基本情報
| ブース | N1067 |
| 国 | DE |
| ウェブサイト | www.rena.com |
会社概要
RENA Technologies GmbHは湿式化学処理装置を開発・製造し、半導体、MedTech、ガラス、再生可能エネルギー向けに柔軟性と高スループットを備えたシステムを提供しています。RENAの装置は、標準化された機械と保証されたプロセス、または完全カスタム装置を用い、エッチング、めっき、洗浄、乾燥によって半導体ウェハー表面を処理します。3か所の製造拠点、2か所のイノベーションハブ、世界で3,350台を超える設置システムを有し、130人を超えるエンジニア、150人のグローバルサービス専門家、20か所のサービス拠点を配置しています。RENAは1993年創業で、従業員数は900人とされ、世界の組織が製造、イノベーション、サービスの資源を湿式処理装置とプロセス開発に結び付けています。黒い森地域の本社からMade in Germanyの品質表示を付した製品を世界へ展開し、Freiburg im Breisgauの社内ラボで製品の研究開発を行っています。世界に9か所の自社拠点と多数のカスタマーサービスセンターを設け、顧客の生産拠点がRENAの拠点から離れていても、購入済みシステムの専門的で継続的かつ安定した顧客サービスと保守に対応します。さらに、モジュール構造の機械と制御ソフトウェアを開発し、個別のプロセスシーケンスを顧客要件に合わせて構成するとともに、トレーサビリティと一貫した製品品質を支えます。グリーンエネルギー用途では、管理された湿式化学処理によってプロセス信頼性とウェハー品質を確保する考え方を示し、最適化された工程は洗浄、エッジ分離、片面・両面エッチング、乾燥までを含みます。MedTechでは、トレーサビリティと全自動プロセス制御を、所定の品質・清浄度要件に沿った再現性の高い高精度・高スループット生産に結び付けています。カスタム生産装置では、省スペース、カスタマーサービスへのアクセス、柔軟な制御ソフトウェアを運用上の特徴として挙げ、専門チームが機械製造と制御ソフトウェアの経験を個別工程に適用します。また、従業員向けの資格取得・継続専門能力開発プログラムを設け、営業、開発、生産、顧客サービス、管理部門にまたがる業界横断・国境横断のチームワークを説明しています。最近の会社情報では、柔軟性、プロセス信頼性、効率的な湿式処理を組み合わせたコンパクトなRevolution+のシステムコンセプトに加え、装置輸送準備や技術開発・生産活動に関わるサステナビリティの取り組みも紹介されています。
展示製品
RENA Technologies GmbHは、半導体素子の小規模・大規模生産向けに手動および全自動ウェットベンチを提供し、湿式化学エッチング、洗浄、乾燥を統合して前工程（FEOL）と後工程（BEOL）に対応します。 半導体プラットフォームは生産プロセスに合わせて調整でき、ピラニア溶液による堆積物除去、RCA洗浄、熱リン酸エッチング、Marangoni乾燥を生産シーケンスに組み込め、量産、研究用専用機、小規模生産でも同様の柔軟性を持ちます。 太陽光発電分野では湿式化学表面処理装置を提供し、洗浄とエッジ分離から片面・両面エッチング、乾燥までのプロセスチェーンを構成し、monoTEX®添加剤はダイヤモンドワイヤー切断およびスラリー切断ウェハーの精密テクスチャリングを支援します。 世界の生産向けにインライン方式とバッチ方式を提供し、個別要件に合わせて調整できます。 医療機器・部品向けには、複雑な洗浄と湿式化学表面処理の高度自動化ソリューションを供給し、電解研磨ステントや光学基板の生産設備でトレーサビリティと全自動プロセス制御に対応します。 医療生産用の機械とソフトウェアは標準仕様または個別仕様で提供でき、GMPおよびGAMP 5ガイドラインに準拠して開発されます。 高機能ガラス用途には、高度洗浄とレーザー・湿式処理技術を組み合わせたエッチングを提供し、MedTech、製薬、半導体、太陽光発電分野での経験を活用します。 カスタム湿式化学生産装置は各種基板の成形、テクスチャリング、洗浄に用いられ、モジュール機械構造、柔軟な制御ソフトウェア、個別プロセスシーケンスの設計を組み合わせます。 装置関連サービスには、スペアパーツ、アップグレード、サービスレベル契約、トレーニングも含まれ、世界的なサービス・保守網を補完します。 RENAは顧客が求める表面品質を実現するため、効率的なプロセスを継続的に開発し、プロセス最適化を装置納入だけで終わらない継続的なエンジニアリング活動として位置づけています。 同社は最先端の湿式処理ソリューションという考え方で使命を示し、企業文化を創造性、想像力、ビジョン、イノベーション、パフォーマンス、品質とサービスの継続的改善に結び付けています。
対応領域・製品
- 手動・全自動半導体ウェットベンチ
- FEOL／BEOL 湿式エッチング・洗浄・乾燥
- ピラニア溶液による堆積物除去
- RCA洗浄
- 熱リン酸エッチング
- Marangoni乾燥
- 太陽電池ウェハのエッジ分離・片面／両面エッチング
- monoTEX® ウェハ精密テクスチャリング
- 医療機器向け湿式洗浄・表面処理装置
- 電解研磨ステント生産装置
- 光学基板湿式生産装置
- ガラスのレーザー＋湿式洗浄・エッチング
- 基板成形・テクスチャリング・洗浄装置