基本情報
| ブース | I2822 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.pi.ws |
会社概要
PI Groupは、幅広く奥行きのある精密モーション技術の製品群を提供し、新製品と新技術の開発による継続的な成長を主要な特徴の一つとしています。Physik Instrumente (PI)は40年以上前に設立され、サブナノメートル領域までの精度を持つ精密位置決め技術分野の世界的な市場・技術リーダーとされています。PI Ceramicは1992年にLederhoseで圧電トランスデューサの開発・製造拠点として設立され、現在200人を雇用し、圧電アクチュエータとセンサ分野の世界的リーダーの一社とされています。PI miCosは1990年に設立され、2011年にPI Groupへ加わり、現在60人を超える従業員を擁し、世界各地の高精度用途向けシステムとコンポーネントを開発、生産、販売しています。
展示製品
PIの高速ステアリングミラーは、軌道上のレーザー通信リンクの捕捉、追跡、安定化を可能にします。構成可能なX-365 Precision XY Gantry Systemは、再現性のあるサブミクロン位置決めを提供します。PIは研究室用途と科学計測機器向けの位置決めソリューションを提供し、6D NanoCube®はフォトニクスおよびシリコンフォトニクスで光学素子とファイバーを精密に位置決めするために設計されています。X-417 Integrated Multi-Axisは、高い信頼性と産業グレードの柔軟性を組み合わせています。半導体製造向けに、PIはフォトマスク製造、ウェハ切断、DUV・EUVリソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィ、ウェハ・マスク検査、ウェハ計測、ウェハプロービング、レーザーによるウェハダイシング、後工程のダイ・ワイヤボンディング、パッケージング、チップテスト、ダイアタッチに高精度モーション・制御ソリューションを提供します。PIは実際の生産工程以外にも、技術開発、ツール認定、マスク修復、テストプローブカード製造向けの位置決めソリューションを提供します。これらの半導体用途では、ナノメートルからサブナノメートル精度と高いダイナミクスで部品を動かしたり、長時間にわたり位置を精密に保持したりできるモーション技術が使われます。PIは圧電技術とナノポジショニングでの50年の経験を、センサ、圧電アクチュエータ、システムとモータ、リニアモータ駆動のエアベアリングモーションシステム、コントローラ、ドライブモジュール、ソフトウェア、ファームウェアと組み合わせています。ACSのEtherCAT®ベースのモーションコントローラおよびドライブソリューションは、インテリジェントガントリ制御やサブナノメートル静止ジッタ向けサーボ制御を含む複雑な多軸システムを、柔軟かつ高精度に制御します。PIはまた、幅広い高精度モーション・制御技術、高い垂直統合度の製造、長期信頼性、Copy Exactly Strategy、オンサイトサポート、カスタムSLA、EUV要件を考慮したISO 5クリーンルーム製造、大規模な特許ポートフォリオを挙げています。PIは設計段階から半導体装置メーカーと連携して現在の要件と将来の技術ノードに対応するソリューションを選定し、個別SLAとグローバルサービスハブにより迅速な対応と信頼できるプロセス性能を支援します。PIはリソグラフィをウェハ処理の決定的な工程と位置づけ、測定と検査を製造上の重要ポイントで最終製品の品質、信頼性、チップ生産歩留まりを支えるために必要な工程としています。
対応領域・製品
- サブナノメートル精密位置決め技術
- ピエゾアクチュエータ・センサー
- レーザー通信高速ステアリングミラー
- サブミクロン XY ガントリー位置決めシステム
- 光学素子・光ファイバー精密位置決め
- フォトマスク製造用精密モーション制御
- DUV／EUV リソグラフィ精密位置決め
- ウエハー・マスク検査位置決め
- ウエハー CD・Overlay・膜厚計測位置決め
- ウエハープロービング位置決め
- レーザーウエハーダイシング位置決め
- Die／Wire Bonding・パッケージング位置決め
- リニアモータ駆動エアベアリングモーションシステム
- EtherCAT® モーションコントローラ・ドライブ