기본 정보
| 부스 | N0267 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | rotarex.com |
회사 소개
Rotarex Taiwan은 2018년부터 Taipei, Taiwan에 설립되어 운영되는 ROTAREX group의 일부이며 대만 사무소는 Taiwan 전 지역의 판매와 기술 지원을 담당합니다. 대만 사무소는 Rotarex S.A. in Luxembourg, Singapore, ASEAN, Australia, New Zealand를 담당하는 Rotarex Fareast, China의 Rotarex Star, Rotarex Korea, Rotarex Japan과 긴밀히 협력합니다. Rotarex는 오랜 기간 가스 제어 제품과 시스템을 개발해 왔으며 제품 개발을 실제 고객 과제와 새로운 작업 방식에 연결합니다. 빠른 대응형 R&D 인프라와 대학 파트너와의 협업은 cylinder valve, gas pressure regulator, gauge, safety valve 및 기타 기능을 결합한 integrated valve 같은 응용 혁신에 활용됩니다. 회사는 시장 요구에 대응해 개발한 제품으로 mechatronic pressure regulator와 digital medical pressure-regulating valve도 제시합니다.
전시 제품
Rotarex는 의료용 가스 응용 분야에 cylinder valves, pressure regulators, gas supply systems 및 components를 제공하며 HP, UHP 및 산업용 가스 시스템용 장비도 공급합니다. 명시된 범위에는 supply and switchover boards, pressure regulators, line valves, fittings, connectors, 완전한 Ultra High Purity gas solutions, 산업용 가스 cylinder valves, Release Pressure Valves (RPVs), valves with integrated pressure regulators (VIPRs), total-flooding 및 local applications용 fire-protection systems가 포함됩니다. 전자 제조 분야에서는 semiconductors, photovoltaic cells, OLED displays, advanced microelectronics를 대상으로 하며 가스 오염을 직접적인 공정 위험으로 보고 cylinder valves와 line valves부터 pressure regulators, fittings, precursor canisters까지 ultra-high-purity 장비를 제공합니다. UHP valves는 particle generation의 원인이 되는 내부 기계 접촉을 제거하기 위해 springless, threadless 설계를 사용하며 모든 UHP valves는 ISO 4 cleanroom에서 조립, 시험 및 포장됩니다. 모든 UHP unit은 출하 전에 100% helium leak testing을 거치며 내부 표면은 electropolished 처리로 SEMI F19 Grades를 준수하고 공격적인 process-gas 응용을 위한 leak integrity는 최대 10⁻¹¹ mbar.l/s로 제시됩니다. 전자 가스 응용에는 corrosive, toxic, high-value gases가 포함되고 fluorine compounds, halides, hydrides, metalorganic precursors 및 arsine, silane, hydrogen fluoride가 예로 제시됩니다. Rotarex의 UHP gas valves는 electronics, chemicals 및 기타 응용용으로 purity levels 4.0에서 9.0 이상, low- 및 high-pressure configurations, tied-diaphragm 또는 packed-seal technologies, DIN, CG, JIS, BS, AFNOR, UNI, NEN, NBR 연결 표준을 포괄합니다. UHP line valves는 springless 및 threadless 구조, 최소화된 dead space, 최대 240 bar working pressure, -20에서 150 Celsius degrees의 지원 온도, ISO 4 cleanroom 조립, 시험 및 포장, SEMI F19 Grades 기준 electropolished surfaces, 100% helium leak testing을 특징으로 합니다. UHP line pressure regulators는 높은 outlet-pressure stability, 확장된 flow-rate range, 최대 240 bar pressure handling, -20에서 65 Celsius degrees의 지원 온도를 제공합니다. Pressure-regulator 모델에는 RX3000 single-stage diaphragm, Cv 0.09 또는 0.15, inlet 21/240 bar, RX3100 sub-atmospheric, Cv 0.09, inlet 21 bar, RX3200 single-stage tied-diaphragm, Cv 0.09 또는 0.15, inlet 21/240 bar가 포함됩니다. 더 큰 regulator range에는 RX4000 single-stage diaphragm과 RX4200 single-stage tied-diaphragm이 있으며 각각 Cv 0.15, 0.25, 0.5, 0.9, 1.1 및 inlet 21/117/207/240 bar를 제공하고 RX4100 sub-atmospheric regulator는 Cv 0.5, inlet 21 bar입니다. Springless diaphragm line-valve 모델에는 flow capacity 0.2의 RX04, 0.5의 RX08, 1.75의 M12, 3.5의 M20이 있으며 모두 HP & UHP line valves로 기재됩니다. Tied-diaphragm line-valve 모델에는 4mm orifice의 D604 manual과 D654 oleo-pneumatic, soft knife-edge seat와 4mm orifice의 D688 pneumatic, 6mm orifice의 D639S manual과 D689S oleo-pneumatic이 포함됩니다. Bellows 및 check-valve families는 K300, HP2000, K900, HP9000, HP3000, SUPRA, CAR(S)를 포함하며 제품 family에 따라 ambient-temperature와 cryogenic service를 포괄하고 최저 -270°C에서 최고 +250°C까지의 온도 범위가 제시됩니다. Rotarex의 UHP gas cylinder valves에는 D304, D385S, D386S, D354, D340S, D306, D356, D339S, D389S, D349, D337, D387, D342가 있으며 high 또는 low pressure, manual, pneumatic, oleo-pneumatic actuation, soft-seat 또는 metal-to-metal sealing, 3.5mm에서 8mm의 orifice sizes 조합을 제공합니다. D386S는 fluorine mixtures용 pneumatic actuator를 갖춘 tied-diaphragm cylinder valve이고 D340S, D349, D342는 각각 4mm, 6mm, 8mm soft-seat orifice의 dual-port UHP-valve configurations입니다. UHP connector range에는 nipple, nut, gasket으로 구성된 40 SERIES standard connectors, blank plug가 추가된 45 SERIES complete connectors, 50 SERIES blank plugs, 60 SERIES outlet adaptors, CGA/DISS cylinder outlet seal caps, 30 SERIES cylinder-valve gaskets가 포함됩니다. precursor handling용 stainless-steel canister 모델에는 sampling용 6L RX507L, product용 19L RX171L, 200L에서 1000L 범위이며 storage configuration은 최대 3000L인 RX200B가 포함됩니다. Canister, precursor, bubbler 범위는 CVD 및 ALD에 사용되는 metalorganic precursors와 dopants의 inert storage 및 controlled delivery를 위한 것이며 sampling, product, large-volume storage configurations를 포괄합니다. Vacuum-generator 모델에는 60torr vacuum, without a check valve의 block type RXVGB와 100torr vacuum, with a check valve의 module type RXVGM이 있으며 semiconductor gas systems에 통합할 수 있습니다. Rotarex는 cylinder에서 point of use까지 완전한 UHP chain을 하나의 quality reference, traceability system, compliance framework 아래 제공하며 cylinder valves, line valves, pressure regulators, fittings, precursor canisters를 통합 gas-control system의 구성요소로 다룹니다. CVD, ALD, etch 응용의 pressure regulation에서는 안정적인 outlet pressure를 process repeatability와 연결하며 UHP regulators는 최대 240 bar working pressure, -20°C에서 65°C의 지원 온도, SEMI F19 UHP Grade의 electropolished internal surfaces를 제공합니다. UHP line valves에서 diaphragm 및 tied-diaphragm designs는 내부 기계 접촉을 제거하고 dead space를 최소화하며 bellows versions는 공격적이고 cryogenic한 chemistries에서 stem을 hermetic isolation하고 leak integrity는 최대 10⁻¹¹ mbar.l/s, operating capability는 최대 240 bar 및 -20°C에서 150°C입니다. UHP fittings는 elastomer seals를 피하는 metal-to-metal face-seal technology를 사용하고 내부 표면은 SEMI F19 UHP Grade로 electropolished되며 cylinder connectors, face-seal fittings, weld fittings, high-flow fittings를 표준 semiconductor UHP tubing 및 connection formats용으로 제공합니다. Ultra-high-purity cylinder valves는 manual 및 pneumatic versions로 제공되고 purity levels 4.0에서 9.0 이상, tied-diaphragm sealing leak integrity 최대 10⁻¹¹ mbar.l/s이며 highly oxidizing gases용 metal-to-metal sealing도 제공합니다. Premium UHP gas-system range는 contamination levels가 parts per billion으로 측정되는 가스를 운송, 조절 및 공급하도록 설계되며 specialized materials, purification technology, 엔지니어링을 결합해 initial supply point부터 point of use까지 particles, moisture intrusion, cross-contamination을 방지하는 것을 목표로 합니다. Rotarex가 제시하는 UHP system applications는 semiconductor fabs, pharmaceutical cleanrooms, aerospace research, analytical instruments, industrial processes, solar-panel manufacturing을 포함하며 semiconductor uses에는 etching, doping, deposition, surface fabrication이 포함됩니다. 이 UHP systems에는 100% helium leak testing, purity level에 맞춘 specific packaging, ISO 4 cleanroom manufacturing, corrosive, toxic, specialty gases 지원, purity levels 6.0에서 9.0 이상, tied-diaphragm, diaphragm, packed-seal, bellows-seal, O-ring-seal technologies가 제시됩니다. Ready-to-install 및 맞춤형 UHP systems는 gas cabinets, VMBs 또는 valve manifold boxes, process tools, gas-delivery systems용으로 제시되며 pressure regulators, line valves, fittings, cylinder connectors, canisters 및 기타 UHP components를 사용합니다. Threadless 및 springless UHP pressure regulators는 high 및 ultra-high-purity gases용 single-stage diaphragm regulators로 설명되며 sub-atmospheric option, optimized supply-pressure effect, flow stability, CGA E4 기준 life duration, SEMI F19 UHP Grade의 electropolished surface roughness, SEMI F20 material option을 제공합니다. High-purity line-valve range에는 최대 500 bar의 D615 manual과 D655 pneumatic bundle valves, 그리고 hydrogen, methane, acetylene applications용 O-ring과 12mm orifice를 갖춘 D605가 포함됩니다. High-purity cylinder-valve options에는 calibration applications용 D551 Ducal과 D552 Flowcal stainless-steel VIPRs가 있으며 D551은 adjustable pressure regulator, D552는 integrated flow selector를 제공합니다. 추가 high-purity cylinder-valve 모델에는 D200, D250, D265, D283, D282, D203, D285, D100, D131, D160S, D156S, D195S, D154S, D167S, D158, D183, D405, D488이 있으며 diaphragm, packed-seal, O-ring designs, RPVs, drum 및 lecture-bottle valves, manual 및 pneumatic actuation, hydrogen, methane, acetylene 응용을 포괄합니다. electronics 및 UHP 범위 전반에서 Rotarex는 완전한 traceability, material certification, qualification 및 compliance audits용 documentation, cleanroom assembly, 개별 시험, gas circuit 전체의 international connection standards를 강조합니다.
역량 및 제품
- 반도체 UHP 가스 공급 시스템
- UHP 가스 실린더 밸브
- UHP 가스 라인 밸브
- UHP 가스 압력 조절기
- UHP 가스 피팅 및 연결부품
- CVD/ALD 전구체 canister/bubbler
- 반도체 가스 시스템용 UHP 진공 발생기
- 반도체 VMB 밸브 매니폴드 박스
- UHP 금속 면밀봉 피팅