基本情報
| ブース | M0856 |
| 国 | DE |
| ウェブサイト | www.planoptik.com |
会社概要
PLANOPTIK AGは、ガラス、石英、ガラス・シリコン複合材料のウェハを製造するドイツの公開会社で、主力製品にはMEMS、wafer-level packaging、半導体用途向けのガラス、溶融石英、ガラス・シリコン複合材料製ウェハおよびプロセスキャリアが含まれます。ウェハは非常に厳しい厚さ公差と総厚さ変動で加工され、基板とキャリアはサブナノメートル粗さと半導体材料に合わせた熱膨張係数を持つ材料を特徴とし、すべてのウェハはクリーンルームで包装され、直径は50～300 mm、代表的な厚さは100～3000 micronです。PLANOPTIK AGは、MEMSおよび半導体産業向け高性能基板の標準を築いてきたとしています。PLANOPTIK AGは、最先端チップやプロセッサを小さな空間に統合する製品、高性能センサー、現代医療・製薬向けのガラスベースのマイクロ流体など、次世代マイクロシステム工学にガラス技術を活用しています。光学をルーツとする同社は、ガラスをサブナノメートル領域の表面寸法まで研磨し、数百万個の機能性微細構造を形成し、シリコンや銅などの材料で強化してマイクロコンポーネントや部品を製造します。ウェハおよびパネルベースの製造プロセスは40か国超の顧客・パートナー向け大量生産を支え、PLANOPTIK AGは顧客と共同で新製品を開発し、技術を顧客製品へ統合し、ウェハ、マイクロ部品、コンポーネントの長期的な継続生産も支援します。同社は顧客とともに、ガラス、シリコン、銅などの材料を用いた電子、機械、光学、化学、生物系のマイクロコンポーネントを開発し、共同開発したマイクロコンポーネントや要素をウェハベースのプロセスで大量生産します。PLANOPTIK AGはISO 9001認証を取得し、OEMの認定サプライヤーであるとしています。環境マネジメントはISO 14001の要件を満たし、入荷、生産、保管、出荷まで環境負荷を最小化する対策を講じており、同社は世界的な販売活動を行い国際企業の生産現場へ直接供給する中規模ハイテク企業とも説明しています。
展示製品
PLANOPTIK AGは、ウェハおよびパネルレベルで製品を開発・製造する技術を提供し、直径最大300 mmのガラスまたは石英ウェハに高精度な表面品質、用途別の構造化、複雑な材料組み合わせを施し、パネルやマイクロ流体デバイスの加工にも対応します。ガラス構造化では、必要な特徴寸法、形状、深さ、表面品質に応じて、比較的大きな構造やキャビティ向けのサンドブラスト、柔軟かつ精密な材料改質向けレーザー加工、平滑で高精度な微細構造向け化学エッチング、高精度な複雑3次元形状向けレーザーエッチングを使い分け、機能性形状と精密形状を形成します。製品には、先端パッケージング向けGlass Core Substratesと、3-D integration向けthrough-glass viasおよびメタライゼーション付きガラス基板が含まれます。PLANOPTIK AGはwafer-level packaging向けウェハと、MEMSおよびセンサー封止向けのカスタムウェハ・パネルを供給します。製品群にはcarrier wafers、adapters、toolsも含まれ、個々の生産プロセスに合わせた工具を提供します。コンポーネントにはノズル、アンテナ、誘導コイルに加え、診断、バイオテクノロジー、医療技術、製薬用途向けの微細構造部品があります。PLANOPTIK AGはさらに、化学・製薬プロセス向けのガラス製マイクロリアクター、マイクロミキサー、マイクロドージングポンプを含むフローケミストリー向けマイクロ流体システムと、ガラス、石英、シリコン製の標準またはカスタムウェハを供給します。
対応領域・製品
- ガラス・石英・ガラスシリコン複合材ウェハ製造
- MEMS・WLP・半導体向けプロセスキャリア
- 先端パッケージング向けガラスコア基板
- TGV・メタライゼーション付きガラス基板
- wafer-level packaging向けウェハ
- MEMS・センサー封止向けカスタムウェハ／パネル
- フローケミストリー向けマイクロ流体システム