基本情報
| ブース | N0033 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | www.dalton.co.jp |
会社概要
株式会社ダルトンは、半導体装置を研究開発からさまざまな生産規模の専用機まで提供しています。既存の装置、仕様にこだわらず、ウエハーや用途に応じた特注設計を実現します。東京都墨田区に位置するテストセンターには、剥離、洗浄の工程をバッチ式、枚葉式でテストできる環境が整っており、当社スタッフと一緒に様々な処理条件を試すことができます。半導体装置事業は RESEARCH PHASE から MASS PRODUCTION LEVEL までを対象とし、Tokyo Test Center には装置評価と選定に利用できる各種テスト機を備えています。2020.11.04 には Dalton Semiconductor Equipments English site が公開されています。
展示製品
廃棄物を資源に変えるバイオマス技術を使用した炭化装置や、半導体を環境にやさしいオゾンで浄化する装置を取り扱っています。オプションとしてオゾン水洗浄機能を利用できます。混合比を調整すると、反応熱を目的の温度まで上昇させることができ、この機能はオプションのオゾン水洗浄機能とともに装置機能として提供されます。半導体製品ラインには lift-off equipment があり、lift-off equipment Options も同じ半導体装置範囲の別項目として含まれます。Organic peeling and cleaning equipment は、剥離と洗浄が必要な半導体工程向けの装置です。Etching（cleaning）equipment には jig cleaning と silica tube cleaning equipment が含まれます。Porous silicon formation equipment も扱い、同じカテゴリーに anode oxidation equipment が示されています。その他の装置として Chemical supply／collecting equipment と Solvent Recyclers があります。これらの装置は研究開発から各種生産規模の専用機までのニーズを対象とします。装置選定の流れには safety measures と test machine lineup があり、Tokyo Test Center で評価できます。剥離・洗浄のテスト環境はバッチ式と枚葉式の両方に対応し、一つの搬送方式だけに限定しません。顧客は株式会社ダルトンのスタッフとともに処理条件を変えて試験でき、装置選定と実プロセス評価を結び付けられます。特注設計はウエハー条件と用途の両方に応じて行い、既存の標準仕様に制約されません。洗浄用途では、通常の半導体剥離・洗浄装置、オゾンを用いた半導体浄化装置、オプションのオゾン水洗浄機能を同じ提供範囲に含みます。資源回収用途では、バイオマス技術を用いる炭化装置を廃棄物から資源への転換に利用します。株式会社ダルトンは、装置供給、プロセステスト、用途別の特注設計を研究初期から量産レベルまでつなげて提供します。
対応領域・製品
- リフトオフ装置
- 有機剥離・洗浄装置
- エッチング・洗浄装置
- 治具・石英管洗浄装置
- 多孔質シリコン形成装置
- 陽極酸化装置
- 薬液供給・回収装置
- 溶剤リサイクラー
- オゾン水洗浄機能
- ウエハー・用途別の特注装置設計