基本資料
| 攤位 | M0848 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.psk-inc.com |
公司簡介
PSK Asia Inc. 是半導體製程設備公司 PSK Group 在台灣的據點，營運基地位於新竹。PSK 是電漿乾式去膜（plasma dry strip，即光阻去除）的領導者，其製程設備涵蓋乾式與濕式蝕刻、去膜與灰化（ashing）。官方產品線包括乾式去膜、乾式清洗、硬遮罩去膜與斜邊蝕刻（bevel-etch），定位為光阻去除、乾式清洗與相關電漿與蝕刻製程設備供應商。
能力與產品項目
- dry cleaning 製程設備
- hard-mask strip 與 bevel-etch 設備
- 乾式與濕式蝕刻製程設備
- 剝除與 ashing 製程設備
- 電漿 dry strip 光阻去除設備