基本資料
| 攤位 | J2840 |
| 國別 | TW |
| 產品分類 | Space simulation; Vacuum chambers · Vacuum drying & out gassing Systems · Leak Detection Systems - Vacuum or Gas · Pumps, Vacuum · Measurement and Control Technology |
| 網站 | www.pfeiffer-vacuum.com |
公司簡介
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 提供渦輪分子真空泵、乾式真空泵與量測設備，應用於 PVD、CVD、微影、蝕刻與離子佈植製程，以及後段（back-end）應用。針對檢測與計量，我們提供低振動的真空解決方案。此外，我們亦提供洩漏偵測器與污染管理系統。Pfeiffer 同時製造法蘭、閥件、接頭與腔體，以及客製化元件。Pfeiffer 隸屬於 Busch Group，後者是全球最大的真空泵、真空系統、鼓風機、壓縮機與氣體削減（gas abatement）系統製造商之一。在其旗下，集團擁有兩大知名品牌：Busch Vacuum Solutions 與 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions。
能力與產品項目
- 乾式真空幫浦
- 污染管理用測漏儀與系統
- 渦輪分子真空幫浦
- 用於 PVD、CVD、lithography、etch 與 implant 製程的量測設備
- 用於檢測與量測的低振動真空解決方案
- 真空法蘭、閥件、接頭與腔體