基本情報
| ブース | R8112 |
| 国 | TW |
会社概要
Renishaw (Taiwan) Inc. は、Renishaw の台湾法人であり、半導体のウェハステージおよび検査用途向けに精密な位置フィードバック・計測製品を供給する。RLE 干渉式レーザーエンコーダ（RLE10 および RLE20）は、ウェハ検査向けに低周期誤差でナノメートルレベルの直線位置計測を提供し、RMAP ペリスコープは XY ウェハステージ用途で 6 自由度計測を可能にする。VIONiC インクリメンタル光学エンコーダは、ワイヤボンディング、ダイ配置、ウェハ検査・アライメントでの超微細モーション制御向けに 2.5 ナノメートル分解能までの内挿を提供し、精密ステージで用いられる QUANTiC、TONiC、ATOM、ATOM DX 光学エンコーダファミリも備える。半導体材料・故障解析向けには、MS30 高速光学エンコード式サンプルステージを備えたラマン分光システムを提供する。半導体ステージ、検査、材料解析向けの光学・レーザーエンコーダ、干渉式位置フィードバック、ラマン分光の供給企業として位置づけられる。
対応領域・製品
- 2.5 ナノメートル補間の VIONiC インクリメンタル光学エンコーダ
- MS30 光学エンコード試料ステージ搭載 Raman 分光システム
- RLE10 および RLE20 干渉レーザーエンコーダ
- XY ウェハステージ向け RMAP 6 自由度測定
- ウェハ検査向けナノメートルレベル線形位置測定
- 精密ステージ向け QUANTiC、TONiC、ATOM、ATOM DX 光学エンコーダ