기본 정보
| 부스 | I2822 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.pi.ws |
회사 소개
PI Group은 폭넓고 깊이 있는 정밀 모션 기술 포트폴리오를 제공하며 신제품과 신기술 개발을 통한 지속적인 성장을 주요 특징 중 하나로 제시합니다. Physik Instrumente (PI)는 40여 년 전에 설립되었으며 서브나노미터 범위의 정확도를 제공하는 정밀 포지셔닝 기술 분야의 세계적인 시장 및 기술 선도 기업으로 소개됩니다. PI Ceramic은 1992년 Lederhose에서 압전 변환기 개발 및 제조 거점으로 설립되었고 현재 200명을 고용하며 압전 액추에이터와 센서 분야의 세계 선도 기업 중 하나로 소개됩니다. PI miCos는 1990년에 설립되고 2011년에 PI Group에 합류했으며 현재 60명이 넘는 직원을 두고 전 세계 고정밀 응용 분야용 시스템과 구성품을 개발, 생산 및 판매합니다.
전시 제품
PI의 고속 스티어링 미러는 궤도에서 레이저 통신 링크의 획득, 추적 및 안정화를 지원합니다. 구성 가능한 X-365 Precision XY Gantry System은 반복 가능한 서브미크론 포지셔닝을 제공합니다. PI는 실험실 응용과 과학 계측용 포지셔닝 솔루션을 제공하며 6D NanoCube®는 포토닉스 및 실리콘 포토닉스에서 광학 소자와 광섬유를 정밀하게 위치시키도록 설계되었습니다. X-417 Integrated Multi-Axis는 높은 신뢰성과 산업용 수준의 유연성을 결합합니다. 반도체 제조용으로 PI는 포토마스크 생산, 웨이퍼 절단, DUV 및 EUV 리소그래피, 나노임프린트 리소그래피, 웨이퍼 및 마스크 검사, 웨이퍼 계측, 웨이퍼 프로빙, 레이저 웨이퍼 다이싱, 후공정의 다이 및 와이어 본딩, 패키징, 칩 테스트와 다이 부착을 위한 고정밀 모션 및 제어 솔루션을 제공합니다. PI는 실제 생산 공정 외에도 기술 개발, 장비 적격성 평가, 마스크 수리 및 테스트 프로브 카드 생산을 위한 포지셔닝 솔루션을 제공합니다. 이러한 반도체 응용에는 구성품을 나노미터 및 서브나노미터 정밀도와 높은 동특성으로 이동시키거나 오랜 시간 동안 위치를 정밀하게 유지할 수 있는 모션 기술이 사용됩니다. PI는 압전 기술과 나노포지셔닝 분야의 50년 경험을 센서, 압전 액추에이터, 시스템과 모터, 선형 모터 구동 에어베어링 모션 시스템, 컨트롤러, 드라이브 모듈, 소프트웨어 및 펌웨어와 결합합니다. ACS의 EtherCAT® 기반 모션 컨트롤러 및 드라이브 솔루션은 지능형 갠트리 제어와 서브나노미터 정지 지터용 서보 제어를 포함해 복잡한 다축 시스템을 유연하고 고정밀로 제어합니다. PI는 또한 폭넓은 고정밀 모션 및 제어 기술, 높은 수직 통합 제조, 장기 신뢰성, Copy Exactly Strategy, 현장 지원, 맞춤형 서비스 수준 협약, EUV 요구사항을 고려한 ISO 5 클린룸 제조와 대규모 특허 포트폴리오를 제시합니다. PI는 설계 단계부터 반도체 장비 제조업체와 협력해 현재 요구사항과 미래 기술 노드를 지원할 솔루션을 선택하며 개별 서비스 수준 협약과 글로벌 서비스 허브를 통해 신속한 대응과 신뢰할 수 있는 공정 성능을 지원합니다. PI는 리소그래피를 웨이퍼 공정의 결정적인 단계로 보고 측정 및 검사를 최종 제품 품질, 신뢰성 및 칩 생산 수율을 지원하기 위해 제조의 핵심 지점에서 필요한 공정으로 설명합니다.
역량 및 제품
- 서브나노미터 정밀 포지셔닝 기술
- 피에조 액추에이터·센서
- 레이저 통신 고속 조향 미러
- 서브마이크론 XY 갠트리 포지셔닝 시스템
- 광학 소자·광섬유 정밀 포지셔닝
- 포토마스크 제조 정밀 모션 제어
- DUV/EUV 리소그래피 정밀 포지셔닝
- 웨이퍼·마스크 검사 포지셔닝
- 웨이퍼 CD·Overlay·막두께 계측 포지셔닝
- 웨이퍼 프로빙 포지셔닝
- 레이저 웨이퍼 다이싱 포지셔닝
- Die/Wire Bonding·패키징 포지셔닝
- 리니어 모터 구동 에어베어링 모션 시스템
- EtherCAT® 모션 컨트롤러·드라이브