기본 정보
| 부스 | N0184 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.reciftech.com |
회사 소개
RECIF Technologies Taiwan Co., Ltd.는 반도체 제조용 로봇 핸들링 장비를 제공하며 40년 이상의 반도체 산업 경험을 바탕으로 웨이퍼 핸들링 전문성을 갖추고 있습니다. RECIF Technologies는 프랑스 남서부에서 웨이퍼 소터와 Equipment Front End Modules(EFEMs)를 포함한 완전 자동 대기압 핸들링 장비를 설계, 제조 및 유통합니다. 전 세계 고객과 가까운 지원 체계를 위해 미국과 아시아 등 주요 전자 산업 지역에 거점을 두고 본사는 프랑스에 있습니다. 반도체 산업 혁신에 기여하고 제품의 성능과 청정도를 높이기 위해 협업 R&D 프로그램에 적극 참여합니다. 취급 범위는 표준 300mm 실리콘 웨이퍼부터 3D-IC, TSV, FO-WLP용 첨단 패키징 기판까지 확대되어 첨단 노드의 칩 제조를 지원합니다. COMPACT 및 SMART 장비는 SEMI 표준과 고객 요구사항을 충족하도록 설계되며 견고한 로봇 기술과 청정 핸들링을 결합합니다. RECIF Technologies는 Accuron Group의 일원입니다. 제품 페이지에는 프랑스 Aussonne 본사, 대만 Hsinchu City, 미국 Wappingers Falls가 운영 거점으로 제시됩니다. 또한 민감한 환경용 웨이퍼 핸들링 장비 전문성과 고객 만족, 정밀 성능을 강조합니다.
전시 제품
RECIF Technologies Taiwan Co., Ltd.는 75~300mm 웨이퍼를 취급하는 소형 제품을 제공하며 탁상형 장비, 진공 핸들링 시스템(VHS), 열 공정용 개방형 금속 카세트를 포함합니다. 기존 탁상형 장비는 75~200mm 웨이퍼 핸들링용으로 설계되며 이송 도구, 얼라이너 및 엘리베이터를 포함합니다. 유럽 파트너 EMU Technologies와의 기술 라이선스 계약을 통해 수십 년의 현장 성능을 유지하면서 업데이트된 설계를 제공합니다. 한 시스템은 Cognex 1741 Camera를 사용해 웨이퍼의 활성면과 후면에 있는 Lasermarks 또는 Datamatrix Tags를 읽습니다. 웨이퍼는 정렬과 판독 전에 mapping되며 웨이퍼 존재 여부, cross slots 및 double slots를 확인합니다. 25장 웨이퍼 배치를 읽는 기계 사이클 시간은 2분이며 cassette mapping, 배치 정렬, 로트의 각 웨이퍼 판독을 포함합니다. VBT-A(Vertical Batch Transfer and Alignment machine)는 ESD 보호 기능을 갖춘 단일 스테이지 자동화 장비로 semi-standard cassettes 사이에서 웨이퍼 배치를 이송하고 notch 또는 flat 기준으로 정렬하며 semi-standard cassettes와 Quartz Boats 사이의 이송도 지원합니다. 더 넓은 기판 핸들링 포트폴리오는 직경 6”, 8”, 12”, 18”의 표준 실리콘 웨이퍼를 취급합니다. 또한 3D ICs, TSV wafers 및 warped wafers 같은 특수 기판도 지원합니다. RECIF는 수동 핸들링 라인부터 고도로 자동화된 Giga Fabs까지 IC 제조에 필요한 핸들링 기능을 제공합니다. 자동 핸들링 제품군에는 COMPACT sorters, SMART Sorters 및 EFEMs가 포함됩니다. 소형 제품군에는 150/200mm 탁상형 핸들러, 진공 핸들링 시스템 및 금속 카세트가 포함됩니다. 명시된 제품은 COMPACT Wafer Sorter, SMART Sorter, SMART EFEM, Tabletops, Vacuum Handling Systems 및 Metal Cassettes입니다.
역량 및 제품
- 완전자동 웨이퍼 소터
- EFEM 웨이퍼 프런트엔드 모듈
- 75–300mm 웨이퍼 핸들링 장비
- 웨이퍼 진공 핸들링 시스템(VHS)
- 열공정용 오픈 메탈 카세트
- 75–200mm 웨이퍼 이송·정렬·승강 장비
- 웨이퍼 LaserMark/DataMatrix 판독
- 웨이퍼 배치 자동 이송
- 웨이퍼 배치 notch/flat 정렬
- 3D IC/TSV/휜 웨이퍼 핸들링