基本資料
| 攤位 | N1062 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.onano-nm.com |
公司簡介
悅城科技股份有限公司成立於 2004 年，並自述為台灣第一家專業光電玻璃薄化製造服務公司。自成立以來，公司持續專注於光電薄化玻璃的研究、開發與製造服務，並以精密玻璃加工為主要服務範圍。悅城科技股份有限公司也持續為客戶群開發 TGV，也就是 glass core 相關服務，將光電玻璃加工能力延伸到半導體基板相關應用。針對 TGV 結構，公司說明高深寬比孔洞需要高選擇性的蝕刻製程。依不同玻璃材料而定，某些情況使用酸性蝕刻即可，但公司指出許多情況下酸性蝕刻速度過快，結果無法符合要求。當酸蝕速度過快時，製程可能出現低選擇性、無法達到高深寬比，以及較大的 taper angle。為改善這些製程限制，悅城提供以酸性與鹼性介質為基礎的最佳化蝕刻製程，旨在維持很高的選擇性，同時縮短製程時間。公司提供 TGV 面板蝕刻方案，可處理 300 x 300 mm、510 x 515 mm 與 620 x 750mm 的面板格式。公司表示其製程技術與產能在產業中具優勢，玻璃蝕刻的良率與品質也獲得客戶高度認可。主要服務項目包括化學蝕刻、機械研磨等表面加工服務，以及涵蓋 Thinning、Polishing、Via Etching 的玻璃基板解決方案。公司於 2019 年開始投入半導體基板相關技術開發，並將低溫共燒陶瓷（LTCC）應用為異質整合的可行方案。公司也持續開發 AlN 基板製程，並表示目前可生產 Green Sheet 與熱傳導率大於 170W/mk 的 ceramic 材料。
展出產品
悅城科技股份有限公司提供精密光電 TFT-LCD、OLED 與太陽能應用玻璃減薄的開發及量產製造服務。光電玻璃薄化工作包含蝕刻與玻璃基板拋光加工，將既有玻璃加工能力連結到量產製造。針對半導體相關玻璃基板，其供應範圍延伸至化學蝕刻、機械研磨、Thinning、Polishing 與 Via Etching，形成表面加工與玻璃基板服務組合。TGV 能力包括高選擇性的酸鹼介質最佳化蝕刻方法，以及 300 x 300 mm、510 x 515 mm、620 x 750mm 的面板加工。針對異質整合與先進基板工作，公司亦列出 LTCC 基板技術、Green Sheet，以及熱傳導率大於 170W/mk 的 AlN ceramic substrate 生產能力。
能力與產品項目
- TFT-LCD／OLED／太陽能玻璃減薄加工
- 玻璃基板拋光加工
- TGV 面板製造（300×300／510×515／620×750mm）
- 化學蝕刻與機械研磨表面加工
- AlN 基板 Green Sheet 與 >170W/mk 陶瓷製造