan などの OEM、fabs、R&D laboratories にサービスを提供し、高い要求を持つマイクロ波・プラズマ環境向けに製品を供給します。主要技術群は、高出力自動インピーダンス整合、six-port vector reflectometry、方向性電力サンプリング、マイクロ波電力測定、産業・半導体用途のカスタム部品設計です。
展示製品
HOMER (HOt MEasuRement) Autotuner は HOMER Analyzer と motorized three-stub tuner である HOMER Mototuner を一体化したコンパクトな高出力自動インピーダンス解析・整合ユニットです。Analyzer 部は反射係数の大きさと位相、入射・反射・吸収電力、周波数を測定します。Mototuner は矩形導波管の広い壁の中央から挿入される3本のステッピングモーター駆動 metallic tuning stubs を使用し、stub 間隔は公称で導波波長の4分の1です。Analyzer の測定データを使い、時間変動負荷に高速予測自動インピーダンス整合を行い、マイクロ波加熱、半導体または FDP 製造、plasma、その他の産業用途に対応します。HOMER は CW、high-ripple Rectified、pulsed generator waveforms に対応し、自律運転または RS232、CAN Bus で制御でき、HomSoft による制御・可視化・data logging と LabVIEW 統合用 virtual instruments も利用できます。HOMER の操作と応用を扱う実習トレーニングがあり、Autotuner モデルには WR975 (R9) の STHT 900、WR340 (R26) の STHT 2450、WR159 (R58) の STHT 5800 があります。高出力プラズマシステム向けでは、WR340 の HOMER Autotuner ISM 2450 MHz が動的プラズマ負荷に高速整合し、反射電力低減と 2,45 GHz のプロセス安定化を支援し、WR975 の 915 MHz 版は 915 MHz で同じ機能を提供します。HOMER Analyzer は high-power six-port vector reflectometer ベースのインピーダンス・電力アナライザで、反射係数の大きさと位相、入射・反射・吸収電力、周波数を測定します。Analyzer は CW、Rectified、pulsed waveforms、RS232 または CAN Bus 外部制御、Windows 上の HomSoft 制御・ログ、LabVIEW 統合用 virtual instruments に対応します。マイクロ波加熱、半導体製造、plasma でプロセスパラメータを監視し、製造コスト低減と製造プロセス品質向上に役立つとしています。モデルには 2450 MHz、WR340 (R26) の STH 2450、900 MHz、WR975 (R9) の STH 900、obsolete の 70.7-ohm 8-26 coaxial transmission line、2450 MHz 用 STH-C8-26 があります。Microwave detectors は 900 MHz、2450 MHz、5800 MHz の Schottky-diode と tunnel-diode coaxial detectors を含み、DM211、DM212、DM213、DM214、DM311、DM313、DM314 が挙げられています。Power sensors には 10 MHz to 3 GHz の microchip-controlled linear temperature-stable coaxial sensor PS112 と、900MHz の WR975 waveguide power-meter probe PMP112 があります。Bidirectional power meters は linearization と temperature correction 用 microcontrollers を搭載し、analog 0 to 10 V または 4 to 20 mA と RS232、RS422、CAN Bus digital I/O を提供し、入射・反射電力から負荷へ供給される正味電力を求めます。BPM112 は 2450 MHz、WR340、Pmax up to 30 kW、BPM132 は 2450 MHz、WR430、Pmax up to 30 kW、BPM214 は 900 MHz、WR975、Pmax up to 100 kW です。展示仕様では BPM112 が高出力 2.45 GHz WR340 システムで最大30 kWの診断、監視、プロセス制御、BPM214 が高出力 915 MHz WR975 システムで最大100 kWに対応します。Bidirectional detector は dual directional coupler、各出力ポートの detector、任意の DC amplifier を組み合わせます。2つの DC 出力電圧は理想的に forward incident power と reverse reflected power に対応しますが、voltage-power transfer curves は非線形で温度依存となる場合があります。入射・反射電力を同時サンプリングし、その差から負荷へ供給され消費される正味電力を求め、precision parent waveguide もオプションで供給できます。2450 MHz では WR340 に tunnel diodes の BD111、BD111B と Schottky diodes の BD112、BD112B、WR430 に BD131、BD131B、BD132、BD132B があり、Pmax up to 30 kW です。BD142 は 2450 MHz、2 kW の Schottky-diode 7-16 coaxial detector、WR975 の BD211、BD211B、BD214、BD214B は 900 MHz、10 kW/100 kW で動作します。Bidirectional Detector Selection Guide は 895-925 MHz と Coax 7-16、WR975、Coax 7/8" EIA、WR430、WR340 を対象に、Schottky、tunnel-diode、amplified detector options を分けています。Manual、motorized、computerized tuners は impedance matching に使用し、STMT manual tuners は three-stub structures と wheel-and-crank adjustment を用い、computerized tuners は internal computers、取り外し可能な color-LCD touch panel、RS232、RS422、CAN Bus 制御を備えます。STMT WR975 は 900 MHz の manual three-stub WR975 (R9) tuner、STIT WR340 は 2450 MHz の computer-controlled three-stub WR340 (R26) tuner です。Coaxial Magnetron Launchers は標準 2.45-GHz Panasonic または equivalent magnetrons を 7/8'' EIA coaxial line に直接結合し、大型 waveguide launcher と waveguide-to-coax adapter の組合せを不要にし、noncontact coupling により不完全な galvanic contact に伴う sparking と over-heating に対応します。CMLD は integrated bidirectional detector を備える 2450 MHz coaxial magnetron launcher、CML は detector を内蔵しない 2450 MHz 版です。2450 MHz の waveguide transitions には WR340 to WR430 の WTS141、WTS142、WR340 to WR284 の WTS151、obsolete の tapered WR340-to-WR430 WTT141 があり、いずれも30 kWです。Adapters には 2450 MHz、500 W の WR340 to 7-16f coaxial WTA161、2450 MHz、3 kW の WR340 to 7/8" EIA coaxial WTB171 と WTL171、900 MHz の WR975 用 WTA261、WTB281、WTB291 があり、出力範囲は1500 Wから20 kWです。カスタムマイクロ波部品の作成は科学研究、開発、設計、製造、試験を含み、passive waveguide、coaxial、microstrip components、industrial applicators、plasma applications に対応します。開発例には waveguide power splitters、7/8'' EIA、1 5/8'' EIA、3 1/8" EIA の compact coaxial power splitters と output arms の defined phase shift、waveguide matched windows、microwave heating および plasma applicators があります。
対応領域・製品
- 半導体プラズマ用高出力マイクロ波システム
- 900 MHz／2.45 GHz／5.8 GHz自動インピーダンス整合
- 最大100 kWピークのパルスマイクロ波インピーダンス整合
- six-portベクトルリフレクトメータ式インピーダンス・電力解析
- 最大100 kW双方向マイクロ波電力計
- 高出力方向性／双方向マイクロ波カプラ
- 900 MHz／2.45 GHz／5.8 GHzマイクロ波検出器
- 手動／電動／コンピュータ制御3スタブインピーダンスTuner
- 2.45 GHz同軸Magnetron Launcher
- カスタム高出力マイクロ波部品