기본 정보
| 부스 | N1067 |
| 국가 | DE |
| 웹사이트 | www.rena.com |
회사 소개
RENA Technologies GmbH 소개 RENA - 습식 공정의 기술. RENA Technologies는 습식 화학 공정 장비 분야의 세계적인 기술 선도 기업입니다. 고객이 최첨단 수준을 한 단계 더 높일 수 있도록 가장 가치 있고 혁신적인 습식 화학 솔루션을 제공합니다. 다양한 분야의 반도체 제품 생산을 위해 최고 품질의 유연한 고처리량 장비를 제조합니다. RENA 장비는 표준화된 장비와 보장된 공정 또는 완전 맞춤형 장비를 통해 에칭, 도금, 세정 및 건조 등 반도체 웨이퍼 표면 처리에 사용됩니다. 당사는 3개 생산 거점, 2개 혁신 허브를 보유하고 있으며 전 세계에 3.350대 이상의 장비를 설치했습니다. 고객이 완벽한 표면 품질을 달성할 수 있도록 가장 효율적인 공정을 지속적으로 개발하고 있습니다. 130명 이상의 엔지니어와 150명의 글로벌 서비스 전문가가 20개 서비스 거점에서 RENA 장비의 장기적인 성공을 위해 노력하고 있습니다. 자세한 내용은 https://www.rena.com 에서 확인하십시오.
전시 제품
당사의 수동 및 완전 자동 웨트 벤치는 반도체 소자의 소량 및 대량 생산에 이상적인 조건을 제공합니다. 습식 화학 에칭, 세정 및 건조 공정을 통합하여 전공정(FEOL) 및 후공정(BEOL) 애플리케이션을 지원합니다. 당사의 플랫폼은 고객의 생산 공정에 맞게 유연하게 조정할 수 있습니다. 생산 시퀀스에서 피라냐 용액을 이용한 침착물 제거, RCA 세정, hot phos 에칭 및 Marangoni 건조를 유연하게 조합할 수 있습니다. RENA는 고도 세정뿐 아니라 레이저 및 습식 복합 공정 기술을 위한 에칭 등 유리용 혁신 솔루션을 제공합니다. MedTech, 제약, 반도체 및 태양광 산업에서 축적한 폭넓은 전문성을 바탕으로 RENA는 하이엔드 유리 애플리케이션에 집중합니다.
역량 및 제품
- 웨이퍼 습식 화학 식각
- 웨이퍼 도금
- 웨이퍼 세정
- 웨이퍼 건조
- 수동 및 완전 자동 습식 워크벤치
- FEOL／BEOL 습식 공정 통합
- 피라냐 용액을 이용한 침전물 제거
- RCA 세정
- 열인산 식각
- Marangoni 건조
- 고급 유리 첨단 세정
- 레이저＋습식 공정 유리 식각