기본 정보
| 부스 | K2029 |
| 국가 | DE |
| 웹사이트 | www.precitec-optronik.com |
회사 소개
Precitec Optronik GmbH는 비접촉 측정을 위한 센서와 광학 프로브를 제조하는 독일 기업입니다. CHRocodile© 제품군은 반도체, 소비자 전자, 공작기계, 유리 및 기타 산업 응용에서 비접촉 두께와 거리 측정에 사용됩니다. Precitec는 다양한 소재에서 인라인 및 오프라인 측정을 높은 정밀도와 초고속 측정 속도로 지원하며 측정 범위가 미세 스케일부터 센티미터까지 이어진다고 설명합니다. Precitec는 1971년에 설립되었으며 광학 센서와 측정 기술 분야에서 수십 년의 경험을 보유한다고 밝힙니다. 회사는 현장에서 35,000개가 넘는 시스템이 사용되고 있으며 산업용 3D 광학 센서를 정밀도, 견고성, 특정 사용자 요구에 맞춘 맞춤화로 설명합니다. 3D 계측 포트폴리오는 라인 센서, 멀티포인트 센서, 포인트 센서, 2D 카메라, 의료용 안구 추적 장치, OEM 센서 공급을 통해 거리, 두께, 광학 이미지 감지를 포괄합니다. Enovasense 통합은 레이저 기반 비접촉 코팅 두께 측정을 Precitec의 광학 3D 측정 포트폴리오에 추가하며 불투명하거나 나노미터 범위의 매우 얇은 코팅에도 포인트 및 면적 측정을 수행할 수 있게 합니다.
전시 제품
반도체 계측 분야에서 Precitec Optronik GmbH는 반도체 웨이퍼의 초정밀 측정과 분석을 위한 비파괴 광학 측정 기술을 제공하며 고해상도 3D 데이터를 이용해 회로 토포그래피를 자세히 검사합니다. CHRomatic 공초점 라인 센서 CHRocodile CLS는 가까이 배치된 최대 192개 측정점을 측정해 기존 포인트 센서보다 같은 시간에 더 넓은 영역을 광학 프로브로 커버합니다. CHRocodile 2 IT 시리즈는 웨이퍼, 접착제, 코팅의 두께를 고속 측정해 더 높은 반도체 처리량과 더 정확하고 반복 가능한 제품 품질을 지원합니다. 이 고속 도구는 CMP, 백그라인딩, 스핀 에칭 중 endpoint 두께를 in situ로 측정할 수 있고 광학 모니터링으로 반도체 공정 효율을 높이며 소재 낭비를 줄입니다. Precitec가 제시하는 반도체 검사 작업에는 TTV 측정, 다이 크랙, 범프 검사, bow와 warp, 웨이퍼와 포토마스크 정렬, 프로브 카드 검사, 다이싱, 웨이퍼 본딩이 포함됩니다. 항공우주 제조에서는 항공기 엔진과 구조 부품이 극한의 열적, 기계적, 환경적 스트레스에 노출되므로 정밀도, 신뢰성, 추적성이 중요하고 코팅과 핵심 변수를 생산 중 엄격하게 관리해야 한다고 설명합니다. 보호 및 기능 코팅, 표면 처리, 복잡한 형상은 측정과 품질 보증에 어려움을 주며 샘플 부품, 접촉식 방법, 후공정 검사는 공정 제어를 제한하고 스크랩이나 재작업 위험을 높일 수 있습니다. Precitec 3D Metrology는 생산 환경에서 직접 수행하는 비접촉 고정밀 검사를 위한 광학 및 광열 솔루션으로 이러한 조건에 대응합니다. 회사는 조기 공정 제어, 신뢰할 수 있는 두께 검사, 형상에 독립적인 측정이 일관된 품질을 지원하면서 효율과 추적성을 높일 수 있다고 설명합니다. Enovasense Point Sensor(PS)는 경화나 치밀화 전에 조기 비파괴 층 두께 측정을 수행해 더 이른 시점에 수정 조치를 취할 수 있게 하며 불량, 재작업, 사이클 시간을 줄이는 효과를 제시합니다. 항공기 엔진 부품의 열분사 코팅에서는 거칠고 다공성인 미세구조와 복잡한 터빈 형상으로 측정이 어려워 기존 검사가 생산을 중단시키고 실제 부품 상태에 대한 정보가 제한적인 파괴 단면 검사에 의존할 수 있다고 설명합니다. 3D 계측 제품군에는 Point Sensors, Line Sensors, Multipoint Sensors, Area Scan Sensors, Chromatic Line Scan Cameras, Medical Eyetracking devices가 포함됩니다. Enovasense 레이저 광열 기술은 코팅 내부와 아래의 결함을 감지하면서 코팅 두께 지도를 동시에 만들 수 있고 비파괴, 턴키 시스템, 기존 생산 라인에 쉬운 통합, 모든 유형의 코팅 사용 가능으로 설명됩니다. 회사는 가볍고 통합하기 쉬우며 모든 유형의 코팅에 사용할 수 있고 고정밀과 반복성을 갖는 차세대 laser photothermal probe도 제시합니다. 초고속 스캐너는 짧은 사이클 시간을 위해 제공되며 추가 축이나 정밀 하드웨어 없이 한 번의 스캔으로 웨이퍼 bow, warp, TTV를 측정할 수 있습니다. 차세대 3D 공초점 라인 센서는 다양한 측정 작업에 고속과 높은 정밀도를 제공하며 shadowing이 없는 것으로 제시됩니다. CHRocodile Mini는 소형 공초점 센서로 다양한 소재의 비접촉 변위, 두께, 거리 측정에 사용되고 굽은 표면, 고르지 않은 표면, 거친 표면도 측정하며 서로 다른 요구에 맞는 프로브를 제공합니다. 다른 광학 프로브 특성에는 다양한 표면과 소재 대응, shadowing 없음, 인라인 측정 적합성, 큰 각도 측정, 초고속 작동, 넓은 측정 범위가 포함됩니다. 동기 측정용 구성 가운데 하나는 완전히 동기화된 두 개의 측정 채널로 양면을 동시에 검사하고 두께, 단차 높이, 다층 두께를 정밀하게 측정합니다. 다른 멀티포인트 구성은 최대 24개 동시 측정 채널을 지원하며 포인트 및 라인 프로브를 유연하게 선택하고 대면적 측정 작업을 위한 확장 가능한 멀티포인트 아키텍처를 제공합니다. 제품군에는 한 번의 측정 과정에서 여러 품질 파라미터를 동시에 수집하고 프로브를 유연하게 배치하며 초정밀 인라인 품질 관리와 높은 횡방향 해상도를 제공하고 인라인 측정을 위한 90° 버전을 사용하는 구성도 포함됩니다. 전체적으로 반도체 및 3D 계측 제품은 비접촉 두께와 거리 측정, 미세 스케일부터 센티미터까지의 측정 범위, 생산 중 비접촉 고정밀 검사, 비파괴 코팅 두께 측정을 인라인 통합 옵션과 연결합니다.
역량 및 제품
- 반도체 웨이퍼 비접촉 광학 계측
- 범프 검사
- 웨이퍼/포토마스크 정렬 계측
- 프로브 카드 검사
- 웨이퍼 본딩 검사
- 레이저 광열 코팅 두께 측정
- 3D 공초점 라인 센서 계측
- 동기화 2채널 양면 동시 측정