基本資料
| 攤位 | L0122 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.premtek.com.tw |
公司簡介
技鼎股份有限公司成立於 1988 年，是大中華地區半導體、OPTO 與 PCB 產業設備及耗材的專業銷售與服務代理商。公司將自己定位為整合型服務供應商，旨在為客戶與供應商創造附加價值，並在 Hsinchu、Kaohsiung、Shanghai 與 Shenzen 設有辦公室。其銷售與服務產品組合包括 Premtek(CQT) 2"~12" Fully Auto Dual-Chambers RTP Systems、EPM 通用型與高速記憶體 Bench Tester，以及 HANMI 後段組裝廠整體解決方案。產品組合也包括 STI 2D/3D IC 檢測、晶圓分類、編帶系統與 Test Handler、S50 Versatile SOC tester，以及 Nordson MARCH Plasma Cleaner、Plasma Etcher 與 R.I.E System。其他產品包括 Asymtek 高速自動點膠系統，以及 Xandex 用於 Chip Probe 與 Wafer Test 的一次性電動或氣動墨水匣。
展出產品
技鼎股份有限公司製造熱處理設備，包括快速熱處理（RTP）爐與熱電偶溫度量測系統，相關晶片製程設備涵蓋 PMIC、Silicon Photonics、RF Communication 與 Power Devices，並具備經驗證的量產實績。公司亦提供研發、學術與小型產線的實驗室解決方案，以及面向半導體與光電產業的專業服務。其專業 RTP 設備支援 SiC、Silicon、GaN、GaAs 與 InP，解決方案涵蓋 AI servers 與 Power Discrete、包含 Micro LEDs 與 CPO（CW lasers and photodiodes）的光學應用、Communication／RF 與 Power Amplifier，以及 Automotive／Power Device 應用。製程應用包括 Ohmic／Schottky contact、離子植入處理、金屬矽化物形成、PBSG/PSG reflow、摻雜活化、ITO 薄膜活化與晶圓製造。RTP 功能包括支援 8 吋與 6 吋晶圓生產、全自動晶圓搬送、可配置 SMIF 或 Open cassette load port、相容 atmospheric 與 Vacuum 製程，以及燈陣列雙面加熱。系統具備經驗證的量產效能、O2 < 1 ppm 的無氧製程、晶圓均勻性、高晶圓進出吞吐量、SECS/GEM 通訊準備，以及符合 SEMI-S2/CE 標準。全自動 RTP-1200A(S) 為 GaAs/InP 解決方案，支援 6 吋及以下晶圓的退火系統，針對小尺寸晶圓量產需求設計。RTP-1200A(SEC) 在 SiC 與 GaN 擁有大量裝機基礎，是支援 6 至 8 吋晶圓的全自動處理系統，配備 SMIF Load Port 介面，並透過廣泛現場安裝用於亞洲化合物半導體產能擴充。雙腔體 RTP-2200A(SEC) 針對矽基離子植入擴散控制，以快速升降溫改善矽擴散製程控制，同時提升吞吐量與產能。技鼎股份有限公司也提供用於小型產線、研發與製程監控的半自動 RTP 系統，可藉由更換不同 susceptor 支援 2 至 12 吋晶圓。面向大學、實驗室與研發中心的 Desktop RTP 為具成本效益的全手動系統，相容 2 至 6 吋晶圓，並以全球研究人員需求為設計對象。
能力與產品項目
- RTP 快速熱處理爐製造
- 熱電偶溫度量測系統製造
- 半自動 RTP 系統
- 記憶體 bench tester 銷售與服務
- 2D／3D IC 檢測與晶圓分選設備銷售與服務
- 電漿清洗／蝕刻／RIE 設備銷售與服務
- 高速自動點膠系統銷售與服務
- 晶片探針／晶圓測試拋棄式墨匣供應