基本情報
| ブース | N1062 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.onano-nm.com |
会社概要
ONANO INDUSTRIAL CORP. は 2004 年に設立され、台湾初の専門的な光電子ガラス薄板化製造サービス会社と自社を説明しています。設立以来、光電薄板化ガラスの研究、開発、製造サービスに注力し、精密ガラス加工を中心にサービス範囲を構築してきました。顧客向けに TGV、すなわち glass core 関連サービスも開発し、光電子ガラス加工から半導体基板関連用途へ事業を広げています。TGV 構造について、高アスペクト比の穴を得るには高選択性のエッチングプロセスが必要であると説明しています。ガラスの種類によっては酸エッチングだけで十分な場合もありますが、多くの場合、酸性エッチングは速度が速すぎて要求結果を満たさないとしています。酸エッチングが速すぎると、選択性が低くなり、高アスペクト比を達成できず、テーパー角が大きくなる可能性があります。これらの課題に対して、酸性・アルカリ性媒体を組み合わせた最適化エッチングプロセスを提供し、非常に高い選択性を維持しながらプロセス時間を短くすることを目指します。TGV のパネル処理では 300 x 300 mm、510 x 515 mm、620 x 750mm のフォーマットに対応します。プロセス技術と生産能力は業界内で強い位置にあり、ガラスエッチングの歩留まりと品質が顧客から高く評価されているとしています。主なサービスには化学エッチング、機械研削などの表面加工と、Thinning、Polishing、Via Etching を含むガラス基板ソリューションがあります。2019 年に半導体基板関連技術への投資を開始し、低温同時焼成セラミックス（LTCC）を異種集積の実現可能なソリューションとして応用しました。AlN 基板プロセスも開発し、Green Sheet と熱伝導率 170W/mk 超の ceramic 材料を生産できるとしています。
展示製品
ONANO INDUSTRIAL CORP. は精密光電子 TFT-LCD、OLED、太陽電池用途のガラス薄板化について、開発と量産製造を提供します。光電子ガラス薄板化にはエッチングとガラス基板研磨加工が含まれ、既存のガラス加工技術を量産製造へつなげています。半導体関連ガラス基板では、化学エッチング、機械研削、Thinning、Polishing、Via Etching までを表面加工・ガラス基板サービスとして提供します。TGV では高選択性の酸性・アルカリ性最適化エッチングと、300 x 300 mm、510 x 515 mm、620 x 750mm のパネル処理に対応します。異種集積と先端基板向けには LTCC 基板技術、Green Sheet、熱伝導率 170W/mk 超の AlN ceramic substrate 生産も挙げています。
対応領域・製品
- TFT-LCD／OLED／太陽電池ガラス薄化加工
- ガラス基板研磨加工
- TGV パネル製造（300×300／510×515／620×750mm）
- 化学エッチング・機械研削表面加工
- AlN 基板 Green Sheet・>170W/mk セラミックス製造