基本情報
| ブース | M0848 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.psk-inc.com |
会社概要
PSK Asia Inc. は、半導体プロセス装置企業 PSK Group の台湾拠点で、新竹を拠点に事業を行う。PSK はプラズマドライストリップ（フォトレジスト除去）のリーダーであり、そのプロセス装置は乾式・湿式エッチング、ストリップ、アッシングに及ぶ。公式の製品ラインには、ドライストリップ、ドライクリーニング、ハードマスクストリップ、ベベルエッチが含まれ、フォトレジスト除去、ドライクリーニング、関連するプラズマ・エッチングプロセス装置の供給企業として位置づけられる。
対応領域・製品
- dry cleaning プロセス装置
- hard-mask strip と bevel-etch 装置
- ドライおよびウェットエッチングプロセス装置
- プラズマ dry strip フォトレジスト剥離装置
- 剥離および ashing プロセス装置