基本資料
| 攤位 | H0001 |
| 產品分類 | Heating; Annealing; Curing Equipment - Furnaces; Conveyors; Ovens; Test Chambers; Heat Treating · Vacuum drying & out gassing Systems · Instruments; Bench Top Test · Thermal Sensing, Measurement, Analysis · Deposition; Chemical Vapor (CVD); MOCVD; PECVD; LPCVD; ALD; REALD; MVD · Etching; Stripping; Ashing - Dry and Wet Equipment · Thermal Processing - Diffusion; Oxidation; Annealing; RTA; RTP Equipment · Electronic Hardware; Fixtures and Supplies · Raw Material & Custom components; Metal · Sensors · Computer ; Control ; Communication ; Data Acquisition Systems · Plasma Sources; Controls; Monitoring; Diagnosis · Power Supplies; RF Generators; Converters; Electrical Conditioning · Process Monitoring systems · Equipment; Hardware; Product Design, Integration and Manufacturing · Product Development; Software Design; Product Lifecycle Management · Test Services or Consulting |
| 網站 | s-team.sk |
公司簡介
S-TEAM 由斯洛伐克科技大學的科學家於 1990 年創立，開發用於半導體製程（如 CVD 與電漿蝕刻）中電漿產生的高功率微波系統。其他工業應用包括加熱、乾燥、固化與硫化。我們的 HOMER 自動調諧器可在 ISM 頻段（900 MHz、2.45 GHz、5.8 GHz）的動態電漿負載下實現快速、自動的阻抗匹配，支援峰值功率高達 100 kW 的連續與脈衝操作。系統適用於 WR975、WR340、WR430、WR284 及 WR159 波導。我們提供 HOMER 分析儀、雙向功率計、定向耦合器檢測器及客製化微波元件，並支援透過類比／數位 I/O 及乙太網路進行整合。所有研發、製造與校準均為自有，在嚴苛的電漿環境中具備經驗證的可靠性。我們服務遍及歐盟、美國、日本、韓國、中國、台灣等地的全球 OEM 廠商、晶圓廠與研發實驗室。
能力與產品項目
- HOMER Analyzers
- HOMER autotuners，用於動態電漿負載下的自動阻抗匹配
- 客製化微波元件
- 方向耦合器偵測器
- 最高 100 kW 峰值功率的連續與脈衝式微波電漿操作
- 用於 CVD 與電漿蝕刻的高功率微波電漿產生系統
- 雙向功率計
- 類比、數位 I/O 與 Ethernet 整合