基本資料
| 攤位 | J2734 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.rorze.com/en/products_category/wafer-transfer-system |
公司簡介
樂華科技股份有限公司在台灣市場從事自動化系統的開發、製造、銷售與維護，其明列的供應範圍包含 Wafer Handling System。 在 RORZE 網路中，樂華科技股份有限公司被列為台灣據點，集團直接持股 100%，且台灣營運據點列有 ISO 9001 Quality Management System 認證。 樂華科技股份有限公司運作於用來支援國內外客戶的全球網路中，RORZE 的據點與集團公司遍及 U.S.A.、Vietnam、Taiwan、Korea、Singapore、China、Germany、France 與 Japan。 RORZE 集團公司資料指出 RORZE CORPORATION 成立於 March 30, 1985，於 Tokyo Stock Exchange Prime Market 上市，證券代碼 6323，資本額為 982 million Japanese Yen。 截至 February 2026 的年度資料列出淨銷售額 69,754 million Japanese Yen，合併淨銷售額 128,794 million Japanese Yen；截至 February 2026 底，員工人數列為 362 人，合併為 4,551 人。 RORZE 集團業務範圍包括半導體與 FPD 生產自動化系統的開發、設計、製造與銷售，其中 Semiconductor Automation Product 被列為占銷售超過一半的主要業務。 Semiconductor Automation Product 被描述為兼具低 particle generation、高 throughput 與高 reliability，以支援使用者的半導體製造線；FPD Automation Product 則利用半導體自動化領域累積的技術實現高 throughput 與高 reliability。 集團也開發 Analysis Device，以 ICP-MS 自動分析 Si wafers 中的金屬雜質；Life Science Automation Product 利用 incubator 與 software package 提升細胞培養作業效率並自動化；Motion Controller 則以小型、高可靠度與高功能性支援半導體及 FPD 產品。 日本國內據點結構包括 Head Office、Yokohama Office 與 Kyushu Factory，國內外據點資訊並列出 ISO 9001、ISO 14001 與 ISO/IEC 27001。 海外營運方面，U.S.A. 據點負責自動化系統開發、製造、銷售與維護；Vietnam 據點負責 motor control devices、半導體生產設備 robot 製造，以及 robot 機械零件的加工與出口；Korea 負責自動化系統開發、製造、銷售與維護；Singapore 負責銷售與維護；China 負責設計、製造、銷售與維護；Germany 則負責歐洲市場設備與零件的進口、銷售、維護與 broking 業務。 Vietnam 據點列有 ISO 9001、ISO 14001、ISO/IEC 27001 與 ISO 10002，Korea 據點列有 ISO 9001 與 ISO 14001，Germany 據點列有 ISO 9001，反映品質與管理認證分布於集團服務網路的多個據點。 2026 年 6 月的台灣公司介紹亦將樂華科技股份有限公司描述為與日本 RORZE 相關的台灣公司，聚焦半導體晶圓搬送與自動化，並強調標準化流程、可追溯維護、結構化訓練、生產異常的快速評估與台灣在地服務。
展出產品
晶圓搬送供應內容包括 Wafer Handling System 與 double-arm 結構的 RR481/boomerang arm vacuum robot，具備高定位重複精度與高可靠度的真空隔離性能。 RR481 被列為 MUSASHI Series 的旗艦級真空機械手臂，適用於高真空製程、包括 CVD 與 PVD 的薄膜沉積、Etching、EUV、量測與前段製程。 RR481 的說明結合低污染機率、高精度搬送與小旋轉半徑，並採用鋼製皮帶手臂、高剛性驅動結構與真空對應馬達。 其自動晶圓位置補償功能可修正多段製程累積的偏移，目的是提升搬送穩定性與良率。 RR481L200 double-arm boomerang robot 在驅動部採用 DDM，也就是 vacuum direct drive motor，以實現高定位重複精度與高可靠度的真空隔離性能；鋼製皮帶驅動的手臂機構則可在小旋轉區域內使用長型 end-effector。 RR481L200 支援 long end-effector 以取得 long reach，也支援 15mm 的狹窄 gate opening size、高精度、ultrahigh vacuum、高 throughput，以及 AWC wafer-position-compensation option。 產品支援最高 300mm wafer，腕部安裝位置含 end-effector 的 capacity 為 3.0kg/10 Nm，300mm wafer 的 substrate-center transfer distance 為 715mm。 Z-axis stroke 為 70mm/140mm，rotation 不受限制，rotation diameter 為 530mm，X、Y transfer accuracy 為 ±0.1mm，mass 為 100kg。 列出的 vacuum-proof level 為 10E-6 Pa，He leakage rate 為 5x10E-9 Pa.m3/sec He，Base vacuum 為 5x10E-4 Pa，operating temperature 為 80℃ or less。 真空內使用材料列為 Aluminum、Stainless steel、AM350 (Bellows)、Ni-plated Magnet 與 Fluorine-based O-ring，與 RR481 系列所列材料一致。 Motor specification 為 vacuum direct drive motor，Z-axis 使用 Servo motor；encoder specification 為 ABS；utilities 為 motor drive 用 48V DC 與 communication 用 24V DC；communication 使用 TCP/IP。 RR481L200 列出的 options 包括 teaching pendant 與 200 V AC input 的 power unit，構成晶圓搬送設備整合時可選用的配套項目。
能力與產品項目
- 半導體自動化系統開發製造與維護
- 晶圓搬送系統
- 雙臂真空晶圓搬送機器人