基本情報
| ブース | N0184 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.reciftech.com |
会社概要
RECIF Technologies Taiwan Co., Ltd. は半導体製造向けロボットハンドリング装置を扱い、40 年を超える半導体業界経験を持つウエハハンドリングの専門企業です。RECIF Technologies はフランス南西部で、ウエハソーターや Equipment Front End Modules（EFEMs）を含む全自動大気圧ハンドリング装置を設計、製造、販売しています。世界の顧客に近い体制を整えるため、米国やアジアなど主要な電子産業地域に拠点を持ち、本社はフランスにあります。半導体業界の技術革新に貢献し、製品の性能と清浄度を高めるため、共同 R&D プログラムに積極的に参加しています。対応範囲は標準 300mm シリコンウエハから、3D-IC、TSV、FO-WLP 向け先進パッケージング基板まで広がり、先端ノードのチップ製造を支援します。COMPACT と SMART 装置は SEMI 規格と顧客要件に適合するよう設計され、堅牢なロボティクスとクリーンなハンドリングを組み合わせています。RECIF Technologies は Accuron Group の一員です。 製品ページでは、フランス Aussonne の本社、台湾 Hsinchu City、米国 Wappingers Falls が拠点として示されています。また、敏感環境向けウエハハンドリング装置を専門とし、顧客満足と精密な性能を重視すると説明しています。
展示製品
RECIF Technologies Taiwan Co., Ltd. は 75 から 300mm ウエハを扱う小型製品を提供し、卓上装置、真空ハンドリングシステム（VHS）、熱処理用オープンメタルカセットを含みます。従来型の卓上装置は 75 から 200mm ウエハハンドリング向けに設計され、搬送ツール、アライナ、エレベータを備えます。欧州パートナー EMU Technologies との技術ライセンス契約により、数十年にわたる実績を維持しながら更新設計を提供します。あるシステムでは Cognex 1741 Camera を使用し、ウエハのアクティブ面と裏面にある Lasermarks または Datamatrix Tags を読み取れます。ウエハはアライメントと読取り前にマッピングされ、ウエハ有無、cross slots、double slots を確認します。25 枚のウエハを読む機械サイクル時間は 2 分で、cassette mapping、バッチアライメント、ロット内の各ウエハ読取りを含みます。VBT-A（Vertical Batch Transfer and Alignment machine）は ESD 保護を備えた単一ステージ自動装置で、semi-standard cassettes 間でウエハバッチを移送し、notch または flat によって整列し、semi-standard cassettes と Quartz Boats 間の移送にも対応します。より広い基板ハンドリングポートフォリオは、直径 6”、8”、12”、18” の標準シリコンウエハに対応します。また 3D ICs、TSV wafers、warped wafers などの特殊基板も扱います。RECIF は手動ハンドリングラインから高度に自動化された Giga Fabs まで、IC 製造に必要なハンドリング機能をカバーします。自動ハンドリング製品には COMPACT sorters、SMART Sorters、EFEMs があります。小型製品には 150/200mm 卓上ハンドラ、真空ハンドリングシステム、メタルカセットがあります。名称付き製品には COMPACT Wafer Sorter、SMART Sorter、SMART EFEM、Tabletops、Vacuum Handling Systems、Metal Cassettes が含まれます。
対応領域・製品
- 全自動ウェハソーター
- Equipment Front End Modules（EFEMs）
- 75～300mm ウェハ搬送装置
- ウェハ真空搬送システム（VHS）
- 熱処理用オープンメタルカセット
- 75～200mm ウェハ搬送・アライメント・昇降装置
- ウェハ LaserMark／DataMatrix 読取り
- ウェハバッチ自動搬送
- ウェハバッチ notch／flat アライメント
- 3D IC／TSV／反りウェハ搬送