기본 정보
| 부스 | R8112 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.renishaw.com/en/renishaw-launches-next-generation-rle-interferometric-laser-encoders-for-advanced-motion-control-in-semiconductor-manufacturing--50149 |
회사 소개
Renishaw는 반도체 제조 장비에서 고정밀 변위 및 위치 측정을 위한 간섭식 레이저 엔코더 시스템을 포함해 고정밀 위치 피드백 및 모션 제어 계측을 제공합니다.
전시 제품
SEMICON Taiwan 2026에서 Renishaw는 반도체 제조 장비의 정밀 위치 피드백 및 모션 제어 응용을 위한 차세대 RLE 레이저 간섭계 엔코더 제품군인 RLE100, RLE200 및 RLE300을 선보일 예정입니다.
역량 및 제품
- 반도체 장비 레이저 간섭식 엔코더 시스템
- 고정밀 변위 및 위치 측정
- 정밀 위치 피드백 및 모션 제어 계측