基本情報
| ブース | J2734 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.rorze.com/en/products_category/wafer-transfer-system |
会社概要
Rorze Technology, Inc. は台湾市場で自動化システムの開発、製造、販売、保守を行い、明示された供給範囲には Wafer Handling System が含まれます。 RORZE のネットワークでは、Rorze Technology, Inc. は台湾拠点として掲載され、グループの直接持分は100%とされ、台湾事業には ISO 9001 Quality Management System 認証が示されています。 Rorze Technology, Inc. は国内外の顧客を支えるグローバルネットワークの一部として活動し、RORZE の拠点・グループ会社は U.S.A.、Vietnam、Taiwan、Korea、Singapore、China、Germany、France、Japan に広がっています。 RORZE グループの会社情報では、RORZE CORPORATION は March 30, 1985 に設立され、Tokyo Stock Exchange Prime Market に証券コード6323で上場し、資本金は 982 million Japanese Yen とされています。 February 2026 に終了した年度の net sales は 69,754 million Japanese Yen、連結では 128,794 million Japanese Yen とされ、February 2026 末の従業員数は 362、連結では 4,551 と記載されています。 RORZE グループの事業概要は、半導体・FPD 生産向け自動化システムの開発、設計、製造、販売を含み、Semiconductor Automation Product は売上の半分以上を占める主要事業とされています。 Semiconductor Automation Product は low particle generation、high throughput、high reliability を備えて半導体製造ラインを支援するシステムとされ、FPD Automation Product は半導体自動化で培った技術によって high throughput と high reliability を実現します。 グループはさらに、ICP-MS で Si wafers 内の金属不純物を自動分析する Analysis Device、incubator と software package で細胞培養作業の効率化・自動化を図る Life Science Automation Product、小型で高信頼・高機能な Motion Controller を展開し、半導体・FPD 製品を支えています。 日本国内の拠点構成には Head Office、Yokohama Office、Kyushu Factory があり、国内外拠点情報には ISO 9001、ISO 14001、ISO/IEC 27001 が記載されています。 海外では、U.S.A. 拠点が自動化システムの開発、製造、販売、保守、Vietnam 拠点が motor control devices、半導体製造装置向け robot 製造、robot 機械部品の加工・輸出、Korea が自動化システムの開発、製造、販売、保守、Singapore が販売・保守、China が設計、製造、販売、保守、Germany が欧州市場向け設備・部品の輸入、販売、保守、broking を担当します。 Vietnam 拠点には ISO 9001、ISO 14001、ISO/IEC 27001、ISO 10002、Korea 拠点には ISO 9001 と ISO 14001、Germany 拠点には ISO 9001 が記載され、品質・マネジメント認証がグループの複数拠点に展開されています。 2026年6月の台湾向け説明では、Rorze Technology, Inc. は日本の RORZE と関係する台湾会社として、半導体ウエハ搬送と自動化に注力し、標準化プロセス、トレーサブルな保守、体系的なトレーニング、生産問題の迅速な評価、台湾でのローカルサービスを重視しています。
展示製品
ウエハ搬送の提供内容には Wafer Handling System と double-arm 構成の RR481/boomerang arm vacuum robot が含まれ、高い位置決め再現性と高信頼の真空隔壁性能を備えます。 RR481 は MUSASHI Series のフラッグシップ真空ロボットとして、高真空プロセス、CVD と PVD を含む薄膜成膜、Etching、EUV、計測、前工程向けに位置付けられています。 RR481 の説明では、低い汚染発生確率、高精度搬送、小さな旋回半径に加え、スチールベルトアーム、高剛性駆動構造、真空対応モーターを組み合わせています。 自動ウエハ位置補正機能は複数工程で蓄積した位置ずれを補正し、搬送安定性と歩留まりの向上を目的とします。 RR481L200 double-arm boomerang robot は駆動部に DDM、すなわち vacuum direct drive motor を採用して高い位置決め再現性と高信頼の真空隔壁性能を実現し、スチールベルト駆動アーム機構によって小さな旋回エリアでも長い end-effector を使用できます。 RR481L200 は long reach 用の long end-effector、15mm の狭い gate opening size、高精度、ultrahigh vacuum、高 throughput、AWC wafer-position-compensation option に対応します。 対応基板は最大 300mm wafer、end-effector を含むリスト取り付け部の capacity は 3.0kg/10 Nm、300mm wafer の substrate-center transfer distance は 715mm です。 Z-axis stroke は 70mm/140mm、rotation は制限なし、rotation diameter は 530mm、X・Y の transfer accuracy は ±0.1mm、mass は 100kg です。 記載された vacuum-proof level は 10E-6 Pa、He leakage rate は 5x10E-9 Pa.m3/sec He、Base vacuum は 5x10E-4 Pa、operating temperature は 80℃ or less です。 真空内使用材料は Aluminum、Stainless steel、AM350 (Bellows)、Ni-plated Magnet、Fluorine-based O-ring で、RR481 系列の材料情報と対応します。 Motor specification は vacuum direct drive motor、Z-axis は Servo motor、encoder specification は ABS、utilities は motor drive 用 48V DC と communication 用 24V DC、communication は TCP/IP です。 RR481L200 の options には teaching pendant と 200 V AC input の power unit があり、ウエハ搬送装置へ統合する際の選択項目となります。
対応領域・製品
- 半導体自動化システムの開発・製造・保守
- ウェハ搬送システム
- ダブルアーム真空ウェハ搬送ロボット