基本情報
| ブース | N0267 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | rotarex.com |
会社概要
Rotarex Taiwan は 2018 年から Taipei, Taiwan に設立されている ROTAREX group の一員で、台湾オフィスは Taiwan 全域の販売と技術サポートを担当します。 台湾オフィスは Rotarex S.A. in Luxembourg、Singapore、ASEAN、Australia、New Zealand を担当する Rotarex Fareast、China の Rotarex Star、Rotarex Korea、Rotarex Japan と緊密に連携します。 Rotarex はガス制御製品とシステムを長年開発しており、製品開発を実際の顧客課題や新しい働き方に結び付けています。 迅速に対応する R&D 基盤と大学パートナーとの協力を活用し、cylinder valve、gas pressure regulator、gauge、safety valve などを一体化した integrated valve のような応用イノベーションを生み出しています。 同社は市場ニーズに応じて開発した製品として、mechatronic pressure regulator と digital medical pressure-regulating valve も挙げています。
展示製品
Rotarex は医療ガス用途向けの cylinder valves、pressure regulators、gas supply systems、components を提供し、HP、UHP、産業用ガスシステム向けの機器も扱います。 記載された範囲には supply and switchover boards、pressure regulators、line valves、fittings、connectors、Ultra High Purity gas solutions 一式、産業用ガス向け cylinder valves、Release Pressure Valves (RPVs)、valves with integrated pressure regulators (VIPRs)、total-flooding と local applications 向け fire-protection systems が含まれます。 電子製造分野では semiconductors、photovoltaic cells、OLED displays、advanced microelectronics を対象とし、ガス汚染を工程上の直接的なリスクとして捉え、cylinder valves、line valves から pressure regulators、fittings、precursor canisters まで ultra-high-purity 機器を提供します。 UHP valves は particle generation の原因となる内部機械接触をなくすため springless、threadless 設計を採用し、すべての UHP valves は ISO 4 cleanroom で組立、試験、梱包されます。 すべての UHP unit は出荷前に 100% helium leak testing を受け、内部表面は electropolished 処理で SEMI F19 Grades に適合し、侵食性 process-gas 用途向けの leak integrity は最大 10⁻¹¹ mbar.l/s とされています。 電子向けガス用途には corrosive、toxic、high-value gases が含まれ、fluorine compounds、halides、hydrides、metalorganic precursors、さらに arsine、silane、hydrogen fluoride が例示されています。 Rotarex の UHP gas valves は electronics、chemicals その他の用途向けで、純度レベル 4.0 から 9.0 以上、low- と high-pressure configurations、tied-diaphragm または packed-seal technologies、DIN、CG、JIS、BS、AFNOR、UNI、NEN、NBR などの接続規格をカバーします。 UHP line valves は springless・threadless 構造、dead space の最小化、最大 240 bar の working pressure、-20 から 150 Celsius degrees の温度対応、ISO 4 cleanroom での組立・試験・梱包、SEMI F19 Grades に基づく electropolished surfaces、100% helium leak testing を特徴とします。 UHP line pressure regulators は高い outlet-pressure stability、拡張された flow-rate range、最大 240 bar の pressure handling、-20 から 65 Celsius degrees の対応温度を備えます。 Pressure-regulator には RX3000 single-stage diaphragm、Cv 0.09 または 0.15、inlet 21/240 bar、RX3100 sub-atmospheric、Cv 0.09、inlet 21 bar、RX3200 single-stage tied-diaphragm、Cv 0.09 または 0.15、inlet 21/240 bar が含まれます。 より大容量の regulator range には RX4000 single-stage diaphragm と RX4200 single-stage tied-diaphragm があり、いずれも Cv 0.15、0.25、0.5、0.9、1.1、inlet 21/117/207/240 bar に対応し、RX4100 sub-atmospheric regulator は Cv 0.5、inlet 21 bar です。 Springless diaphragm line-valve には flow capacity 0.2 の RX04、0.5 の RX08、1.75 の M12、3.5 の M20 があり、すべて HP & UHP line valves として示されています。 Tied-diaphragm line-valve には 4mm orifice の D604 manual と D654 oleo-pneumatic、soft knife-edge seat と 4mm orifice の D688 pneumatic、6mm orifice の D639S manual と D689S oleo-pneumatic が含まれます。 Bellows と check-valve families は K300、HP2000、K900、HP9000、HP3000、SUPRA、CAR(S) を含み、製品 family により ambient-temperature から cryogenic service まで、最低 -270°C、最高 +250°C の温度範囲が示されています。 Rotarex の UHP gas cylinder valves には D304、D385S、D386S、D354、D340S、D306、D356、D339S、D389S、D349、D337、D387、D342 があり、high または low pressure、manual、pneumatic、oleo-pneumatic actuation、soft-seat または metal-to-metal sealing、3.5mm から 8mm の orifice sizes を組み合わせます。 D386S は fluorine mixtures 向けで pneumatic actuator を備える tied-diaphragm cylinder valve、D340S、D349、D342 はそれぞれ 4mm、6mm、8mm soft-seat orifice の dual-port UHP-valve configurations です。 UHP connector range には nipple、nut、gasket からなる 40 SERIES standard connectors、blank plug を加えた 45 SERIES complete connectors、50 SERIES blank plugs、60 SERIES outlet adaptors、CGA/DISS cylinder outlet seal caps、30 SERIES cylinder-valve gaskets が含まれます。 precursor handling では stainless-steel canister として sampling 用 6L の RX507L、product 用 19L の RX171L、200L から 1000L、storage configuration では最大 3000L の RX200B が示されています。 Canister、precursor、bubbler は CVD と ALD で使用する metalorganic precursors と dopants の inert storage と controlled delivery を目的とし、sampling、product、large-volume storage configurations をカバーします。 Vacuum-generator には 60torr vacuum、without a check valve の block type RXVGB と、100torr vacuum、with a check valve の module type RXVGM があり、semiconductor gas systems への統合に対応します。 Rotarex は cylinder から point of use までの UHP chain を一つの quality reference、traceability system、compliance framework で提供し、cylinder valves、line valves、pressure regulators、fittings、precursor canisters を統合 gas-control system の構成要素として扱います。 CVD、ALD、etch 用途の pressure regulation では安定した outlet pressure を process repeatability に結び付け、UHP regulators は最大 240 bar の working pressure、-20°C から 65°C の対応温度、SEMI F19 UHP Grade の electropolished internal surfaces を備えます。 UHP line valves では diaphragm と tied-diaphragm designs が内部機械接触を除去して dead space を抑え、bellows versions が侵食性・cryogenic chemistries 向けに stem を hermetic isolation し、leak integrity は最大 10⁻¹¹ mbar.l/s、operating capability は最大 240 bar、-20°C から 150°C です。 UHP fittings は elastomer seals を避ける metal-to-metal face-seal technology を採用し、内部表面は SEMI F19 UHP Grade まで electropolished され、cylinder connectors、face-seal fittings、weld fittings、high-flow fittings を標準 semiconductor UHP tubing と connection formats 向けに提供します。 Ultra-high-purity cylinder valves は manual と pneumatic versions があり、純度レベル 4.0 から 9.0 以上、tied-diaphragm sealing の leak integrity は最大 10⁻¹¹ mbar.l/s、highly oxidizing gases 向けには metal-to-metal sealing も用意されます。 Premium UHP gas-system range は contamination levels が parts per billion で測定されるガスを輸送、調整、供給するためのもので、specialized materials、purification technology、エンジニアリングを組み合わせ、initial supply point から point of use まで particles、moisture intrusion、cross-contamination を防ぐことを目的とします。 Rotarex が示す UHP system applications は semiconductor fabs、pharmaceutical cleanrooms、aerospace research、analytical instruments、industrial processes、solar-panel manufacturing を含み、semiconductor uses には etching、doping、deposition、surface fabrication が含まれます。 これらの UHP systems には 100% helium leak testing、purity level に応じた specific packaging、ISO 4 cleanroom manufacturing、corrosive、toxic、specialty gases 対応、purity levels 6.0 から 9.0 以上、tied-diaphragm、diaphragm、packed-seal、bellows-seal、O-ring-seal technologies が示されています。 Ready-to-install でカスタマイズ可能な UHP systems は gas cabinets、VMBs または valve manifold boxes、process tools、gas-delivery systems 向けで、pressure regulators、line valves、fittings、cylinder connectors、canisters などの UHP components を使用します。 Threadless・springless UHP pressure regulators は high および ultra-high-purity gases 向け single-stage diaphragm regulators とされ、sub-atmospheric option、optimized supply-pressure effect、flow stability、CGA E4 に基づく life duration、SEMI F19 UHP Grade の electropolished surface roughness、SEMI F20 material option を備えます。 High-purity line-valve range には最大 500 bar の D615 manual と D655 pneumatic bundle valves、および hydrogen、methane、acetylene applications 向けで O-ring と 12mm orifice を持つ D605 が含まれます。 High-purity cylinder-valve options には calibration applications 向け D551 Ducal と D552 Flowcal stainless-steel VIPRs があり、D551 は adjustable pressure regulator、D552 は integrated flow selector を備えます。 その他の high-purity cylinder-valve には D200、D250、D265、D283、D282、D203、D285、D100、D131、D160S、D156S、D195S、D154S、D167S、D158、D183、D405、D488 があり、diaphragm、packed-seal、O-ring designs、RPVs、drum、lecture-bottle valves、manual・pneumatic actuation、hydrogen、methane、acetylene などの用途をカバーします。 electronics と UHP の製品範囲全体で、Rotarex は完全な traceability、material certification、qualification と compliance audits 用 documentation、cleanroom assembly、個別試験、gas circuit 全体の international connection standards を重視しています。
対応領域・製品
- 半導体UHPガス供給システム
- UHPガスシリンダーバルブ
- UHPガスラインバルブ
- UHPガス圧力調整器
- UHPガス継手・接続部品
- CVD/ALD前駆体canister・bubbler
- 半導体ガスシステム用UHP真空発生器
- 半導体VMBバルブマニホールドボックス
- UHPメタルフェイスシール継手