基本資料
| 攤位 | I2822 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.pi.ws |
公司簡介
PI Group 提供廣泛且深入的精密運動技術產品組合，並將透過新產品與新技術開發帶動的持續成長視為其主要特色之一。Physik Instrumente (PI) 創立於四十多年前，現被描述為精密定位技術領域的全球市場與技術領導者，精度可達次奈米範圍。PI Ceramic 於 1992 年在 Lederhose 成立，作為壓電換能器的開發與製造據點，目前有 200 名員工，並被描述為壓電致動器與感測器領域的全球領導者之一。PI miCos 於 1990 年成立，2011 年加入 PI Group，目前有超過 60 名員工，面向全球開發、生產與銷售高精度應用的系統與元件。
展出產品
PI 的快速轉向反射鏡可用於在軌雷射通訊鏈路的擷取、追蹤與穩定。可組態的 X-365 Precision XY Gantry System 提供可重複的次微米定位。PI 提供實驗室應用與科學儀器的定位解決方案，其中 6D NanoCube® 用於光子學與矽光子應用中的精確光學元件與光纖定位。X-417 Integrated Multi-Axis 結合高可靠度與工業級彈性。針對半導體製造，PI 提供高精度運動與控制解決方案，應用涵蓋光罩製造、晶圓切割、DUV 與 EUV 微影、奈米壓印微影、晶圓與光罩檢測、晶圓量測、晶圓探測、雷射晶圓切割，以及後段的晶粒與打線接合、封裝、晶片測試與晶粒貼附。PI 也提供實際生產流程以外的定位解決方案，包括技術開發、工具認證、光罩修復與測試探針卡製作。這些半導體應用使用可讓元件以奈米甚至次奈米精度與高動態移動，或長時間精確保持位置的運動技術。PI 將 50 年壓電技術與奈米定位經驗結合感測器、壓電致動器、系統與馬達、搭配線性馬達驅動的氣浮運動系統、控制器、驅動模組、軟體與韌體。ACS 的 EtherCAT® 運動控制器與驅動解決方案可彈性且高精度地控制複雜多軸系統，包括智慧型龍門控制與次奈米靜止抖動的伺服控制。PI 亦強調廣泛的高精度運動與控制技術、高垂直整合製造、長期可靠度、Copy Exactly Strategy、現場支援、客製服務層級協議、考量 EUV 要求的 ISO 5 無塵室製造，以及大型專利組合。PI 從設計階段即與半導體設備製造商合作，選擇可滿足現有需求並支援未來技術節點的方案，同時透過個別服務層級協議與全球服務中心支援快速回應及可靠製程表現。PI 將微影視為晶圓製程中的關鍵步驟，並將量測與檢測視為製造關鍵點的必要流程，以支援最終產品的品質、可靠度與晶片生產良率。
能力與產品項目
- 次奈米精密定位技術
- 壓電致動器與感測器
- 雷射通訊快速轉向鏡
- 次微米 XY 龍門定位系統
- 光學元件與光纖精密定位
- 光罩製作精密運動控制
- DUV／EUV 微影精密定位
- 晶圓與光罩檢測定位
- 晶圓 CD／Overlay／膜厚計量定位
- 晶圓探針測試定位
- 雷射晶圓切割定位
- Die／Wire Bonding 與封裝定位
- 線性馬達氣浮運動系統
- EtherCAT® 運動控制器與驅動器