基本情報
| ブース | H0001 |
| 製品カテゴリ | Heating; Annealing; Curing Equipment - Furnaces; Conveyors; Ovens; Test Chambers; Heat Treating · Vacuum drying & out gassing Systems · Instruments; Bench Top Test · Thermal Sensing, Measurement, Analysis · Deposition; Chemical Vapor (CVD); MOCVD; PECVD; LPCVD; ALD; REALD; MVD · Etching; Stripping; Ashing - Dry and Wet Equipment · Thermal Processing - Diffusion; Oxidation; Annealing; RTA; RTP Equipment · Electronic Hardware; Fixtures and Supplies · Raw Material & Custom components; Metal · Sensors · Computer ; Control ; Communication ; Data Acquisition Systems · Plasma Sources; Controls; Monitoring; Diagnosis · Power Supplies; RF Generators; Converters; Electrical Conditioning · Process Monitoring systems · Equipment; Hardware; Product Design, Integration and Manufacturing · Product Development; Software Design; Product Lifecycle Management · Test Services or Consulting |
| ウェブサイト | s-team.sk |
会社概要
S-TEAMは1990年にスロバキア工科大学の科学者によって設立され、CVDやプラズマエッチングなどの半導体プロセスにおけるプラズマ生成用の高出力マイクロ波システムを開発しています。その他の産業用途には、加熱、乾燥、硬化、加硫が含まれます。当社のHOMERオートチューナーは、ISMバンド（900MHz、2.45GHz、5.8GHz）の動的なプラズマ負荷下で高速かつ自動のインピーダンス整合を可能にし、最大100kWのピーク電力での連続およびパルス運転に対応します。システムはWR975、WR340、WR430、WR284、WR159の各導波管に対応しています。HOMERアナライザー、双方向パワーメーター、方向性結合器検出器、カスタムマイクロ波コンポーネントを提供し、アナログ／デジタルI/Oおよびイーサネットによるインテグレーションにも対応しています。研究開発、製造、校正はすべて自社で行い、過酷なプラズマ環境における実証された信頼性を備えています。EU、米国、日本、韓国、中国、台湾をはじめとする世界中のOEM、ファブ、研究開発ラボにサービスを提供しています。
対応領域・製品
- CVD およびプラズマエッチング用高出力マイクロ波プラズマ生成システム
- HOMER Analyzers
- アナログ、デジタル I/O および Ethernet 統合
- カスタムマイクロ波部品
- ピーク電力最大 100 kW の連続およびパルス式マイクロ波プラズマ動作
- 動的プラズマ負荷下の自動インピーダンス整合用 HOMER autotuners
- 双方向パワーメータ
- 方向性結合器ディテクタ