基本情報
| ブース | J2840 |
| 国 | TW |
| 製品カテゴリ | Space simulation; Vacuum chambers · Vacuum drying & out gassing Systems · Leak Detection Systems - Vacuum or Gas · Pumps, Vacuum · Measurement and Control Technology |
| ウェブサイト | www.pfeiffer-vacuum.com |
会社概要
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutionsは、PVD、CVD、リソグラフィ、エッチング、イオン注入プロセス、ならびにバックエンド用途を含むアプリケーション向けに、ターボ分子真空ポンプ、ドライ真空ポンプ、測定機器を供給しています。検査および計量用途には、低振動の真空ソリューションを提供します。さらに、リークディテクタや汚染管理用システムも提供しています。Pfeifferはフランジ、バルブ、継手、チャンバー、ならびにカスタム部品も製造しています。PfeifferはBusch Groupの一員であり、同グループは真空ポンプ、真空システム、ブロワー、コンプレッサー、ガス除害システムの世界最大級のメーカーの一つです。グループ傘下には、Busch Vacuum SolutionsとPfeiffer Vacuum+Fab Solutionsという2つの著名なブランドがあります。
対応領域・製品
- PVD、CVD、リソグラフィ、エッチ、インプラントプロセス向け測定装置
- ターボ分子真空ポンプ
- ドライ真空ポンプ
- 検査および計測向け低振動真空ソリューション
- 汚染管理向けリークディテクターおよびシステム
- 真空フランジ、バルブ、継手、チャンバー