基本資料
| 攤位 | R8112 |
| 國別 | TW |
公司簡介
Renishaw (Taiwan) Inc. 是 Renishaw 在台灣的實體，供應用於半導體晶圓平台與檢測應用的精密位置回授與量測產品。其 RLE 干涉式雷射編碼器（RLE10 與 RLE20）為晶圓檢測提供奈米級線性位置量測，並具低週期性誤差；其 RMAP 潛望鏡可在 XY 晶圓平台應用中實現六自由度量測。其 VIONiC 增量式光學編碼器提供細至 2.5 奈米解析度的內插，用於打線接合、晶粒置放、晶圓檢測與對位等超精細運動控制，並有用於精密平台的 QUANTiC、TONiC、ATOM 與 ATOM DX 光學編碼器系列。在半導體材料與失效分析方面，公司提供搭載 MS30 高速光學編碼樣品平台的拉曼（Raman）光譜系統。公司定位為半導體平台、檢測與材料分析用的光學與雷射編碼器、干涉式位置回授與拉曼光譜供應商。
能力與產品項目
- RLE10 與 RLE20 干涉式雷射編碼器
- RMAP 用於 XY 晶圓載台的六自由度量測
- 具 2.5 奈米內插的 VIONiC 增量式光學編碼器
- 搭載 MS30 光學編碼樣品載台的 Raman 光譜系統
- 用於晶圓檢測的奈米級線性位置量測
- 用於精密載台的 QUANTiC、TONiC、ATOM 與 ATOM DX 光學編碼器