기본 정보
| 부스 | L0122 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.premtek.com.tw |
회사 소개
Premtek International Inc.는 1988년에 설립되었으며 중화권의 반도체, OPTO, PCB 산업용 장비와 소모품을 취급하는 전문 판매 및 서비스 유통업체입니다. 회사는 고객과 공급업체에 부가가치를 제공하는 통합 서비스 제공업체로 자리매김하고 있으며 Hsinchu, Kaohsiung, Shanghai, Shenzen에 사무소를 두고 있습니다. 판매 및 서비스 포트폴리오에는 Premtek(CQT) 2"~12" Fully Auto Dual-Chambers RTP Systems, EPM 범용 및 고속 메모리 벤치 테스터, HANMI 후공정 조립 하우스용 종합 솔루션이 포함됩니다. 또한 STI 2D/3D IC 검사, 웨이퍼 소팅, 테이핑 시스템과 테스트 핸들러, S50 Versatile SOC tester, Nordson MARCH Plasma Cleaner, Plasma Etcher, R.I.E System이 포함됩니다. 추가 제품에는 Asymtek 고속 자동 디스펜싱 시스템과 Xandex의 Chip Probe 및 Wafer Test용 일회용 전기식 또는 공압식 잉크 카트리지가 있습니다.
전시 제품
Premtek International Inc.는 Rapid Thermal Processing(RTP) 퍼니스와 열전대 온도 측정 시스템을 포함한 열처리 장비를 제조하며, PMIC, Silicon Photonics, RF Communication, Power Devices 등의 칩 공정 장비에 대응하고 검증된 양산 실적을 보유합니다. 또한 R&D, 학술용, 소규모 생산라인용 실험실 솔루션과 반도체 및 광전자 산업용 전문 서비스를 제공합니다. 전문 RTP 장비는 SiC, Silicon, GaN, GaAs, InP를 지원하며 AI servers 및 Power Discrete, Micro LEDs와 CPO(CW lasers and photodiodes)를 포함한 광학 응용, Communication／RF 및 Power Amplifier, Automotive／Power Device 응용을 위한 솔루션을 제공합니다. 공정 응용에는 Ohmic／Schottky contact, 이온 주입 처리, 금속 실리사이드 형성, PBSG/PSG reflow, 도펀트 활성화, ITO 박막 활성화, 웨이퍼 제조가 포함됩니다. RTP 기능에는 8인치 및 6인치 웨이퍼 생산 지원, 완전 자동 웨이퍼 핸들링, 구성 가능한 SMIF 또는 Open cassette load port, atmospheric 및 Vacuum 공정 호환, 램프 어레이를 이용한 양면 가열이 포함됩니다. 시스템은 검증된 양산 성능, O2 < 1 ppm의 무산소 공정, 웨이퍼 균일도, 높은 웨이퍼 입출력 처리량, SECS/GEM 통신 준비, SEMI-S2/CE 표준 준수를 제공합니다. 완전 자동 RTP-1200A(S)는 GaAs/InP용 솔루션으로 6인치 이하 웨이퍼를 지원하는 어닐링 시스템이며 소형 웨이퍼 생산 요구에 맞게 설계되었습니다. RTP-1200A(SEC)는 SiC와 GaN에서 대규모 설치 기반을 갖춘 6~8인치 웨이퍼용 완전 자동 처리 시스템으로 SMIF Load Port 인터페이스를 갖추고 있으며, 아시아 화합물 반도체 산업의 생산능력 확장을 위해 광범위하게 설치되어 있습니다. 듀얼 챔버 RTP-2200A(SEC)는 Si 기반 이온 주입 확산 제어를 대상으로 하며 빠른 가열과 냉각으로 실리콘 확산 공정 제어를 개선하고 처리량과 생산능력을 높입니다. Premtek International Inc.는 소규모 생산라인, R&D, 공정 모니터링용 반자동 RTP 시스템도 제공하며 서로 다른 susceptor를 교체해 2~12인치 웨이퍼를 수용합니다. 대학, 실험실, R&D 센터용 Desktop RTP는 2~6인치 웨이퍼와 호환되는 비용 효율적인 완전 수동 시스템으로 전 세계 연구자의 요구에 맞게 설계되었습니다.
역량 및 제품
- RTP 급속 열처리로 제조
- 열전대 온도 측정 시스템 제조
- 반자동 RTP 시스템
- 메모리 벤치 테스터 판매 및 서비스
- 2D/3D IC 검사 및 웨이퍼 소팅 장비 판매·서비스
- 플라즈마 클리너·에처·RIE 장비 판매·서비스
- 고속 자동 디스펜싱 시스템 판매·서비스
- 칩 프로브/웨이퍼 테스트용 일회용 잉크 카트리지 공급