기본 정보
| 부스 | N1067 |
| 국가 | DE |
| 웹사이트 | www.rena.com |
회사 소개
RENA Technologies GmbH는 습식 화학 처리 장비를 개발·제조하며 반도체, MedTech, 유리, 재생에너지 분야에 유연성과 높은 처리량을 갖춘 시스템을 제공합니다. RENA 장비는 표준화된 장비와 보장된 공정 또는 완전 맞춤형 장비를 사용해 식각, 도금, 세정, 건조 방식으로 반도체 웨이퍼 표면을 처리합니다. 회사는 제조 거점 3곳, 혁신 허브 2곳, 전 세계 3,350대 이상의 설치 시스템을 보유하고 있으며 130명이 넘는 엔지니어, 150명의 글로벌 서비스 전문가, 20개의 서비스 거점을 운영합니다. RENA는 1993년에 설립되었고 직원 수를 900명으로 제시하며 전 세계 조직이 제조, 혁신, 서비스 자원을 습식 처리 장비와 공정 개발에 연결합니다. 블랙 포리스트 지역의 본사에서 Made in Germany 품질 표시를 갖춘 제품을 전 세계에 공급하고 Freiburg im Breisgau의 사내 실험실에서 제품 연구개발을 수행합니다. 전 세계 9개 자체 거점과 다수의 고객 서비스 센터를 통해 고객 생산 거점이 RENA와 멀리 떨어져 있어도 구매한 시스템에 대한 고객 서비스와 유지보수를 제공합니다. 또한 모듈식 장비와 제어 소프트웨어를 개발해 개별 공정 순서를 고객 요구에 맞게 구성하고 이를 추적성과 일관된 제품 품질에 연결합니다. 그린에너지 응용에서는 제어된 습식 화학 처리를 통해 공정 신뢰성과 웨이퍼 품질을 확보하며 최적화된 공정 체인은 세정, 에지 분리, 단면·양면 식각, 건조까지 포함합니다. MedTech 분야에서 RENA는 추적성과 완전 자동 공정 제어를 정해진 품질 및 청정도 요구에 맞는 반복 가능한 고정밀·고처리량 생산과 연결합니다. 맞춤형 생산 장비에서는 낮은 공간 요구, 고객 서비스 접근성, 유연한 제어 소프트웨어를 운용 특성으로 제시하고 전문팀이 장비 제작과 제어 소프트웨어 경험을 개별 공정 순서에 적용합니다. 회사는 직원 자격 및 지속 전문성 개발 프로그램도 운영하며 영업, 개발, 생산, 고객 서비스, 관리 직무 전반의 산업·국가 간 협업을 설명합니다. 최근 회사 정보는 유연성, 공정 신뢰성, 효율적인 습식 처리를 결합한 컴팩트한 Revolution+ 시스템 개념과 함께 장비 운송 준비 및 기술 개발·생산 운영에 연결된 지속가능성 활동도 소개합니다.
전시 제품
RENA Technologies GmbH는 반도체 소자의 소량 및 대량 생산을 위한 수동·완전 자동 습식 벤치를 제공하고 습식 화학 식각, 세정, 건조를 통합해 전공정(FEOL)과 후공정(BEOL)에 대응하며 하나의 습식 처리 범위에서 다양한 생산 규모를 지원합니다. 반도체 플랫폼은 생산 공정에 맞게 조정할 수 있으며 피라냐 용액을 이용한 침전물 제거, RCA 세정, 고온 인산 식각, Marangoni 건조를 생산 순서에 조합할 수 있고 대량생산, 연구용 전용 장비, 소량생산에서도 같은 유연성을 제공합니다. 태양광 제조 분야에서는 습식 화학 표면 처리 장비를 제공하며 세정과 에지 분리부터 단면·양면 식각 및 건조까지 공정 체인을 구성하고 monoTEX® 첨가제는 다이아몬드 와이어 및 슬러리 절단 웨이퍼의 정밀 텍스처링을 지원합니다. 전 세계 생산을 위해 인라인 및 배치 솔루션을 제공하고 개별 요구에 맞춰 조정할 수 있습니다. 의료기기와 부품 분야에는 복잡한 세정 및 습식 화학 표면 처리의 고도 자동화 솔루션을 공급하며 전해연마 스텐트나 광학 기판을 생산하는 장비에서 추적성과 완전 자동 공정 제어를 지원합니다. 의료 생산용 기계와 소프트웨어는 표준 또는 개별 솔루션으로 제공할 수 있으며 GMP와 GAMP 5 지침에 맞춰 개발됩니다. 고급 유리 응용에는 첨단 세정과 레이저·습식 처리 기술을 결합한 식각을 제공하고 MedTech, 제약, 반도체, 태양광 분야의 경험을 활용합니다. 맞춤형 습식 화학 생산 장비는 다양한 기판의 성형, 텍스처링, 세정에 사용되며 모듈식 장비 구조, 유연한 제어 소프트웨어, 개별 공정 순서 설계를 결합하고 고객의 구체적인 공정 요구에 맞춘 엔지니어링 구성과 장기적인 운용과 유지보수 요구까지 더욱 폭넓고 지속적으로 지원합니다. 장비 관련 서비스에는 예비 부품, 업그레이드, 서비스 수준 계약, 교육도 포함되어 전 세계 서비스 및 유지보수 네트워크를 보완합니다. RENA는 고객이 요구하는 표면 품질을 달성하기 위해 효율적인 공정을 지속적으로 개발하며 공정 최적화를 장비 납품에 그치지 않는 지속적인 엔지니어링 활동으로 봅니다. 회사는 최첨단 습식 처리 솔루션이라는 개념으로 사명을 설명하고 기업 문화를 창의성, 상상력, 비전, 혁신, 성과, 품질과 서비스의 지속적 개선에 연결합니다.
역량 및 제품
- 수동·완전자동 반도체 웻벤치
- FEOL/BEOL 습식 식각·세정·건조
- Piranha 용액 침착물 제거
- RCA 세정
- 열인산 식각
- Marangoni 건조
- 태양전지 웨이퍼 에지 격리 및 단/양면 식각
- monoTEX® 웨이퍼 정밀 텍스처링
- 의료기기 습식 세정 및 표면처리 장비
- 전해연마 스텐트 생산 장비
- 광학기판 습식 생산 장비
- 유리 레이저+습식 세정·식각
- 기판 성형·텍스처링·세정 장비