기본 정보
| 부스 | N0184 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.reciftech.com |
회사 소개
반도체용 로봇 핸들링 장비. RECIF Technologies는 반도체 산업에서 40년 이상의 경험을 바탕으로 웨이퍼 핸들링 전문가로 인정받고 있습니다. 프랑스 남서부에서 완전 자동 대기압 핸들링 장비, 웨이퍼 소터 및 Equipment Front End Modules(EFEMs)를 설계, 제조 및 유통합니다. 전 세계 고객 만족을 위해 주요 전자산업 지역에 거점을 두어 고객과의 근접성을 확보하고 있습니다(미국, 아시아, 프랑스 본사). 업계 발전을 위해 협력 R&D 프로그램에 적극 참여하여 분야의 혁신에 기여하고 제품의 최고 수준 성능 및 청정도를 달성하고 있습니다. 표준 300mm 실리콘 웨이퍼부터 첨단 패키징 기판(3D-IC, TSV, FO-WLP)까지 가장 첨단 노드의 칩 제조를 지원합니다. 당사의 COMPACT & SMART 장비는 견고한 로보틱스와 오염 없는 핸들링으로 SEMI 표준 및 고객 요구사항을 충족하도록 설계되었습니다. RECIF Technologies는 Accuron Group의 일원입니다. 자세한 정보는 www.accuronindustrial.com을 참조해 주십시오. 소셜 링크 Linkedin https://fr.linkedin.com/company/recif-technologies Youtube 채널 https://www.youtube.com/@reciftechnologies9649
전시 제품
75~300mm 웨이퍼를 취급할 수 있는 다양한 소형 제품을 제공하며, 테이블탑 장비, 진공 핸들링 시스템(VHS), 열처리 공정용 개방형 금속 카세트로 구성됩니다. 당사의 기존 제품군 중 하나인 테이블탑 장비는 75~200mm 웨이퍼 핸들링용으로 설계되었으며, 이송 도구, 얼라이너 및 엘리베이터를 포함합니다. 유럽 파트너인 EMU Technologies와의 기술 라이선스 계약을 통해 수십 년간 현장에서 입증된 성능을 저해하지 않으면서 최신 설계를 제공합니다. 이 시스템은 Cognex 1741 Camera를 사용하며 웨이퍼의 활성면과 후면에 있는 Lasermarks 또는 Datamatrix Tags를 판독할 수 있습니다. 정렬 및 판독 전에 웨이퍼 매핑을 수행하여 웨이퍼 존재 여부와 교차 및/또는 이중 슬롯을 확인합니다. 25장 웨이퍼 배치를 판독하는 장비 사이클 타임은 카세트 매핑, 배치 정렬, 로트 내 각 웨이퍼 판독을 포함하여 2분입니다. VBT-A(Vertical Batch Transfer and Alignment machine)는 ESD 보호 기능을 갖춘 단일 스테이지 자동화 장비로, semi-standard 카세트 사이에서 웨이퍼 배치를 이송하고 노치 또는 플랫을 기준으로 웨이퍼 배치를 정렬합니다(Semi-standard 카세트와 Quartz Boats 사이에서도 사용 가능).
역량 및 제품
- 전자동 대기압 웨이퍼 핸들링 장비
- 웨이퍼 소터
- 장비 전단 모듈(EFEM)
- 75–300mm 웨이퍼 진공 이송 시스템
- 75–200mm 탁상형 웨이퍼 이송 장비
- 열 공정용 개방형 금속 카세트
- 웨이퍼 레이저 마킹/Datamatrix 판독
- 웨이퍼 카세트 슬롯 매핑 및 크로스 슬롯／더블 웨이퍼 검사