基本資料
| 攤位 | N0184 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.reciftech.com |
公司簡介
RECIF Technologies Taiwan Co., Ltd. 從事半導體製造用機器人搬運設備，具備超過 40 年半導體產業經驗，並以晶圓搬運專業為核心。RECIF Technologies 在法國西南部設計、製造並經銷全自動常壓搬運設備，包括晶圓分類機與 Equipment Front End Modules（EFEMs）。為貼近全球客戶，公司在美國、亞洲等主要電子產業區域設有據點，總部位於法國。RECIF Technologies 積極參與協作式 R&D 計畫，以投入半導體產業創新並提升產品效能與潔淨度。其搬運範圍從標準 300mm 矽晶圓延伸至 3D-IC、TSV 與 FO-WLP 等先進封裝基板，支援先進節點的晶片製造。COMPACT 與 SMART 設備系列依 SEMI 標準與客戶需求設計，結合穩健的機器人機構與潔淨搬運。RECIF Technologies 隸屬 Accuron Group。 產品頁列出的營運地點包括法國 Aussonne 總部、台灣 Hsinchu City 與美國 Wappingers Falls。公司並將自身專長描述為敏感環境用晶圓搬運設備，著重客戶滿意與精準效能。
展出產品
RECIF Technologies Taiwan Co., Ltd. 提供適用於 75 至 300mm 晶圓搬運的小型產品，包括桌上型設備、真空搬運系統（VHS）與熱製程用開放式金屬卡匣。其傳統桌上型設備針對 75 至 200mm 晶圓搬運設計，包含傳輸工具、對準機與升降機。透過與歐洲合作夥伴 EMU Technologies 的技術授權協議，RECIF 提供更新設計，同時延續數十年的實際使用表現。其中一套系統使用 Cognex 1741 Camera，可讀取晶圓正面與背面的 Lasermarks 或 Datamatrix Tags。晶圓會在對準與讀取前先進行 mapping，並檢查晶圓是否存在、cross slots 與 double slots。讀取 25 片晶圓批次的機器循環時間為 2 分鐘，包含 cassette mapping、批次對準與逐片讀取。VBT-A（Vertical Batch Transfer and Alignment machine）是具 ESD 防護的單段自動化設備，可在 semi-standard cassettes 之間移轉整批晶圓，依 notch 或 flat 對準，也可在 semi-standard cassettes 與 Quartz Boats 之間移轉。RECIF 更完整的基板搬運產品組合可處理直徑 6”、8”、12” 或 18” 的標準矽晶圓。產品也支援 3D ICs、TSV wafers 與 warped wafers 等特殊基板。RECIF 涵蓋 IC 製造所需的搬運功能，從人工搬運產線到高度自動化 Giga Fabs 都可對應。自動搬運產品類別包括 COMPACT sorters、SMART Sorters 與 EFEMs。小型產品類別包括 150/200mm 桌上型搬運機、真空搬運系統與金屬卡匣。具名產品包含 COMPACT Wafer Sorter、SMART Sorter、SMART EFEM、Tabletops、Vacuum Handling Systems 與 Metal Cassettes。
能力與產品項目
- 全自動晶圓分類機
- EFEM 晶圓前端模組
- 75–300mm 晶圓搬運設備
- 晶圓真空搬運系統（VHS）
- 熱製程開放式金屬卡匣
- 75–200mm 晶圓傳輸對準升降設備
- 晶圓 LaserMark／DataMatrix 讀取
- 晶圓批次自動轉移
- 晶圓批次 notch／flat 對準
- 3D IC／TSV／翹曲晶圓搬運