기본 정보
| 부스 | N0592 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | www.rigaku.com/index_world.html |
회사 소개
Rigaku Corporation은 1951년 일본 도쿄에서 설립된 분석 및 산업용 계측기 기업으로 전 세계에 사업 기반을 두고 직원 수가 2,000명을 넘습니다. X선과 관련 기술이 사업의 기반이며 X선 회절(XRD), XRF·XRD·XRR을 이용한 박막 분석, TXRF·EDXRF·WDXRF를 이용한 X선 형광 분광, 소각 X선 산란(SAXS), 단백질 및 저분자 X선 결정학을 다룹니다. 기술 범위에는 라만 분광, X선 광학, TXRF·XRF·XRD·XRR을 이용한 반도체 계측, X선 토포그래피 이미징, X선원, X선 컴퓨터 단층촬영, 비파괴 검사, 열분석도 포함됩니다. Rigaku Corporation은 산업계, 학계, 정부 고객과 협력해 맞춤형 솔루션을 개발하고 사용자와 직원의 협업을 통해 고객 요구와 시장 동향을 제품 개발에 반영합니다. 제품과 서비스는 반도체 칩 설계, 신약 개발, 나노기술 연구 등에서 사용되어 분석 계측을 산업 제조와 과학 연구에 연결합니다. Rigaku Corporation은 X선 분석 및 검사 장비 분야에서 70년 넘게 파트너로 활동해 온 경험을 현재 제품군의 배경으로 설명합니다.
전시 제품
반도체 및 마이크로일렉트로닉스 분야에서 Rigaku Corporation은 공정 중 R&D와 대량생산용 X선 계측 솔루션을 제공하며 WDXRF, XRR, EDXRF & Optical, TXRF, XRD, HRXRD, CDSAXS로 두께, 조성, 밀도, 거칠기, 표면 오염, 결정립 크기, 응력/변형, CD, 형상을 측정합니다. 웨이퍼 계측은 막 특성, 선폭, 잠재 결함 수준을 관리해 IC 설계와 제조를 지원하며 반도체 계측 장비는 공정 개발, 공정 제어, 수율 향상에 사용됩니다. TXRF series는 반도체 제조와 R&D에서 미량 원소의 표면 오염을 고감도로 검출하고 통합 기상 분해(VPD)를 이용해 검출 한계를 낮춰 박막 정량 분석을 지원합니다. WDXRF series는 경원소를 포함한 소재의 두께와 조성을 측정하며 반도체용 명명 제품으로 AZX 400과 WaferX 310이 제시됩니다. 하이브리드 계측은 XRR, EDXRF, XRD, 광학 기술을 결합해 후공정과 패키징의 다층 시료, 초박막 다층 구조, 비패턴 및 패턴 웨이퍼를 평가합니다. 반도체 공정 측정에서는 XRD, XRF, XRR, X선 토포그래피(XRT)로 박막 두께, 조성, 거칠기, 밀도, 기공률, 결정구조 결함을 측정하고 공정용 TXRF와 VPD-TXRF는 오염 측정을 담당합니다. 반도체 계측 외에도 X선 회절로 분말 및 다결정 소재를 식별·정련하고 결정상, 박막 구조, 결정 품질, 우선 배향을 연구할 수 있으며 SAXS는 나노 구조의 크기, 형상, 배열을 측정합니다. X선 잔류응력 분석은 고체 소재의 응력을 비파괴 방식으로 측정하고 XRF 제품군은 WDXRF, EDXRF, TXRF를 포함해 다양한 농도와 시료의 정성·정량 원소 분석을 수행합니다. 결정학 제품에는 저분자와 단백질의 3차원 원자 구조를 결정하는 단결정 X선 회절과 X선 회절의 실용 한계보다 작은 시료를 위한 전자 회절이 포함됩니다. 이미징과 비파괴 검사에서 X선 컴퓨터 단층촬영은 시료를 훼손하지 않고 마이크론부터 서브마이크론 해상도로 내부 구조를 분석하며 관련 플랫폼은 전임상 연구에서 PET, SPECT, 광학 이미징, 2D·3D·4D CT를 결합할 수 있습니다. 열분석 장비에는 프로그램 승온·냉각 중 열에너지 변화를 측정하는 DSC, TG와 DSC를 동시에 측정하는 STA, 비진동 압축·인장·굽힘 하중을 가하며 치수 변화를 측정하는 TMA가 있습니다. 휴대형 라만 제품에는 13,000개가 넘는 항목을 포함한 내장 라이브러리의 CQL Max-ID, 마약·전구체 화학물질·혼합물의 잠정 식별용 CQL Narc-ID, 원료 식별과 검증용 Progeny가 포함됩니다. Rigaku Corporation은 마이크로포커스 회전 양극 및 밀봉관 X선원, EUV와 X선 광학 부품, 실리콘 드리프트 또는 실리콘 스트립 검출기, 가스 비례 계수기, 섬광 검출기 등의 고해상도 검출기도 공급합니다. 공정 제어 장비는 EDXRF 또는 X선 투과로 온라인 원소 분석을 수행하며 액체 흐름과 고정 위치 웹·코일의 원소 분석, 원유, 벙커유, 연료유 및 기타 고점도 탄화수소의 황 측정을 지원합니다. 자동화 제품에는 장비 연결, 측정·분석 표준화, 결과 반환, 시료 처리를 지원하는 LabLinc Studio와 Rigaku 장비를 자율 실험실에 통합하는 개방형 Python 오케스트레이션 인터페이스 Rigaku Automation Interface (RAI)가 있습니다. 반도체 계측 제품은 공정 R&D와 대량생산을 위한 전 세계 24/7 서비스 및 지원과 함께 제공되며 지속적인 서비스를 통해 공정 개발과 수율 개선을 지원합니다.
역량 및 제품
- TXRF 미량원소 표면오염 검출
- WDXRF 재료 두께·조성 측정
- BEOL/패키징 다층구조 하이브리드 계측
- 소각 X선 산란(SAXS)
- X선 잔류응력 분석
- 단결정 X선 회절
- 전자 회절
- X선 컴퓨터 단층촬영(CT)
- DSC 열분석
- STA 동시 TG/DSC 열분석
- TMA 열기계 분석
- 휴대형 Raman 분석기
- 마이크로포커스 회전양극·밀봉관 X선원
- EUV 및 X선 광학
- 고해상도 X선 검출기
- EDXRF/X선 투과 온라인 원소분석
- 자율실험실 장비 통합 인터페이스