基本資料
| 攤位 | H0001 |
| 網站 | s-team.sk |
公司簡介
S-TEAM Lab, spol. s.r.o. 的發展源自 S-TEAM；S-TEAM 由 Slovak University of Technology at Bratislava 的科學家於 1990 年創立，總部位於 Bratislava，早期重點為先進微波量測技術、軟體與自動化系統。S-TEAM 後來發展為斯洛伐克的微波顧問實驗室、專業軟體開發者，以及微電腦控制微波量測儀器與各式微波元件製造商，技術重心也由通訊逐步轉向高功率工業微波應用。組織之後成為兩個正式獨立公司：S-TEAM Export 負責新產品銷售，S-TEAM Lab 則負責設計、開發、生產與客戶支援，包括維修、翻修、保養、重新校準與顧問服務。S-TEAM Lab 開發用於 CVD 與 plasma etching 等半導體製程之電漿產生的高功率微波系統，其他工業應用包括加熱、乾燥、固化與硫化。HOMER autotuners 可在 900 MHz、2.45 GHz、5.8 GHz ISM 頻段的動態電漿負載下進行快速自動阻抗匹配，並支援峰值功率最高 100 kW 的連續與脈衝操作。公司的微波產品涵蓋 WR975、WR340、WR430、WR284、WR159 波導，並包括 HOMER Analyzers、雙向功率計、方向與雙向耦合器、detectors、tuners、magnetron launchers、transitions、adapters 與客製微波元件。S-TEAM Lab 在內部執行設計、開發、生產、製造、測試與校準，客製元件工作則涵蓋從科學研究到最終測試。工程工具包括 CST Microwave Studio 電磁模擬、SolidWorks CAD 3D modelling 與各層級程式設計，用於 passive waveguide、coaxial、microstrip 元件，以及 industrial applicators 與 plasma systems。公司服務 EU、US、Japan、Korea、China、Taiwan 及其他市場的全球 OEM、fabs 與 R&D laboratories，產品用於高要求的微波與電漿環境。主要技術族群涵蓋高功率自動阻抗匹配、six-port vector reflectometry、方向性功率取樣、微波功率量測，以及工業與半導體應用的客製元件工程。
展出產品
HOMER (HOt MEasuRement) Autotuner 將 HOMER Analyzer 與 motorized three-stub tuner，也就是 HOMER Mototuner，整合在一個緊湊的高功率自動阻抗分析與匹配單元中。Analyzer 區段量測反射係數的幅度與相位，也量測入射、反射、吸收功率及頻率。Mototuner 使用三個由步進馬達驅動的金屬 tuning stubs，從矩形波導較寬壁中央插入，stub 之間的名義距離為導波波長的四分之一。Mototuner 使用 Analyzer 的量測資料，對隨時間變化的負載進行快速預測式自動阻抗匹配，可用於微波加熱、半導體或 FDP 製造、plasma 與其他工業應用。HOMER 支援 CW、high-ripple Rectified 與 pulsed generator waveforms，可自主運作或透過 RS232、CAN Bus 控制，並可搭配 HomSoft 進行控制、視覺化與 data logging，也提供 virtual instruments 以整合 LabVIEW。公司提供 HOMER 操作與應用的實作訓練課程，列示的 Autotuner 型號包括使用 WR975 (R9) 的 STHT 900、使用 WR340 (R26) 的 STHT 2450，以及使用 WR159 (R58) 的 STHT 5800。針對高功率電漿系統，WR340 的 HOMER Autotuner ISM 2450 MHz 可在動態電漿負載下快速匹配阻抗，以降低反射功率並改善 2,45 GHz 的製程穩定性；WR975 的 915 MHz 版本則在 915 MHz 提供相同功能。HOMER Analyzer 是以 high-power six-port vector reflectometer 為基礎的阻抗與功率分析器，可量測反射係數幅度與相位、入射功率、反射功率、吸收功率及頻率。Analyzer 支援 CW、Rectified 與 pulsed waveforms，可透過 RS232 或 CAN Bus 由外部控制，支援 Windows 上的 HomSoft 控制與紀錄，並提供整合 LabVIEW 的 virtual instruments。Analyzer 可用於監測微波加熱、半導體製造與 plasma 應用的製程參數，公司並表示可協助降低製造成本與改善製程品質。型號包括 2450 MHz、WR340 (R26) 的 STH 2450，900 MHz、WR975 (R9) 的 STH 900，以及已停產、使用 70.7-ohm 8-26 coaxial transmission line、2450 MHz 的 STH-C8-26。Microwave detectors 包括 900 MHz、2450 MHz 與 5800 MHz 的 Schottky-diode 及 tunnel-diode coaxial detectors，具名型號有 DM211、DM212、DM213、DM214、DM311、DM313、DM314。Power sensors 包括 PS112，為 10 MHz to 3 GHz 的 microchip-controlled linear temperature-stable coaxial sensor，以及 PMP112，為 900MHz 的 WR975 waveguide power-meter probe。Bidirectional power meters 加入 microcontrollers 進行 linearization 與 temperature correction，可提供 analog 0 to 10 V 或 4 to 20 mA 輸出，並搭配 RS232、RS422 或 CAN Bus digital I/O；其同時量測入射與反射功率，以取得送入負載的淨功率。BPM112 對應 2450 MHz、WR340、Pmax up to 30 kW；BPM132 對應 2450 MHz、WR430、Pmax up to 30 kW；BPM214 對應 900 MHz、WR975、Pmax up to 100 kW。展出說明中，BPM112 用於高功率 2.45 GHz WR340 系統最高 30 kW 的診斷、監測與製程控制，BPM214 則用於高功率 915 MHz WR975 系統最高 100 kW。Bidirectional detector 由 dual directional coupler 與耦合器各輸出埠的 detector 組成，並可選配各輸出埠的 DC amplifier。其輸出兩個 DC 電壓，理想上分別對應 forward incident power 與 reverse reflected power，但 voltage-power transfer curves 可能呈非線性並隨溫度變化。Bidirectional detectors 可同時取樣入射與反射功率，兩者差值代表送入並耗散於負載的淨功率，交付時亦可選配 precision parent waveguide。在 2450 MHz，WR340 型號包括採 tunnel diodes 的 BD111、BD111B 與採 Schottky diodes 的 BD112、BD112B；WR430 型號包括 BD131、BD131B、BD132、BD132B，Pmax up to 30 kW。其他線型中，BD142 是 2450 MHz、2 kW 的 Schottky-diode 7-16 coaxial detector；WR975 的 BD211、BD211B、BD214、BD214B 則在 900 MHz 運作，額定 10 kW/100 kW。Bidirectional Detector Selection Guide 也涵蓋 895-925 MHz，以及 Coax 7-16、WR975、Coax 7/8" EIA、WR430、WR340 等 line types，並區分 Schottky、tunnel-diode 與 amplified detector options。Manual、motorized 與 computerized tuners 用於 impedance matching；STMT manual tuners 使用 three-stub structures 與 wheel-and-crank adjustment，computerized tuners 則加入 internal computers、可拆式 color-LCD touch panel，以及 RS232、RS422、CAN Bus 控制。STMT WR975 是 900 MHz 的 manual three-stub WR975 (R9) tuner，STIT WR340 是 2450 MHz 的 computer-controlled three-stub WR340 (R26) tuner。Coaxial Magnetron Launchers 可把標準 2.45-GHz Panasonic 或 equivalent magnetrons 直接耦合到 7/8'' EIA coaxial line，免除大型 waveguide launcher 與 waveguide-to-coax adapter 的組合，並以 noncontact coupling 處理不良 galvanic contact 可能造成的 sparking 與 over-heating。CMLD 是 2450 MHz、內建 bidirectional detector 的 coaxial magnetron launcher，CML 則是 2450 MHz、沒有內建 detector 的版本。2450 MHz 的 waveguide transitions 包括 WR340 to WR430 的 WTS141 與 WTS142、WR340 to WR284 的 WTS151，以及已停產的 tapered WR340-to-WR430 WTT141，四者均列為 30 kW。Adapters 包括 2450 MHz、500 W、WR340 to 7-16f coaxial 的 WTA161，2450 MHz、3 kW、WR340 to 7/8" EIA coaxial 的 WTB171 與 WTL171，以及 900 MHz、WR975 的 WTA261、WTB281、WTB291，功率範圍從 1500 W 到 20 kW。客製微波元件建立流程涵蓋科學研究、開發、設計、製造與測試，可用於 passive waveguide、coaxial、microstrip components、industrial applicators 與 plasma applications。已開發的客製元件例子包括 waveguide power splitters、7/8'' EIA、1 5/8'' EIA、3 1/8" EIA 的 compact coaxial power splitters 並具 output arms defined phase shift、waveguide matched windows，以及 microwave heating 與 plasma applicators。
能力與產品項目
- 半導體電漿用高功率微波系統
- 900 MHz／2.45 GHz／5.8 GHz 自動阻抗匹配
- 最高 100 kW 脈衝微波阻抗匹配
- Six-port 向量反射計阻抗與功率分析
- 最高 100 kW 雙向微波功率計
- 高功率方向／雙向微波耦合器
- 900 MHz／2.45 GHz／5.8 GHz 微波檢波器
- 手動／電動／電腦化三柱阻抗 Tuner
- 2.45 GHz 同軸 Magnetron Launcher
- 客製高功率微波元件