基本資料
| 攤位 | N0267 |
| 國別 | TW |
| 網站 | rotarex.com |
公司簡介
Rotarex Taiwan 自 2018 年起設立於 Taipei, Taiwan，為 ROTAREX group 的一部分，台灣辦公室負責 Taiwan 全區的銷售與技術支援。 台灣辦公室與 Rotarex S.A. in Luxembourg、服務 Singapore、ASEAN、Australia 與 New Zealand 的 Rotarex Fareast、China 的 Rotarex Star、Rotarex Korea 以及 Rotarex Japan 密切合作。 Rotarex 長期開發氣體控制產品與系統，並將產品開發連結到實際客戶挑戰與新的工作方式。 其快速反應的 R&D 基礎設施及與大學夥伴的合作，用於推動應用型創新，例如把 cylinder valve、gas pressure regulator、gauge、safety valve 與其他功能整合在一起的 integrated valve。 公司也列出因應市場需求所開發的產品，包括 mechatronic pressure regulator 與 digital medical pressure-regulating valve。
展出產品
Rotarex 提供醫療氣體應用的 cylinder valves、pressure regulators、gas supply systems 與 components，也提供 HP、UHP 與工業氣體系統所需設備。 其明列範圍包括 supply and switchover boards、pressure regulators、line valves、fittings、connectors、完整的 Ultra High Purity gas solutions、工業氣體用 cylinder valves、Release Pressure Valves (RPVs)、valves with integrated pressure regulators (VIPRs)，以及 total-flooding 與 local applications 的 fire-protection systems。 在電子製造領域，Rotarex 對應 semiconductors、photovoltaic cells、OLED displays 與 advanced microelectronics，並把氣體污染視為直接的製程風險，提供從 cylinder valves、line valves 到 pressure regulators、fittings 與 precursor canisters 的 ultra-high-purity 設備。 其 UHP valves 採用 springless、threadless 設計，以消除會造成 particle generation 的內部機械接觸，所有 UHP valves 都在 ISO 4 cleanroom 中組裝、測試與包裝。 每一個 UHP unit 在出貨前都進行 100% helium leak testing，內部表面採 electropolished 處理並符合 SEMI F19 Grades，針對侵蝕性 process-gas 應用的 leak integrity 可達 10⁻¹¹ mbar.l/s。 電子氣體應用涵蓋 corrosive、toxic 與 high-value gases，包括 fluorine compounds、halides、hydrides 與 metalorganic precursors，例子包括 arsine、silane 與 hydrogen fluoride。 Rotarex 列出的 UHP gas valves 可用於 electronics、chemicals 與其他應用，純度等級從 4.0 到 9.0 及以上，涵蓋 low- 與 high-pressure configurations、tied-diaphragm 或 packed-seal technologies，以及 DIN、CG、JIS、BS、AFNOR、UNI、NEN、NBR 等連接標準。 UHP line valves 採 springless 與 threadless 結構、降低 dead space，working pressure 可達 240 bar，支援 -20 至 150 Celsius degrees，並包含 ISO 4 cleanroom 組裝、測試與包裝、依 SEMI F19 Grades 的 electropolished surfaces，以及 100% helium leak testing。 UHP line pressure regulators 規格包括高 outlet-pressure stability、擴充的 flow-rate range、最高 240 bar pressure handling，以及 -20 至 65 Celsius degrees 的支援溫度。 Pressure-regulator 型號包括 RX3000 single-stage diaphragm，Cv 0.09 或 0.15、inlet 21/240 bar；RX3100 sub-atmospheric，Cv 0.09、inlet 21 bar；以及 RX3200 single-stage tied-diaphragm，Cv 0.09 或 0.15、inlet 21/240 bar。 較大型的 regulator range 包含 RX4000 single-stage diaphragm 與 RX4200 single-stage tied-diaphragm，兩者皆提供 Cv 0.15、0.25、0.5、0.9、1.1 與 inlet 21/117/207/240 bar；另外 RX4100 sub-atmospheric regulator 為 Cv 0.5、inlet 21 bar。 Springless diaphragm line-valve 型號包括 flow capacity 0.2 的 RX04、0.5 的 RX08、1.75 的 M12 與 3.5 的 M20，全部都列為 HP & UHP line valves。 Tied-diaphragm line-valve 型號包括 4mm orifice 的 D604 manual 與 D654 oleo-pneumatic、採 soft knife-edge seat 且為 4mm orifice 的 D688 pneumatic，以及 6mm orifice 的 D639S manual 與 D689S oleo-pneumatic。 Bellows 與 check-valve families 包括 K300、HP2000、K900、HP9000、HP3000、SUPRA 與 CAR(S)，依產品 family 不同，標示的溫度範圍涵蓋 ambient-temperature 與 cryogenic service，最低達 -270°C、最高達 +250°C。 Rotarex 的 UHP gas cylinder valves 包括 D304、D385S、D386S、D354、D340S、D306、D356、D339S、D389S、D349、D337、D387 與 D342，組合涵蓋 high 或 low pressure、manual、pneumatic 或 oleo-pneumatic actuation、soft-seat 或 metal-to-metal sealing，以及 3.5mm 至 8mm 的 orifice sizes。 D386S 被列為用於 fluorine mixtures、帶 pneumatic actuator 的 tied-diaphragm cylinder valve；D340S、D349 與 D342 則分別為 4mm、6mm 與 8mm soft-seat orifice 的 dual-port UHP-valve configurations。 UHP connector range 包括 40 SERIES standard connectors，由 nipple、nut 與 gasket 組成；45 SERIES complete connectors 再加 blank plug；50 SERIES blank plugs；60 SERIES outlet adaptors；CGA/DISS cylinder outlet seal caps；以及 30 SERIES cylinder-valve gaskets。 在 precursor handling 方面，stainless-steel canister 型號包括 6L sampling 用 RX507L、19L product 用 RX171L，以及涵蓋 200L 到 1000L、storage configuration 可達 3000L 的 RX200B。 Canister、precursor 與 bubbler 產品用於 CVD 與 ALD 所使用的 metalorganic precursors 與 dopants 之 inert storage 與 controlled delivery，範圍涵蓋 sampling、product 與 large-volume storage configurations。 Vacuum-generator 型號包括 RXVGB，為 60torr vacuum、without a check valve 的 block type；以及 RXVGM，為 100torr vacuum、with a check valve 的 module type，可整合至 semiconductor gas systems。 Rotarex 將從 cylinder 到 point of use 的完整 UHP chain 置於同一 quality reference、traceability system 與 compliance framework 下，涵蓋 cylinder valves、line valves、pressure regulators、fittings 與 precursor canisters，作為整合式 gas-control system 的各個部分。 在 CVD、ALD 與 etch 應用的 pressure regulation 方面，公司把穩定的 outlet pressure 與 process repeatability 連結，UHP regulators 規格包含最高 240 bar working pressure、-20°C 至 65°C 支援溫度，以及符合 SEMI F19 UHP Grade 的 electropolished internal surfaces。 UHP line valves 的 diaphragm 與 tied-diaphragm designs 可移除內部機械接觸並降低 dead space，bellows versions 為侵蝕性與 cryogenic chemistries 提供 stem 的 hermetic isolation，leak integrity 可達 10⁻¹¹ mbar.l/s，operating capability 可達 240 bar 並支援 -20°C 至 150°C。 UHP fittings 採 metal-to-metal face-seal technology 以避免 elastomer seals，內部表面 electropolished 至 SEMI F19 UHP Grade，範圍涵蓋 cylinder connectors、face-seal fittings、weld fittings 與 high-flow fittings，可對應標準 semiconductor UHP tubing 與 connection formats。 Ultra-high-purity cylinder valves 提供 manual 與 pneumatic versions，純度從 4.0 到 9.0 及以上，tied-diaphragm sealing 的 leak integrity 可達 10⁻¹¹ mbar.l/s，對 highly oxidizing gases 另有 metal-to-metal sealing。 Premium UHP gas-system range 用於輸送、調節與供應 contamination levels 以 parts per billion 計量的氣體，結合 specialized materials、purification technology 與工程設計，目的是從 initial supply point 到 point of use 避免 particles、moisture intrusion 與 cross-contamination。 Rotarex 列出的 UHP system applications 涵蓋 semiconductor fabs、pharmaceutical cleanrooms、aerospace research、analytical instruments、industrial processes 與 solar-panel manufacturing；其中 semiconductor uses 包括 etching、doping、deposition 與 surface fabrication。 這些 UHP systems 列有 100% helium leak testing、依 purity level 的 specific packaging、ISO 4 cleanroom manufacturing、corrosive、toxic 與 specialty gases 支援、6.0 到 9.0 及以上的 purity levels，以及 tied-diaphragm、diaphragm、packed-seal、bellows-seal、O-ring-seal technologies。 Ready-to-install 且可客製的 UHP systems 被列為可用於 gas cabinets、VMBs 或 valve manifold boxes、process tools 與 gas-delivery systems，採用 pressure regulators、line valves、fittings、cylinder connectors、canisters 與其他 UHP components。 Threadless 與 springless UHP pressure regulators 被描述為 high 及 ultra-high-purity gases 用 single-stage diaphragm regulators，具 sub-atmospheric option、optimized supply-pressure effect、flow stability、依 CGA E4 的 life duration、依 SEMI F19 UHP Grade 的 electropolished surface roughness，以及 SEMI F20 material option。 High-purity line-valve range 另包括最高 500 bar 的 D615 manual 與 D655 pneumatic bundle valves，以及用於 hydrogen、methane、acetylene applications、採 O-ring 與 12mm orifice 的 D605。 High-purity cylinder-valve options 包括 calibration applications 用 D551 Ducal 與 D552 Flowcal stainless-steel VIPRs，其中 D551 使用 adjustable pressure regulator，D552 則加入 integrated flow selector。 其他 high-purity cylinder-valve 型號包括 D200、D250、D265、D283、D282、D203、D285、D100、D131、D160S、D156S、D195S、D154S、D167S、D158、D183、D405 與 D488，涵蓋 diaphragm、packed-seal、O-ring designs、RPVs、drum 與 lecture-bottle valves、manual 與 pneumatic actuation，以及 hydrogen、methane、acetylene 等應用。 在 electronics 與 UHP 產品範圍中，Rotarex 強調完整 traceability、material certification、qualification 與 compliance audits 所需 documentation，以及 cleanroom assembly、個別測試與整個 gas circuit 的 international connection standards。
能力與產品項目
- 半導體 UHP 氣體供應系統
- UHP 氣體鋼瓶閥
- UHP 氣體管路閥
- UHP 氣體壓力調節器
- UHP 氣體接頭與連接件
- CVD/ALD 前驅物 canister／bubbler
- 半導體氣體系統 UHP 真空產生器
- 半導體 VMB 閥件岐管箱
- UHP 金屬面密封接頭