基本情報
| ブース | L0122 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.premtek.com.tw |
会社概要
Premtek International Inc. は 1988 年に設立され、中華圏の半導体、OPTO、PCB 産業向けに装置と消耗品を扱う専門的な販売・サービスディストリビューターです。同社は、顧客とベンダーに付加価値を提供する統合サービスプロバイダーとして自社を位置づけ、Hsinchu、Kaohsiung、Shanghai、Shenzen にオフィスを置いています。販売・サービスのポートフォリオには、Premtek(CQT) 2"~12" Fully Auto Dual-Chambers RTP Systems、EPM の汎用・高速メモリベンチテスター、HANMI の後工程組立工場向け総合ソリューションが含まれます。さらに、STI の 2D/3D IC 検査、ウエハソーティング、テーピングシステム、テストハンドラー、S50 Versatile SOC tester、Nordson MARCH の Plasma Cleaner、Plasma Etcher、R.I.E System を扱います。その他の製品には、Asymtek の高速自動ディスペンシングシステムと、Xandex の Chip Probe／Wafer Test 向け使い捨て電動または空気圧インクカートリッジがあります。
展示製品
Premtek International Inc. は、Rapid Thermal Processing（RTP）炉と熱電対温度測定システムを含む熱処理装置を製造し、PMIC、Silicon Photonics、RF Communication、Power Devices などのチッププロセス装置に対応し、量産実績を有します。また、研究開発、学術用途、小規模生産ライン向けのラボソリューションと、半導体・オプトエレクトロニクス産業向けの専門サービスを提供します。専門 RTP 装置は SiC、Silicon、GaN、GaAs、InP に対応し、AI servers と Power Discrete、Micro LEDs と CPO（CW lasers and photodiodes）を含む光学用途、Communication／RF と Power Amplifier、Automotive／Power Device の各用途向けソリューションを提供します。プロセス用途には、Ohmic／Schottky contact、イオン注入処理、金属シリサイド形成、PBSG/PSG reflow、ドーパント活性化、ITO 膜活性化、ウエハ製造が含まれます。RTP の機能には、8 インチおよび 6 インチウエハ生産への対応、全自動ウエハ搬送、SMIF または Open cassette load port の構成、atmospheric および Vacuum プロセスへの対応、ランプアレイによる両面加熱が含まれます。システムは量産実績、O2 < 1 ppm の無酸素処理、ウエハ均一性、高いウエハ搬入出スループット、SECS/GEM 通信対応、SEMI-S2/CE 規格への適合を備えます。全自動 RTP-1200A(S) は GaAs/InP 向けソリューションで、6 インチ以下のウエハに対応するアニールシステムとして小径ウエハの生産要件向けに設計されています。RTP-1200A(SEC) は SiC と GaN で大規模な導入実績を持ち、6～8 インチウエハに対応する全自動処理システムで、SMIF Load Port インターフェースを備え、アジアの化合物半導体産業における能力増強向けに広く設置されています。デュアルチャンバーの RTP-2200A(SEC) は Si ベースのイオン注入拡散制御向けで、急速加熱・冷却によってシリコン拡散プロセス制御を改善し、スループットと生産能力を高めます。Premtek International Inc. は、小規模生産ライン、研究開発、プロセス監視向けの半自動 RTP システムも提供し、異なる susceptor を交換することで 2～12 インチウエハに対応します。大学、研究室、研究開発センター向けの Desktop RTP は、2～6 インチウエハに対応するコスト効率の高い完全手動システムで、世界の研究者のニーズに対応するよう設計されています。
対応領域・製品
- RTP急速熱処理炉製造
- 熱電対温度測定システム製造
- 半自動RTPシステム
- メモリベンチテスタの販売・サービス
- 2D／3D IC検査・ウェハソーティング装置の販売・サービス
- プラズマ洗浄・エッチング・RIE装置の販売・サービス
- 高速自動ディスペンスシステムの販売・サービス
- チッププローブ／ウェハテスト用使い捨てインクカートリッジ供給