기본 정보
| 부스 | J2734 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.rorze.com/en/products_category/wafer-transfer-system |
회사 소개
Rorze Technology, Inc.는 RORZE CORPORATION의 대만 자회사로서 대만 시장에서 자동화 시스템을 개발, 제조, 판매하고 유지보수합니다. RORZE CORPORATION은 Rorze Technology, Inc. 지분 100%를 직접 보유하며 대만 거점은 신주 과학단지에 있습니다. Rorze Technology, Inc.는 품질경영시스템 ISO 9001 인증을 보유하고 있습니다. 웨이퍼 핸들링 시스템과 진공 웨이퍼 이송 로봇은 대만 법인이 속한 RORZE 계열의 기술 및 장비 분야입니다. 모회사 RORZE CORPORATION은 1985년 3월 30일에 설립되었으며 본사는 일본 히로시마현 후쿠야마시에 있습니다. RORZE CORPORATION은 도쿄증권거래소 프라임 시장에 상장되어 있으며 증권 코드는 6323입니다. 모회사의 자본금은 9억 8,200만 엔이며 회계연도는 2월에 종료됩니다. 2026년 2월 종료 회계연도에 RORZE CORPORATION의 순매출액은 69,754백만 엔, 연결 기준 순매출액은 128,794백만 엔이었습니다. 2026년 2월 말 RORZE CORPORATION의 직원 수는 개별 기준 362명, 연결 기준 4,551명으로 임시직 및 재고용 직원의 연간 평균 인원을 포함합니다. RORZE CORPORATION은 반도체 및 평판디스플레이(FPD) 생산용 자동화 시스템을 설계, 개발, 제조 및 판매합니다. 반도체 자동화 제품은 모회사 매출의 절반 이상을 차지하며 저파티클 발생, 높은 처리량 및 신뢰성을 갖춘 시스템으로 반도체 제조 라인을 지원합니다. FPD 제조에서는 RORZE CORPORATION이 반도체 자동화에서 축적한 기술을 활용해 높은 처리량과 신뢰성을 제공하는 기판 처리 시스템을 구현합니다. 모회사 그룹은 유도결합 플라스마 질량분석법(ICP-MS)으로 실리콘 웨이퍼의 금속 불순물을 자동 분석하는 장비도 공급해 반도체 공정의 금속 오염 관리를 지원합니다. 생명과학 분야에서 RORZE CORPORATION은 배양기와 소프트웨어 패키지로 신약 개발 및 재생의료에 필요한 세포 배양 작업의 효율화와 자동화를 지원합니다. 모회사 그룹의 모션 컨트롤러는 소형화, 높은 신뢰성 및 다양한 기능을 갖추고 RORZE 반도체 및 FPD 자동화 제품을 지원합니다. 일본에서는 RORZE CORPORATION이 후쿠야마 본사 공장, 구마모토현 고시시 규슈 공장 및 요코하마 사무소를 운영합니다. 일본 본사, 요코하마 및 규슈 거점은 ISO 9001 품질, ISO 14001 환경, ISO/IEC 27001 정보보안 경영시스템 인증을 갖추고 있습니다. RORZE의 국제 네트워크에는 싱가포르의 RORZE INTERNATIONAL PTE. LTD.와 RORZE TECHNOLOGY SINGAPORE PTE. LTD.가 포함됩니다. RORZE TECHNOLOGY SINGAPORE PTE. LTD.는 싱가포르와 인접 국가에서 자동화 시스템의 판매 및 유지보수를 담당합니다. RORZE AUTOMATION, INC.는 미국 시장에서 자동화 시스템을 개발, 제조, 판매 및 유지보수합니다. 베트남의 RORZE ROBOTECH CO., LTD.는 모터 제어장치와 반도체 제조 장비용 로봇을 제조하고 로봇 기계 부품을 가공·수출합니다. RORZE ROBOTECH CO., LTD.는 ISO 9001, ISO 14001, ISO/IEC 27001 및 고객만족경영 ISO 10002 인증을 보유합니다. RORZE SYSTEMS CORPORATION은 한국 시장에서 자동화 시스템을 개발, 제조, 판매 및 유지보수하며 2003년 11월 코스닥에 상장했습니다. RORZE CREATECH CO., LTD.는 중국 시장을 대상으로 자동화 시스템을 설계, 제조, 판매 및 유지보수합니다. 독일의 RORZE ENGINEERING GmbH는 유럽 시장에서 장비 및 부품의 수입, 판매, 유지보수와 중개 업무를 수행합니다. 그 밖의 RORZE 그룹 회사로는 베트남의 RORZE SYSTEMS VINA CO., LTD., 중국의 RORZE CREATECH SEMICONDUCTOR EQUIPMENT CO., LTD., 프랑스의 RORZE ENGINEERING France Sarl이 있습니다. 그룹에는 미국의 Nanoverse Technologies, Ltd., 일본 쓰쿠바시의 RORZE Lifescience Inc., 도쿄도 히노시의 RORZE IAS Inc.도 포함됩니다. 계열 관계사에는 중국의 SHANGHAI RORZE ReMed BIOTECHNOLOGY CO., LTD.와 베트남의 Preciv Co., Ltd.가 포함됩니다. 대만에서는 반도체 웨이퍼 핸들링과 함께 LCD 기판용 로봇 이송 장비도 지원합니다. 대만 거점은 일본 본사의 표준화된 절차를 적용하며 추적 가능한 유지보수, 체계적인 교육훈련 및 생산 문제의 신속한 평가를 제공합니다.
전시 제품
Rorze Technology, Inc.는 MUSASHI Series의 RR481 부메랑 암형 더블 암 진공 웨이퍼 이송 로봇을 공급하며 RR481L200 모델을 포함해 반도체 고진공 이송에 대응합니다. RR481은 CVD·PVD 박막 증착, 식각, EUV, 계측 및 반도체 전공정을 위해 설계되었습니다. 스틸 벨트 구동 암, 고강성 구동 구조 및 진공 대응 모터를 결합해 오염 위험을 낮추면서 웨이퍼를 정밀하게 이송합니다. 구동부에 적용된 진공 직접구동 모터(DDM)는 높은 위치 반복정밀도와 신뢰성 있는 진공 격벽 성능을 제공합니다. 스틸 벨트 암 구조는 작은 회전 영역과 작은 회전 반경에서도 긴 엔드이펙터를 적용하여 장거리 도달을 지원합니다. 이 구조는 15 mm의 좁은 게이트 개구부를 지원하며 초고진공 환경과 높은 처리량의 이송에 대응합니다. 선택사양인 AWC 자동 웨이퍼 위치 보정 기능은 여러 공정 단계에서 누적된 위치 편차를 수정해 이송 안정성과 수율을 높입니다. RR481L200은 최대 300 mm 웨이퍼를 이송하며 엔드이펙터를 포함한 손목 장착부의 하중 사양은 3.0 kg / 10 Nm입니다. 300 mm 웨이퍼 기준 기판 중심 이송 거리는 715 mm이며 Z축 스트로크는 70 mm 또는 140 mm입니다. 로봇은 무제한 회전에 대응하며 회전 직경은 530 mm, X/Y 이송 정밀도는 ±0.1 mm입니다. 본체 질량은 100 kg이며 내진공도는 10E-6 Pa입니다. 기본 진공도 5x10E-4 Pa 조건에서 헬륨 누설률은 5x10E-9 Pa.m3/sec He입니다. 사용 온도는 80°C 이하입니다. 진공 내부 사용 재료에는 알루미늄, 스테인리스강, 벨로즈용 AM350, 니켈 도금 자석 및 불소계 O링이 포함됩니다. 모터는 진공 직접구동 방식이며 Z축에는 서보 모터를 사용하고 엔코더 사양은 ABS입니다. 전원 사양은 모터 구동용 DC 48 V와 통신용 DC 24 V이며 TCP/IP 통신을 지원합니다. 선택사양으로 티칭 펜던트와 AC 200 V 입력 전원 장치를 제공합니다.
역량 및 제품
- 반도체 자동화 시스템 개발·제조·유지보수
- 웨이퍼 핸들링 시스템
- 듀얼암 진공 웨이퍼 이송 로봇